1. 描述 |k
# ~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 z_Nw%V4kr ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 UUzu`>upB ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 FUq>+U!Qu
cH5@Jam 2. 系统 $'9b,- e ,%|$#
g 0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[lSQ? 3. 透镜系统组件编辑 i$Rlb5RU
xnyp'O8yk
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 97$1na3gq
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 q}nL'KQ,n
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1pUIZ$@?`
■ 包括序列光学表面和光学介质。 4z~%gt74O]
oic}Go \~1>%F'op 4. 光线追迹系统分析器-选项 [jOvy>2K] 5]Wkk~a m&'z|eN
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OT&mNE4
■ 可以选择选取光线的方法: d/Sx+1
"{T
— 在x-y-网格 ~)RKpRga\p
— 六边形 t`"]"Re
— 自由选取 <lx~/3<m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x8]9Xe:_>O p'`SYEY@Z 5. 系统的3维视图 F-^#EkEGe hb6UyN
O_PKS$sz{ 6. 其他系统参数 &DqeO8?Q ■ 系统由单色平面波照明 G4jaHpPi ■ 照明波长266.08nm nUAs:Q ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: R!v ?d2 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1I#S?RSb — 一个虚拟屏位于焦平面 =5JTVF — 光束尺寸探测器置于焦平面 l_GsQ0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 y=L9E? -?8;-h, h K1P3
FfG ]FJpe^
ua AT#&`Ew 7. 光线追迹系统分析器的结果 u-CC UMR t=`bXBX1 光线经过整个光学系统的三维视图
FyXz(l: 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
</K"\EU `_IgH k5>K/;*9 KcGM=z?: EZm6WvlxSI x)X=sX. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 x5Sc+5?* u&iMY3= ,j4 ;:F
■ VirtualLab可用于计算点列图。 py,B6UB5
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 uT5sLpA|6
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ))M; .b.D
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
^9})@,(D
]-o0HY2 9. 焦平面上的结果 49o5"M(
XO)|l8t#$=
Kvu0Av-7
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 RH,1U3?
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 =[O;/~J%:
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J?ljqA}i
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 $K)9(DD
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 a0Y/,S*K a@&^t( 1 10. 总结 wvAXt*R ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 K-$gTV ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^]He]FW':G ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 %ZF6%m0S ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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