1. 描述 NV}RRs ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "YG\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 aJ:A%+1 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 "[jhaUAK
" WYA 2. 系统 cxXbo a <I7(eh6d 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Yzj%{fkh 3. 透镜系统组件编辑 ;RWW+x8IB
_m9~*
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 0).fBBNG
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5-8]N>/b!
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /x
■ 包括序列光学表面和光学介质。 LkJ$aW/
-6rf( ER !}>eo2$r^ 4. 光线追迹系统分析器-选项 ";PG%_( l60ikc4$I ==]Z \jk
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 29"mE;j
■ 可以选择选取光线的方法: ?SC3Vzr
— 在x-y-网格 |}_gA
— 六边形 YF}9k
— 自由选取 O6yP
qG *j
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [O^}rUqq 2Sge 5. 系统的3维视图 "_ LkZBW. r_Lu~y|
S?*^>Y-e; 6. 其他系统参数 q}>M& * ■ 系统由单色平面波照明 |/@0~O(6 ■ 照明波长266.08nm r2RBrZ@1 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !L4dUMo — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6 -]>]Hr- — 一个虚拟屏位于焦平面 AK6=Ydu — 光束尺寸探测器置于焦平面 z>6.[Z(T ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5pO]vBT gf+o1\5t@ RNGO~:k?r F(deu^s%{ +Dv 7:x7 7. 光线追迹系统分析器的结果 aT&t_^[] wi>DZkR 光线经过整个光学系统的三维视图
}A-{ 6Qe 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
I$n+DwKcN $( S*GF$S rB,ldy,f >GgE,h M3ZOk<O<R >wA+[81[ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ri: ,q/- vyE{WkZxR
R6 ;jY/*#
■ VirtualLab可用于计算点列图。 =tq1ogE
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q.yb4
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 W;qP=DK2
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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y>`5Kyj3-@ 9. 焦平面上的结果 DacN{r"3
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]a M-p@
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 F'1k<V?
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xpAok]
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ~Po<(A}`f
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 `g--QR
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 WVOoHH Yr=8!iR$ 10. 总结 *#zS^b n ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 opXDm\ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 "mR*7o$| ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 h(nj,X+ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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