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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 He&7(mQ0^  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *yx5G-#?  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 "6^~-` O  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 i sK_t*  
     /Kw}R5l  
    2. 系统 ;JpsRf!  
    -_%8Q#"  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Ai*R%#  
    3. 透镜系统组件编辑 !UzMuGj  
    XIep3l*  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 kdq<)>"  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 v d{`*|x  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 hq[:U?!Tt  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ! .q,m>?+  
     \r.{Ru  
    NE~R&ym9  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ^ <$$h  
    Y5dt/8Jo  
    X=1Po|  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 {zck Y  
    ■ 可以选择选取光线的方法： OuZPgN  
    — 在x-y-网格 S]"U(JmW\  
    — 六边形 ,ORwMZtw{H  
    — 自由选取 H\>0jr `  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     &EUI  
    T'W@fif  
    5. 系统的3维视图 w4AA4u  
    V(6*wQ`&  
    /r8'stRzv  
    6. 其他系统参数 13JZ\`ceb  
    ■ 系统由单色平面波照明 `F(ghC  
    ■ 照明波长266.08nm L2 ybL#dz  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： x$SxGc~4gb  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 n%Rl$  
    — 一个虚拟屏位于焦平面  /# FU"  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ,P>xpfdK  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 n)<S5P?  
    $n><p>`  
    7]8nW!h;  
    bb4 `s0  
    n5NwiSE  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 #/,WgsAC  
    =xs"<Q*w>  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    >N bb0T  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    \jpm   
    2{Johqf  
    K*/X{3J;  
    W2`/z)[*>  
    G u4mP  
    pYBY"r  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 au;ZAXM|  
    o,q47W=7$  
    L|`(u  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 xb (Cd  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 @ L=dcO{r  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ll^#I/  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 c$fYK  
     xX:N-  
    9. 焦平面上的结果 HZl//Uq  
    2mt S\bAF  
    EpCT !e  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 L60Sc  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 xm*6I  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm JBK(N k  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ytyX:e"  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     Hs#q 7  
    (/[wM>q:r  
    10. 总结 +?%L X4Y  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cYx.<b JH  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Q1 5h \!u  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 LcW:vV|'K  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 -L6V)aK&  
     
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