1. 描述 o;D[F ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Rl2*oOVz ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 F7r!zKXZ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 xct{Tv[FO
B]xZ
4Y 2. 系统 J4Tc q 6AW{qU6 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
7@@,4_q E 3. 透镜系统组件编辑 I2R"
Y<
hCcAAF*I;5
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jhN]1t/\X
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 (6*CORE
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \ $PB~-Z
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Qq. ht
uIO<6p) K Qz.g3, 4. 光线追迹系统分析器-选项 F/ODV=J- :s}6 a23 e[(XR_EY
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FYs-vW {
■ 可以选择选取光线的方法: 0F495'*A
— 在x-y-网格 *C*'J7
— 六边形 rv\yS:2
— 自由选取 TfbB1
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /7)l 22< (pl|RmmDz 5. 系统的3维视图 s?irT;= %}nNwuJ
1zDat@<H 6. 其他系统参数 k[`9RGT ■ 系统由单色平面波照明 ?Bdhn{_ ■ 照明波长266.08nm Br,^4w[Hq ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: /ehmy(zL — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p:GB"e9>H — 一个虚拟屏位于焦平面 r}1.=a — 光束尺寸探测器置于焦平面 ds*N1[
* ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 srh>"
2." W@vt6v fnwhkL#8 / mM# nS *K<|E15 , 7. 光线追迹系统分析器的结果 0Q]ZS T;f`ND2fY 光线经过整个光学系统的三维视图
*XlbD 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
&RzkM4" tTMYqgzUk * 7<{Xbsj^ AO R{Xm 8$+mST'4N g p2S 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 v*.[O/,EBR #s\HiO$BT cL]vJ`?Ih
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Q||vU
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j>{Dbl:#2
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Hz*5ZIw
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Em%0C@C
&tAhRMa 9. 焦平面上的结果 x'4q`xDa
iB]xYfQ&@V
@Nm; lZK
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y.O%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 X{ZcJ8K
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm E=H>|FgS
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ?YeUA =[MC
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 J|uxn<E<> PQkFzyk 10. 总结 OzVCqq"] ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 VIXY?Ua ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 #K:!s<_" ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 u["3| `C5 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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