1. 描述 - G=doP0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 t+Qx-sW ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 hdbm8C3 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 b,#?LdQ%
:M@#. 2. 系统 }~v0o#
I U@LIw6B!KL 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
W;F=7[h 3. 透镜系统组件编辑 ;a(7%
MX|@x~9W
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y*-D
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 jZ<f-Ff0
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VE^IA\J x
■ 包括序列光学表面和光学介质。 6MQyr2c
3AcDW6x| *3y_FTh8ra 4. 光线追迹系统分析器-选项 9*(uJA G;J!3A;TE $$T a
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 DV!0zzJ
■ 可以选择选取光线的方法: 6D4 j];~X
— 在x-y-网格 g:&PjKA
— 六边形 58PL@H~@0
— 自由选取 M"ZeK4qh
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 N1dM,H Aj"fkY|Q 5. 系统的3维视图 KN.WTaO m3`J9f,c/ X D\;| 6. 其他系统参数 7fW$jiw ■ 系统由单色平面波照明 41i#w;ojI ■ 照明波长266.08nm %eJE@$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: w(q\75 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^B(:Hv}G(: — 一个虚拟屏位于焦平面 F441K,I — 光束尺寸探测器置于焦平面 U)_x(B3d/ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 }t1J`+x% o^x,JT rKr\Qy+q H `_{n< _Hv@bIL' 7. 光线追迹系统分析器的结果 @[O|n)7 *,Sa*-7( 光线经过整个光学系统的三维视图
mzn#4;m$ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
dMa6hI{k ]KQBek#DD ifadnl26
s bqQR"; v(Q-RR 69zMWuY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 DhiIKd9W dK7BjZTJo ov|pXi<e
■ VirtualLab可用于计算点列图。 @5cY5e*i{
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 AL[,&_&uV
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B?;P:!/1
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 +<sv/gEt
et@<MU@` 9. 焦平面上的结果 N?c!uO|h|
~L9I@(/S
;x-]1 xx_
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5:SS2>~g
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "E7YCZQR
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm jR^_1bu
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 KH9D},
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 JQA]O/|N U;FJSy 10. 总结 %kV #UzL ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N"zm ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 )Vpt.4IBd ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;~n^/D2. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 1raq;^e9