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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 },?kk1vIT{  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 wSL}`CgU  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 `cn#B BV  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3d8L6GJ  
    ;<Sd~M4f  
    2. 系统 Ufj`euY  
    1.JK3 3  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    w_c"@CjkE  
    3. 透镜系统组件编辑  'c&Ed  
    lgAoJ[  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~G p [_ %K  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 RU{twL.B  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @n/\L<]t  
    包括序列光学表面和光学介质。 ;a!S!% .h  
    udH7}K v  
    v~+(GqR=+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 A|[?#S((]  
    Xq4O@V  
    Z#jZRNU%ox  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G>_*djUf  
    可以选择选取光线的方法: urc| D0n  
    — 在x-y-网格 ^0 )g/`H^>  
    — 六边形 )}R0Y=e  
    — 自由选取 je-!4r,  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    %Xd[(Q)  
    Y Uc+0  
    5. 系统的3维视图 JG. y,<xW  
    M^Yh|%M  
    bP#:Oi0v`  
    6. 其他系统参数 \w>y`\6mX  
    系统由单色平面波照明 "Y.tht H  
    照明波长266.08nm 2|y"!JqE1  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: I|!OY`ko  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 \\ij(>CI  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 @7c?xQVd$  
    光束尺寸探测器置于焦平面 \7eUw,~Q>  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 /<k/7TF`  
    N% B>M7-=  
    Es`Px_k  
    &B;~  
    nAato\mM  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 G>=*yqo  
    ?<,l3pwqa  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    E~T-=ocKE  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ?81c 4w  
    ]c*4J\s  
    FUzzB94a  
    Jr4Ky<G_i  
    P;no?  
    a!SiX  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 <=&`ZH   
    dQX6(J j  
    klYX7?  
    VirtualLab可用于计算点列图。 2'Uu:Y^  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 U>SShpmZA  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 T<>,lQs(a  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 z6P$pqyF  
    y<3-?}.aZ  
    9. 焦平面上的结果 MJ)RvNF  
    ">nxHU  
    S@tLCqV4  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >6-`}G+|  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 H41?/U,{  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Z\rwO>3  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Vp\,CuQ  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    I 34>X`[o  
    gVuFHHeUz  
    10. 总结 +=h:Vb8  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #X$\&,Yn"  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 wQf-sk#  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 DCa^ u'f  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 =svN#q5s  
     
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