1. 描述 D -d ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =#=}|Q} ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .N( X.C ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 a~ dgf:e`
L9-Jwy2(> 2. 系统 Ft?eqDS1 c0Pj})- 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
f;AI4:#I 3. 透镜系统组件编辑 YmOj.Q&
5z =}o/?
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 OTl9MwW
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Wf^sl
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @T:J<,
■ 包括序列光学表面和光学介质。 lV$CBS
@<`V q z%#-2&i 4. 光线追迹系统分析器-选项 g9fYt& T<"Bb[kH at4JLbk
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 b$yIM
■ 可以选择选取光线的方法: +3J<vM}dy
— 在x-y-网格 >lKu[nq;
— 六边形 `S0`3q}L3%
— 自由选取 *CPp U|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 n_Qua|R FSm.o?> 5. 系统的3维视图 3n)$\aBE P;o{t
:)i,K>y3i 6. 其他系统参数 ;S
\s&. u ■ 系统由单色平面波照明 E*`PD<:)H ■ 照明波长266.08nm )z\# ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: L9N}lH — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 W=3#oX.GsU — 一个虚拟屏位于焦平面 q/@+.q — 光束尺寸探测器置于焦平面 DxwR&S{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 YoW)]n ~\<$H' Li]96+C$} e4,SR(O> !#:5^":; 7. 光线追迹系统分析器的结果 :L@n(buRN !Ve0 :$ 光线经过整个光学系统的三维视图
]WY V 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$y&W: oKsArZG G{]RC^Zo B{R [z%Y B}[f]8jrM z=) m6\ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ak,JPzT YLi6GY sYBmL]Hr
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,}&TZkN{-
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ?tL' X
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f)j*P<V
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
%~PcJhz
| bRU=dg 9. 焦平面上的结果 cz1 + XpU
NS2vA>n8R
,|s*g'u
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %jy$4qAf%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @;` 's
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &>C+5`bg
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 [U/h'A.j
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 P%lD9<jED E`I(x&_ 10. 总结 6ICW>#fI` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 QMz =e ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 4pf@.ra, ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 O*GF/ R8B ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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