1. 描述 Iz>\qC} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ubc
k{\. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 qggRS)a ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q d:"LS
b;NV vc( 2. 系统 X1BqN+=@9 !_W']Crb]] 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"~Zdv}^xS 3. 透镜系统组件编辑 AoK;6je`K^
XXeDOrb
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 r>.l^U9hJ
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 D%6}x^`Qk
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F*-'8~T
■ 包括序列光学表面和光学介质。 -
b`
qac:"z'9 0wAB;|~*62 4. 光线追迹系统分析器-选项 `G=+qti ==trl#kQ%% yh).1Q-D
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6z'0fi|EN
■ 可以选择选取光线的方法: WcpH="vm
— 在x-y-网格 Nz%pl!
— 六边形 'Zqt~5=5
— 自由选取 7e D`
is
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2 #cw_Ua /UaQ2h\ 5. 系统的3维视图 j)Z0K$z= K1-RJj\L
.k#O[^~] 6. 其他系统参数 RN;#H_
q ■ 系统由单色平面波照明 9NZq
k ■ 照明波长266.08nm x@:98P ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: tCGA3t — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }r"E\~E — 一个虚拟屏位于焦平面 %CgmZTz~< — 光束尺寸探测器置于焦平面 aJc>"#+
o ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7nM<P4\ Bgai|l ISTAJ8"
D XjYMp3 ?zVcP=p@ 7. 光线追迹系统分析器的结果 wzZ]|
C(vp C;9P6^Oz 光线经过整个光学系统的三维视图
9<"F3F0| 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
U@(8)[?nxn c)q=il7ef
uwt29 {n S(B VP7LKfv TT){15T;" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 C[+?gQJ[9 CurU6x1 h,K&R8S
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,eL&Ner
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 L$ jii
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &?gcnMg$,J
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
#;m^DX QZn
[G[{?{ 9. 焦平面上的结果 OSom-?|w
:JXcs39
kpk ^Uw%f
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 r8A'8g4cM
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 R80|q#h,]
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm TBHd)BhI.
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 @#9xSs#
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
P# ;pQC 'OMl9}M 10. 总结 7mb5z/N ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3@<m/% ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 .&K?@T4l ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 _sHeB7K ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
dtXtZ!g2