1. 描述 4H@7t,> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~ 588md : ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _;/+8= ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Eg2SC? 5
}7K~- 2. 系统 90-s@a3B-j % .ss 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
/n:Q>8^n'W 3. 透镜系统组件编辑 \@T;/Pj{[
kY9$ M8b
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 $Y\7E/T
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &" 5Yt&{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -G'3&L4
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 -i_XP]b&
kw7E<aF! &m]jYvRc 4. 光线追迹系统分析器-选项 $" =3e]< /%F,
0zsmZ]b5E
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2T@?&N^OD
■ 可以选择选取光线的方法: &' y}L'
— 在x-y-网格 b`Jsu!?{
— 六边形 NO/5pz}1
— 自由选取 5zyd;y)|'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8wEJyAu2 (\wV)c9 5. 系统的3维视图 b `}hw"f 83aWMmA(1
79k+R9m 6. 其他系统参数 pX$X8z% ■ 系统由单色平面波照明 vIZFI ■ 照明波长266.08nm 0HQTe>! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7h:EU7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8%a
^j\L — 一个虚拟屏位于焦平面 -q
nOq[ — 光束尺寸探测器置于焦平面 'z=d&K ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 9%0^fhrJ hvA|d=R( _?K,Jc8j. rZ.z!10 sheCwhV 7. 光线追迹系统分析器的结果 /1bQ
RI^\ 7&w[h4Lw 光线经过整个光学系统的三维视图
#/_ VY. 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
3a}c'$F>_' 6JRFYgI WY5HmNX3E QBfo=9[=e [l7n"gJ~ A ^zd:h- 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~\<L74BB ,,Ivey!kL D^U?!S&4~
■ VirtualLab可用于计算点列图。 m6A\R KJ'
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "x0KiIoPk
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ov
>5+"q)
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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0h{&k7T<7 9. 焦平面上的结果 nV8iYBBym
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 dOKe}?}==
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qG]0z_dPE~
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ,# %I$
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ~]n=TEJ>
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 =Tfm~+7nE C9,Uwz<!] 10. 总结 r8[)C cv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 $H&:R&Us ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !;${2 Q ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 vY,D02EMw ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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