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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 1$h,m63)  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 3=oDQ&UFt  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 c-sfg>0^  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o ^uA">GH  
    #Gi$DMW  
    2. 系统 K{+2G&i  
    $[ *w"iQ  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    7b+6%fV  
    3. 透镜系统组件编辑 A@#E@ ;lm  
    pd$[8Rmj_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5)X=*I  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 TWX.D`W  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 MF'JeM;H  
    包括序列光学表面和光学介质。 5[0?g@aO  
    #GFr`o0$^  
    <1TAw.  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #KvlYZ+1  
    r<$y= B  
    gjlx~.0d  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ~&uHbTq  
    可以选择选取光线的方法: 1|:KQl2q  
    — 在x-y-网格 c &c@M$  
    — 六边形 'Pbr v  
    — 自由选取 6 !bsM"F  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    #O&8A  
    -yg7;ff  
    5. 系统的3维视图 (cO:`W6.  
    7d\QB (~  
    /gas2k==^  
    6. 其他系统参数 @2#lI  
    系统由单色平面波照明 m4Zk\,1m.|  
    照明波长266.08nm ~}Pfu  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Vjpy~iP4B  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |uJ%5y#  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~V6D<  
    光束尺寸探测器置于焦平面 _yT Ed"$  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [G3E%z  
    \b>] 8Un"  
    q,%st~  
    CvdN"k  
     L"aeG  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Ho]su?  
    Zwx%7l;C  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    6S{l' !s'  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @(lh%@hO  
    u%!@(eKM-  
    D6Wa.,r  
    +cRn%ioVi  
    ptaKf4P^r  
    R@2X3s:  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h@BY]80  
    "Y.y:Vv;  
    \)Cl%Em  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ]_$[8#kg  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 (-co.  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 oL<St$1  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 qJw_  
    Yr|4Fl~U  
    9. 焦平面上的结果 D43z9z-:L  
     AOx[  
    v-Sd*( 6  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 8b=_Y;  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 TsZ@  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm @%SQFu@FJ  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 K,UMqAmk  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    >R=|Wo`Ri  
    UCWBYC+  
    10. 总结 #A.@i+Zv  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 % u6Sr5A[s  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8;X-)&R  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 048kPXm`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 A2Tw<&Tw(  
     
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