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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 -{`@=U  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ZNYH#mJX*  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Fq9Q+RNMZL  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _gD pKEaY  
    5s{ABJ\@V  
    2. 系统 }8;[O 9  
    P;pl,~  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    V5U?F6  
    3. 透镜系统组件编辑 !Ci~!)$z6  
    ^<X@s1^#  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 .rPn5D Y  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。  ^xPmlS;X  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QMEcQV>  
    包括序列光学表面和光学介质。 +nQw?'9Z  
    L.]$6Q0  
    G|\^{ 5   
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ]0L&v7[  
    udeoW-_  
    Dde]I_f}  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 `Y?87f:SP  
    可以选择选取光线的方法: ;;A2!w{}[i  
    — 在x-y-网格 vky.^  
    — 六边形 fr!Pj(Q1  
    — 自由选取 GJqE!I,.  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    b~-%c_  
    xUfbW;;]UU  
    5. 系统的3维视图 |pa$*/!NT  
    sZ?mP;Q  
    fu$R7  
    6. 其他系统参数 HK+/:'P u  
    系统由单色平面波照明 vd6l7"0/  
    照明波长266.08nm [%&ZPJT%i  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5JhdV nT_  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >[6{LAe~hp  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 2c?qV  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ;l}- Z@! /  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 L4L2O7  
    z4E|Ai  
    h~wi6^{&Y  
    I}2P>)K  
    ,ZS6jZ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 n&A'C\  
    Su 5>$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @Tfl>/%  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    /s];{m|>  
    -7!&@wuQ  
    `>o?CIdp  
    ;60.l!   
    z6py"J@  
    lg pW@g  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .@-$5Jw  
    -)vEWn$3<  
    jgS%1/&  
    VirtualLab可用于计算点列图。 0P>OJYFr'  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $Ci0I+5w  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 N8`?t5  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 8QK5z;E2~  
    H'F6$ypoS  
    9. 焦平面上的结果 ^s.V;R  
    #yI.nzA*  
    5d@t7[]  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 lcV<MDS  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 l^J75$7  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm , *qCf@$I  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Ap{}^  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Quf_'  
    &_5tqh  
    10. 总结 %<8nF5  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6WoAs)ZF  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 XBQ\_2>  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 20rkKFk*  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0b91y3R+  
     
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