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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 o;D[ F  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Rl2*oOVz  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 F7r!zKXZ  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 xct{Tv[FO  
    B]xZ 4 Y  
    2. 系统 J4 Tc q  
    6AW{qU6  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    7@@,4_q E  
    3. 透镜系统组件编辑 I2R" Y<  
    hCcAAF*I;5  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jhN]1t /\X  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 (6*CORE   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \ $PB~-Z  
    包括序列光学表面和光学介质。 Qq.ht  
    uIO<6p)  
    K Qz.g3,  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 F/ODV=J-  
    :s}6a23  
    e[(XR_EY  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FYs-vW{  
    可以选择选取光线的方法: 0F495'*A  
    — 在x-y-网格 *C*'J7  
    — 六边形 rv\yS:2  
    — 自由选取 Tf bB1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    /7)l22<  
    (pl|RmmDz  
    5. 系统的3维视图 s?irT;=  
    %}nNwuJ  
    1zDat@<H  
    6. 其他系统参数 k[`9RGT  
    系统由单色平面波照明 ?Bdhn{_  
    照明波长266.08nm Br,^4w[Hq  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: /ehmy(zL  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p:GB"e9>H  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 r}1.=a  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ds*N1[ *  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 srh>" 2."  
    W@vt6v  
    fnwhkL#8  
    /mM#nS  
    *K<|E15 ,  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 0Q]ZS  
    T;f`ND2fY  
    光线经过整个光学系统的三维视图
     *XlbD  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    &RzkM4"  
    tTMYqg zUk  
    * 7<{Xbsj^  
    AO R{Xm  
    8$+mST'4N  
    g p2S   
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 v*.[O/,EBR  
    #s\HiO$BT  
    cL]vJ`?Ih  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Q||v U  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j>{Dbl:#2  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Hz*5ZIw  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Em%0C@C  
    &tAhRMa  
    9. 焦平面上的结果 x'4q`xDa  
    iB]xYfQ&@V  
    @Nm;lZK  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y .O%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 X{ZcJ8K  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm E=H>|FgS  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ?YeUA =[MC  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    J|uxn<E<>  
    PQkFzyk  
    10. 总结 OzVCqq"]  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 VIXY?Ua  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 #K:!s<_"  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 u["3| `C5  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qy9RYIfZ  
     
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