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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 - G=doP0  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 t+Qx-sW  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 hdbm8C3  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 b,#?LdQ%  
    :M@#.  
    2. 系统 }~v0o# I  
    U@LIw6B!KL  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    W;F=7[h  
    3. 透镜系统组件编辑 ;a(7%  
    MX|@x~9W  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y*-D  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 jZ<f-Ff0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VE^IA\J x  
    包括序列光学表面和光学介质。 6MQyr2c  
    3AcDW6x|  
    *3y_FTh8ra  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 9*(uJA  
    G;J!3A;TE  
    $$T a  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 DV!0zzJ  
    可以选择选取光线的方法: 6D4 j];~X  
    — 在x-y-网格 g:&PjKA  
    — 六边形 58PL@H~@0  
    — 自由选取 M"ZeK4qh  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
     N1dM,H  
    Aj"fkY|Q  
    5. 系统的3维视图 KN.WTaO  
    m3`J9f,c/  
    X D \;|  
    6. 其他系统参数 7fW$jiw  
    系统由单色平面波照明 41i#w;ojI  
    照明波长266.08nm %eJE@$  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: w(q\75  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^B(:Hv}G(:  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 F441K,I  
    光束尺寸探测器置于焦平面 U)_x(B3d/  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 }t1J`+x%  
     o^x,JT  
    rKr\Qy+q  
    H  `_{n<  
    _Hv@bIL'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 @[O|n)7  
    *,Sa*-7(  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    mzn#4;m$  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    dMa6hI{k  
    ]KQBek#DD  
    ifadnl26 s  
    bqQR";  
    v(Q-RR  
    69zMWuY  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 DhiIKd9W  
    dK7BjZTJo  
    ov|pXi<e  
    VirtualLab可用于计算点列图。 @5cY5e*i{  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 AL[,&_&uV  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B?;P:!/1  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 +<sv/gEt  
    et@<MU@ `  
    9. 焦平面上的结果 N?c!uO|h|  
    ~L9I@(/ S  
    ;x-]1xx_  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5:SS2>~g  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "E7YCZQR  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm jR^_1bu  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 KH9D},  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    J QA]O/|N  
    U;FJSy  
    10. 总结 %kV #UzL  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N"zm  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 )Vpt.4IBd  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;~n^/D2.  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 1raq;^e9  
     
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