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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 Iv  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L)U*dY   
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P/ 6$TgQ  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |X>'W"Mn  
    *\'t$se+  
    2. 系统 z~`X4Segw  
    $6UU58>n  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    YL|)`m0-^5  
    3. 透镜系统组件编辑 d*Mqs}8  
    8~Zw"  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 1\@PrO35J  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {c3FJ5:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Gf#l ^yr   
    包括序列光学表面和光学介质。 tc`3-goX  
    w`8H=Hf  
    7:LEf"vRZ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 MQw}R7  
    D['J4B  
    HEFgEYlO  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 n;:.UGl9.  
    可以选择选取光线的方法: )_C>hWvo_  
    — 在x-y-网格 IYq#|^)5+  
    — 六边形 Fl($0}ER  
    — 自由选取 ba G_7>Q9H  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    a"YVr'|  
    zOSUYn  
    5. 系统的3维视图 ?q4`&";{3  
    I^f|U  
    u(1m#xr8$  
    6. 其他系统参数 @ntwdv;  
    系统由单色平面波照明 Ag\RLJ.KD  
    照明波长266.08nm 4t =Kt  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "Ua-7Q&A  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 J/Y9X ,  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 25`W"x_  
    光束尺寸探测器置于焦平面 .?3ro Q  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 WGA&Lr  
    {9Qc\Ij  
    bf.+Ewb(  
    /f?;,CyI  
    jEQ_#KKYJ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 f@ |[pT  
    d!T,fz/-.  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    T2]8w1l&K  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ` ~m/  
    @BnK C&{  
    {ST8'hY  
    k0I$x:c  
    |Tmug X7  
    .4E24FB[f?  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 f eB ?  
    PtUS7[]  
    PO'K?hVS^w  
    VirtualLab可用于计算点列图。 r]xN&Ne5Q  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 DI;LhS*z  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 S6bYd`  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 x1wD`r  
    (T2HUmkQ6  
    9. 焦平面上的结果 ) C~#W  
    ~2hzyEh  
    11QZ- ^  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 -tWxB GSa@  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Oz\J+  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Y'P^]Q=}_#  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 L=Aj+  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ] g9SUFM  
    BR@gJ(2  
    10. 总结 l<=k#d  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 rr`_\ut  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %jj-\Gz!  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xG edY*[`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ;9)nG,P3  
     
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