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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 F2!]T=  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Btyp=wfN[  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 -jk-ve  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 e N^6gub  
    Ef\&3TcQ  
    2. 系统 Rj!9pwvT  
    Lq]t6o ]  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    RYZM_@ 5$t  
    3. 透镜系统组件编辑 jL,P )TC  
    A@ZsL  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >)6k)$x%%  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9}$'q$0R]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :wY(</H  
    包括序列光学表面和光学介质。 wo5fGQJ  
    -9; XNp  
    ub9,Wd"^  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 l5FKw;=K}:  
    %*];XpAE  
    &f-x+y  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 q{uv?{I  
    可以选择选取光线的方法: FJ] ?45  
    — 在x-y-网格 ~S~4pK  
    — 六边形 tqXCj}mR  
    — 自由选取 mWTV)z57  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    UO4z~  
    #k|f%!-Vo  
    5. 系统的3维视图  ?)2;W  
    5%]O'h  
    En{< OMg  
    6. 其他系统参数 &0RKNpw g  
    系统由单色平面波照明 ypWhH  
    照明波长266.08nm qnJs,"sn  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: h~5gHx/ a  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A7R [~  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 1s-=zs  
    光束尺寸探测器置于焦平面 46D _K  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 @umn#*  
    WZ N0`Od  
    <Y)Aez  
    ~F[JupU  
    .o)  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 uJU;C.LX  
    Le2rc *T  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    O|0V mm  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    1pM>-"a8j  
    B4{F)Zb  
    Ww =ksggpB  
    V-ONC  
    wRu\9H}  
    'o|=_0-7W  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 o3Z<tI8-V  
    AA5UOg\jI  
    C ett*jm_  
    VirtualLab可用于计算点列图。 KqvM5$3  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 UV\&9>@L  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 !SThK8j$7  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 XGAR8=tic  
    <;hy-Q()D  
    9. 焦平面上的结果 ^C~t)U  
    Q1RUmIe_&  
    H]( TSt<Q"  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q OV$4[r  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 y$+_9VzYB  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Dv}VmC""  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 E&0]s  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    vu3zZMl  
    :.crES7<[X  
    10. 总结 =xr2-K)e  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 P(B&*1X  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 pt%Y1<9Eh?  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gW^0A)5  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?'U@oz8 B  
     
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