1. 描述 H '5zl^8I ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 -"Kjn`8 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /FXb,)1t ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 68~]_r.a
0p3) t 2. 系统 hT=E~|O zwUZ*Se 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4Vj]bm 3. 透镜系统组件编辑 #?M[Q:
N["M "s(N
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A\/DAVnI
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "OP$n-*@%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
fCb&$oRr!
■ 包括序列光学表面和光学介质。 4nd)*0{f
G?s;L NR pTQ7woj} 4. 光线追迹系统分析器-选项 9@h-q(-
}+NlYD:qF bneP>Bd
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :gkn`z
■ 可以选择选取光线的方法: OpOR!
— 在x-y-网格 H5FWk
— 六边形 a#Z#-y!
— 自由选取 NCkrf]*F-
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nm|"9|/
:d<F7`k
H 5. 系统的3维视图 v{SYz<( (ia+N/$u
Kv5 !cll5 6. 其他系统参数 <aMihT)dd ■ 系统由单色平面波照明 Fvv/#V^R ■ 照明波长266.08nm p|>/Hz1v ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;M#D*<ucI: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (=53WbOh/t — 一个虚拟屏位于焦平面 yW(A0 — 光束尺寸探测器置于焦平面 k
V'0rb ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Qmv8T
^+ {y!77>Q/ SsL>K*t5 _rUsb4r f,+ONV]5Tt 7. 光线追迹系统分析器的结果 ]waCYrG<sY "aGpC{ 光线经过整个光学系统的三维视图
6:bvq?5a5 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
!E/%Hv1 ]\=M$:,RZ V+y:!t` V,3$>4x X 2('@Yh 4mWT"T-8 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 nR?m,J '6>nXp?)r 5~omZ,qe
■ VirtualLab可用于计算点列图。 !B*d,_9c
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0K^G>)l
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 'q*/P&x5
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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k@C]~1 9. 焦平面上的结果 /I'
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jDM^e4U.l
8!dA1]2;
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2fJ2o[v
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 -}<W|r
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 5zII4ukn*
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 $Xo_C_:B
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 =kWm9W<^ cd*F;h 10. 总结 ^,Y#_$oR ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3Q(#2tL= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @k2nID^> ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (/l9@0Y.t ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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