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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 Iz>\qC}  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ubc k{\.  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 qggRS)a  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q d:"LS  
    b;NVvc(  
    2. 系统 X1BqN+=@9  
    !_W']Crb]]  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    "~Zdv}^xS  
    3. 透镜系统组件编辑 AoK;6je`K^  
    XXeDOrb  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 r> .l^U9hJ  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 D%6}x^`Qk  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F*-'8~T  
    包括序列光学表面和光学介质。 - b`  
    qac:"z'9  
    0wAB;|~*62  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 `G=+qti  
    ==trl#kQ%%  
    yh).1Q-D  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6z'0fi|EN  
    可以选择选取光线的方法: WcpH= "vm  
    — 在x-y-网格 Nz%pl!  
    — 六边形 'Zqt~5=5  
    — 自由选取 7e D` is  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    2#cw_Ua  
    /UaQ 2h\  
    5. 系统的3维视图 j)Z0K$z=  
    K1-RJj\L  
    .k#O[^~]  
    6. 其他系统参数 RN;#H_ q  
    系统由单色平面波照明 9NZq k  
    照明波长266.08nm x@:98P  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: tCGA3t  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }r"E\~E  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 %CgmZTz~<  
    光束尺寸探测器置于焦平面 aJc>"#+ o  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7nM<P4\  
     Bgai|l  
    ISTAJ8" D  
    XjYMp3  
    ?zVcP=p@  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 wzZ]| C(vp  
    C;9P6^Oz  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    9<"F3F0|  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    U@(8)[?nxn  
    c)q=il7ef  
    uwt29  
    {nS(B  
    V P7LKfv  
    TT){15T;"  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 C[+?gQJ[9  
    CurU6x1  
    h,K&R8S  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ,eL&Ner  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 L$jii  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &?gcnMg$,J  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 #;m^DX QZn  
    [G[{?{  
    9. 焦平面上的结果 OSom-?|w  
    :JXcs39  
    kpk ^Uw%f  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 r8A'8g4cM  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 R80|q#h,]  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm TBHd)BhI.  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 @#9xSs#  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    P#;pQC  
    'OMl9}M  
    10. 总结 7mb5z/N  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3@<m/%  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 .&K?@T4l  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 _sHeB7K  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 dtXtZ!g2  
     
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