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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 WX-J4ieL  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7 I$~E  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 x>]14 bLz  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 +UM%6Z=+  
    }O + a  
    2. 系统 xS'Kr.S  
    =K \xE"  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %#jW  
    3. 透镜系统组件编辑 ]Pp}=hcD  
    sQ}E4Iq1#S  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =,Zkg(M  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 m{w'&\T  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 mfW}^mu  
    包括序列光学表面和光学介质。 cb3Q{.-.#  
    GXnrVI  
    t?aOZps  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 3 0.&Lzz  
    0X<U.Sxn  
    G`e!WvC  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #FhgKwx  
    可以选择选取光线的方法: "- ?uB Mz  
    — 在x-y-网格 p9y@5z  
    — 六边形 'PqKb%B|  
    — 自由选取 `x:O&2  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ?on EqH>  
    0'g e}2^  
    5. 系统的3维视图 &v/>P1Z G  
    e~ZxDAd  
    )z_5I (?&  
    6. 其他系统参数 yno X=#`  
    系统由单色平面波照明 9*2Q'z}_  
    照明波长266.08nm Y6[ O s1  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: AX]cM)w  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2PC:F9dh\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 xE5VXYU  
    光束尺寸探测器置于焦平面 4M )oA|1w  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 xFzaVjjP  
    20 Z/Y\  
     u*m|o8  
    =x@v{cP  
    4J{W8jX  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 [y&uc  
    @b9qBJfQ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    3De(:c)@  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    dAr=X4LE  
    ILIv43QKM(  
    M#.dF{ %%  
    [85b+SKW  
    }a"koL  
    _)Ad%LPsd7  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 `$Y%c1;  
    mM2DZ^"j(  
    "!R*f $  
    VirtualLab可用于计算点列图。 8wLGmv^  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8 +mW  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 = G>Y9Sc  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 f%/6kz  
    7?ILmYBw  
    9. 焦平面上的结果 qV)hCc/ ~  
    ) S-Fuq4i4  
    L>n^Q:M  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 zmhAeblA  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nH}V:C  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ~IFafAO&  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 4xF}rm  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    5Y>fVq{U?;  
    n(9$)B_y  
    10. 总结 KP_7h/e  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6Z5$cR_vC7  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 sitgz)Ki^  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (@NW2  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0v|qP  
     
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