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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 |k # ~  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 z_Nw%V4kr  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 UUzu`>upB  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 FUq>+U!Qu  
    cH5@Jam  
    2. 系统 $'9b,- e  
    ,%|$# g 0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [lSQ?  
    3. 透镜系统组件编辑 i$Rlb5RU  
    xnyp'O8yk  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 97$1na3gq  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 q}nL'KQ,n  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1pUIZ$@?`  
    包括序列光学表面和光学介质。 4z~%gt74O]  
    oic}Go  
    \~1>%F'op  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 [jOvy>2K]  
    5]Wkk~a  
    m&'z|eN  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OT & mNE4  
    可以选择选取光线的方法: d/Sx+1 "{T  
    — 在x-y-网格 ~)RKpRga\p  
    — 六边形 t`"]"Re  
    — 自由选取 <lx~/3<m  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    x8]9Xe:_>O  
    p'`SYEY@Z  
    5. 系统的3维视图 F-^#EkEGe  
    hb6UyN  
    O_PKS$sz{  
    6. 其他系统参数 &DqeO8?Q  
    系统由单色平面波照明 G 4jaHpPi  
    照明波长266.08nm nUAs:Q  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: R!v ?d2  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1I#S?RSb  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 =5JTVF  
    光束尺寸探测器置于焦平面 l_G&#sQ0  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 y=L9E?  
    -?8;-h, h  
    K1P3 FfG  
    ]FJpe^ ua  
    AT#&`Ew  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 u -CCUMR  
    t=`bXBX1  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    FyXz(l:  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    </K"\EU  
    `_IgH  
    k5>K/;*9  
    KcGM=z?:  
    EZm6WvlxSI  
    x)X=sX.  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 x5Sc+5?*  
    u&iMY3=  
    ,j4 ;:F  
    VirtualLab可用于计算点列图。 py,B6UB5  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 uT5sLpA|6  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ))M; .b.D  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ^9})@,(D  
    ]-o0HY2  
    9. 焦平面上的结果 49o5"M(  
    XO)|l8t#$=  
    Kvu0Av-7  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 RH,1U3?  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 =[O;/~J%:  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm J?ljq A}i  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 $K)9(DD  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    a0Y/,S*K  
    a@&^t(1  
    10. 总结 wvAXt*R  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 K-$gTV  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^]He]FW':G  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 %ZF6%m0S  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 c}nXMA^^  
     
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