1. 描述 1$h,m63) ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 3=oDQ&UFt ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 c-sfg>0 ^ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o ^uA">GH
#Gi$DMW 2. 系统 K{+2G&i $[ *w"iQ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
7b+6%fV 3. 透镜系统组件编辑 A@#E@;lm
pd$[8Rmj_
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5)X=*I
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 TWX.D`W
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 MF'JeM;H
■ 包括序列光学表面和光学介质。 5[0?g@aO
#GFr`o0$^ <1TAw. 4. 光线追迹系统分析器-选项 #KvlYZ+1 r<$y=B gjlx~.0d
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ~&uHbTq
■ 可以选择选取光线的方法: 1|:KQl2q
— 在x-y-网格 c &c@M$
— 六边形 'Pbr
v
— 自由选取 6!bsM"F
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #O&8A -yg7;ff 5. 系统的3维视图 (cO:`W6. 7d\QB(~
/gas2k==^ 6. 其他系统参数 @2#lI ■ 系统由单色平面波照明 m4Zk\,1m.| ■ 照明波长266.08nm ~}Pfu ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Vjpy~iP4B — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |uJ%5y# — 一个虚拟屏位于焦平面 ~V6D< — 光束尺寸探测器置于焦平面 _yT Ed"$
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [G3E%z \b>]8Un" q,%st~ CvdN"k L"aeG 7. 光线追迹系统分析器的结果 Ho]su? Zwx%7l;C 光线经过整个光学系统的三维视图
6S{l'!s' 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@(lh%@hO u%!@(eKM- D6Wa.,r +cRn%ioVi ptaKf4P^r R@2X3s: 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h@BY]80 "Y.y:Vv; \)Cl%Em
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ]_$[8#kg
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 (-co.
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 oL<St$1
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
qJw_
Yr|4Fl~U 9. 焦平面上的结果 D43z9z-:L
AOx[
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 8b=_Y;
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 TsZ@
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm @%SQFu@FJ
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 K,UMqAmk
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 >R=|Wo`Ri UCWBYC+ 10. 总结 #A.@i+Zv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %
u6Sr5A[s ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8;X-)&R ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 048kPXm` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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