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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 &hUEOif  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 T`bUBrK6g`  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ik](k"1{  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^T*!~K8A  
     Vr@tSc&  
    2. 系统 Qz89=#W  
    Ob{Tn@  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Zoy)2E{  
    3. 透镜系统组件编辑 {+]tx46$  
    j#U,zsv:  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。  |e<$  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 $;&l{=e2)  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 7GTDe'T  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ol K+|nR  
     _K&Hiz/'  
    Yw yMC d  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 c39j|/!;Y  
    %LM6=nt  
    ##%&*vh  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4JyA+OD4{  
    ■ 可以选择选取光线的方法： NG`Y{QT6N  
    — 在x-y-网格 P,xIDj4d  
    — 六边形 sH>`eqY  
    — 自由选取 h$}PQ   
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     %ZcS"/gf  
    (S4HU_,88  
    5. 系统的3维视图 f5p/cUzX  
    %|%eGidu  
    oHr0;4Lg6  
    6. 其他系统参数 r \[|'hA  
    ■ 系统由单色平面波照明 p/88mMr  
    ■ 照明波长266.08nm # E_S..  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： *o38f>aJl  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [?hvx}  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 xjSzQ| k-  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~ g-(  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0b/@QgJ  
    LF @_|o I  
    Alo L+eN@  
    alB'l  
    0w: 3/WO  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `qYiic%  
    3HBh 3p5  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    (w{T[~6  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    W9pY=9]p+  
    ,Tu.cg  
    ]jY^*o[  
    -EE'xh-zD  
    w@&z0ODJ  
    Y9|!= T%  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 i39ZBs@  
    o&&`_"18  
    Yku6\/^  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 [\#ANA"  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 NJ+$3n om  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _"Z?O)d*  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2m]4  
     KS<@;Tt  
    9. 焦平面上的结果 /Jc{aw  
    &A*E)T#>#  
    m[^ )Q9o}  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 !mTq6H12 !  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 BC/5bA  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Il9xNVos#  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 FZn1$_Svr  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     >Oj$ Dn=  
    9 " t;6  
    10. 总结 4r `I)  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 s+v9H10R  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 [5p3:D  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )DhE~  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 `kxC# &HO  
     
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