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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 D -d  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =#=}|Q}  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .N( X. C  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 a~ dgf:e`  
    L9-Jwy2(>  
    2. 系统 Ft?eqDS1  
    c0Pj})-  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    f;AI4:#I  
    3. 透镜系统组件编辑 YmOj.Q&  
    5z =}o/?  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 OTl9MwW  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Wf^ sl  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @T:J<,  
    包括序列光学表面和光学介质。 lV$CBS  
    @<`V q  
    z%#-2&i  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 g9fYt&  
    T<"Bb[kH  
    at4JLbk  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 b $yIM  
    可以选择选取光线的方法: +3J<vM}dy  
    — 在x-y-网格 >lKu[nq;  
    — 六边形 `S0`3q}L3%  
    — 自由选取 *CPpU|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    n_Qua|R  
    FSm.o?>  
    5. 系统的3维视图 3n)$\aBE  
    P;o  {t  
    :)i,K>y3i  
    6. 其他系统参数 ;S \s&.u  
    系统由单色平面波照明 E*`PD<:)H  
    照明波长266.08nm )z\#  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: L9N }lH  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 W=3#oX.GsU  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 q/@+.q  
    光束尺寸探测器置于焦平面 DxwR&S{  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 YoW)]n  
    ~ \<$H'  
    Li]96+C$}  
    e4 ,SR(O>  
    !#:5^":;  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 :L@n(bu RN  
    !Ve0:$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ]WYV  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $y&W:  
    oKsArZG  
    G{]RC^Zo  
    B{R[z%Y  
    B}[f]8jrM  
    z=) m6\  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ak,JPz T  
    YLi6G Y  
    sYBmL]Hr  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ,}&TZkN{-  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ?tL'  X  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f)j*P<V  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 %~PcJhz  
    | bRU=dg  
    9. 焦平面上的结果 cz1+ XpU  
    NS2vA>n8R  
    ,|s*g'u  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %jy$4qAf%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @;`'s  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm &>C+5`bg  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 [U/h'A.j  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    P%lD9<jED  
    E`I(x&_  
    10. 总结 6ICW>#fI`  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 QMz=e  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 4pf@.ra,  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 O*GF/ R8B  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 lUB?eQuN_  
     
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