1. 描述 WX-J4ieL ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7I $~E ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
x>]14bLz ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 +UM%6Z=+
}O+a 2. 系统 xS'Kr.S
=K\xE" 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%#jW 3. 透镜系统组件编辑 ]Pp}=hcD
sQ}E4Iq1#S
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =,Zkg(M
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 m{w'&\T
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 mf W}^mu
■ 包括序列光学表面和光学介质。 cb3Q{.-.#
GXnrVI t?aOZps 4. 光线追迹系统分析器-选项 3
0.&Lzz 0X<U.Sxn G`e!Wv C
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #FhgKwx
■ 可以选择选取光线的方法: "-
?uB Mz
— 在x-y-网格 p9y@5z
— 六边形 'PqKb%B|
— 自由选取 `x:O&2
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?onEqH> 0'ge}2^
5. 系统的3维视图 &v/>P1Z
G e~ZxDAd
)z_5I (?& 6. 其他系统参数 yno X=#` ■ 系统由单色平面波照明 9*2Q'z}_ ■ 照明波长266.08nm Y6[O
s1 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: AX] cM)w — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2PC:F9dh\ — 一个虚拟屏位于焦平面 xE5VXYU — 光束尺寸探测器置于焦平面 4M)oA|1w ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 xFzaVjjP 20
Z/Y\ u*m|o8 =x@v{cP 4J{W8jX 7. 光线追迹系统分析器的结果 [y&uc @b9qBJfQ 光线经过整个光学系统的三维视图
3De(:c)@ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
dAr=X4LE ILIv43QKM( M#.dF{%% [85b+SKW }a"koL _)Ad%LPsd7 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 `$Y%c1; mM2DZ^"j( "!R*f $
■ VirtualLab可用于计算点列图。 8wLGmv^
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8
+mW
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 = G>Y9Sc
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
f%/6kz
7?ILmYBw 9. 焦平面上的结果 qV)hCc/ ~
)
S-Fuq4i4
L>n^Q:M
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 zmhAeblA
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nH}V:C
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ~IFafAO&
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 4xF}rm
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 5Y>fVq{U?; n( 9$)B_y 10. 总结 KP_7h/e ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6Z5$cR_vC7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 sitgz)Ki^ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (@NW2 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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