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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 I_N(e|s\U  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "?a(JC  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 q@1!v  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LyRto  
     Ub(zwR;  
    2. 系统 Ex^|[iV  
    9v&{; %U  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    a.QF`J4"'  
    3. 透镜系统组件编辑 .n1]Yk;,1  
    "mr;|$Y  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ] )D\ws)a9  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 BtDi$d%'  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nsk`nck  
    包括序列光学表面和光学介质。 gK7j~.bb"  
    @q2If{Tk  
    Zo  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 2ijw g~_@  
    (wLzkV/6  
    0Pw?@uV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 yEL^Y'x?  
    可以选择选取光线的方法: *+TIF"|1  
    — 在x-y-网格 99 /fI  
    — 六边形  so_  
    — 自由选取 (:W=8G,p  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    KIO{6  
    v&oE!s#  
    5. 系统的3维视图  L>Bf}^  
    XmN3[j  
     )TV4OT#  
    6. 其他系统参数 W _(  
    系统由单色平面波照明 n| =k9z<y8  
    照明波长266.08nm [P`t8  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 4{H>V_9zs  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 fwB+f` w`  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &z;F'>"  
    光束尺寸探测器置于焦平面 l9 RjxO.~U  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +` g&J  
    3#vhQ*xU  
    RkP g&R;i  
    7KU/ 1l9$9  
    :FOMRrf7.  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ;i|V++$_  
    1MV\Jm  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    _KVge)j  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    )u~LzE]{_  
    9Cbf[\J!bq  
    Zn&S7a>7  
    l(|@ dp  
    D/C,Q|Ya6  
    |KFRC)g  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .r!:` 6  
    `ZL~k  
    }WXO[ +l  
    VirtualLab可用于计算点列图。 VaQqi>;\  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]0<T,m Z  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 A\J|eSG'$  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 qD:3;85  
    )HWf`;VQ  
    9. 焦平面上的结果 A9^t$Ii  
    9qxB/5d_  
    2OFrv=F  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )+T\LU  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 4r5trquC  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm NFpR jC?  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 7A@GN A  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    $rFLhp}  
    e glcf z%  
    10. 总结 $OU,| D  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;~Y0H9`  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9fR`un)f}  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 D> wq4u  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 dbF?#s~u  
     
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