1. 描述 I_N(e|s\U ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "?a(JC ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 q@1!v ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LyR to
Ub(zwR; 2. 系统 Ex^|[iV 9v&{;
%U 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
a.QF`J4"' 3. 透镜系统组件编辑 .n1]Yk;,1
"mr;|$Y
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ] )D\ws)a9
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 BtDi$d%'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nsk`nck
■ 包括序列光学表面和光学介质。 gK7j~.bb"
@q2If{Tk Zo 4. 光线追迹系统分析器-选项 2ijw g~_@ (wLzkV/6 0Pw?@uV
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 yE L^Y'x?
■ 可以选择选取光线的方法: *+TIF"|1
— 在x-y-网格 99 /fI
— 六边形 so_
— 自由选取 (:W=8G,p
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KIO{6 v&oE!s# 5. 系统的3维视图
L>Bf}^ XmN3[j
)TV4OT# 6. 其他系统参数 W_( ■ 系统由单色平面波照明 n|
=k9z<y8 ■ 照明波长266.08nm [P`t8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 4{H>V_9zs — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 fwB+f`w` — 一个虚拟屏位于焦平面 &z;F'>" — 光束尺寸探测器置于焦平面 l9
RjxO.~U ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +`g&J 3#vhQ*xU RkP g&R;i 7KU/ 1l9$9 :FOMRrf7. 7. 光线追迹系统分析器的结果 ;i|V++$_ 1MV\Jm 光线经过整个光学系统的三维视图
_KVge)j 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
)u~LzE]{_ 9Cbf[\J!bq Zn&S7a>7 l(|@ dp D/C,Q|Ya6 |KFRC)g 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .r!:` 6 `ZL~k }WXO[ +l
■ VirtualLab可用于计算点列图。 VaQqi>;\
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]0<T,m Z
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 A\J|eSG'$
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
qD:3;85
)HWf`;VQ 9. 焦平面上的结果 A9^t$Ii
9qxB/5d_
2OFrv=F
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )+T\LU
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 4r5trquC
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm NFpR jC?
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7A@GNA
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $rFLhp} eglcf z% 10. 总结 $OU,| D ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;~Y0H9` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9fR`un)f} ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 D>wq4u ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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