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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 NV} RRs  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "Y G\  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 aJ :A%+1  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 "[jhaUAK  
    "WYA  
    2. 系统 cxXbo a  
    <I7(eh6d  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Yzj%{fkh  
    3. 透镜系统组件编辑 ;RWW+x8IB  
    _m9~*  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 0).fBBNG  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5-8]N>/b!  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /x  
    包括序列光学表面和光学介质。 LkJ$aW/  
    -6rf( ER  
    !}>eo2$r^  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ";PG%_(  
    l60ikc4$I  
    ==]Z \jk  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 29"mE;j  
    可以选择选取光线的方法: ?SC3Vzr  
    — 在x-y-网格 |}_gA  
    — 六边形 YF}9k  
    — 自由选取 O6yP qG*j  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    [O^}rUqq  
    2Sge  
    5. 系统的3维视图 "_ LkZBW.  
    r_Lu~y|  
    S?*^>Y-e;  
    6. 其他系统参数 q}>M& *  
    系统由单色平面波照明 |/@0~O(6  
    照明波长266.08nm r2RBrZ@1  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ! L4dUMo  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6 -]>]Hr-  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 AK6=Ydu  
    光束尺寸探测器置于焦平面 z>6.[Z(T  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5pO]vBT  
    gf+o1\5t@  
    RNGO~:k?r  
    F(deu^s%{  
    +Dv7:x7  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 aT&t_^[]   
    wi>DZkR  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    }A-{6Qe  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    I$n+DwKcN  
    $( S*GF$S  
    rB,ldy,f  
    >GgE,h  
    M3ZOk<O<R  
    >wA+[81[  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ri:,q/-  
    vyE{WkZxR  
    R6 ;jY/*#  
    VirtualLab可用于计算点列图。 =tq1ogE  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。  Q.yb4  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 W;qP=DK2  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 |7y6 pz  
    y>`5Kyj3-@  
    9. 焦平面上的结果 DacN {r"3  
    :i.t)ES  
    ]a M-p@  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 F'1k<V?  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xpAok]  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ~Po<(A}`f  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 `g--QR  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    WVOoHH  
    Yr=8!iR$  
    10. 总结 *#zS^b n  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 opXDm\  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 "mR*7o$|  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 h(nj,X+  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Y3k[~A7X  
     
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