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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 NH/A`Wm  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;I4vPh5Q  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5MnP6(3$  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <st<oR'  
     g#$ C8k  
    2. 系统 KL_ /f   
    ^C'S-2nGH  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    vfkF@^D  
    3. 透镜系统组件编辑 HP8J\`  
    Gn2{C%  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 F'K >@y  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 lUu0AZQmG  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 AX v q~XE  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 jYVs\h6  
     [BE_^d5&  
    uMQI Aapb  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 3'z$@ ;Ev+  
    _pTcSp 3  
    E+/Nicn=  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "KIY+7@S}  
    ■ 可以选择选取光线的方法： bLg!LZ|S0s  
    — 在x-y-网格 p7|I>8ur.  
    — 六边形 > Z+*tq  
    — 自由选取 64u(X^i  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     %E_Y4Oe1  
    G J%^hr`P  
    5. 系统的3维视图 {?`rGJ{f  
    5k0iVpjQ  
    v[ iJ(C_  
    6. 其他系统参数 z/J?!ee  
    ■ 系统由单色平面波照明 @6 "MhF  
    ■ 照明波长266.08nm tNY;wl:wp  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： =p;cJ%#2]'  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |Y!^E % *  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 k{+cFG\C&  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ?g ,s<{  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Z,)H f  
    M+&~sX*a  
    a[K&;)  
    ql@2<V{  
    %r[`HF>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 >>{):r Z  
    ^&<M""Z  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ) f~;P+  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    g kmof^  
    &| (K#|^@  
    nuq@m0t\#  
    :<aGZ\R5  
    i*|HN"!  
    zbFy3-RP  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 I">">  
    WXxnOLJr  
    "e-Y?_S7R8  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 4 ?BQ&d  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g"/n95k<  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 E{V?[HcWq  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 51ViJdZ  
     bhUE!h<  
    9. 焦平面上的结果 x@Gg fH<l  
    (A?>U_@  
    __}SHU0R  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9Z -2MF  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 0o8`Y  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm I;@q`Tm  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 nT|WJ%  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     !mK()#6  
    5 SQ!^1R 9  
    10. 总结 W7!Rf7TK  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 diXWm-ZKL  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 B*G]Dr)e  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 4(htdn6\  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 )Cdw_Yx  
     
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