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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 H '5zl^8I  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 -"Kjn`8  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /FXb,)1t  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 68~]_r.a  
    0p3) t  
    2. 系统 hT =E~|O  
    zwUZ*Se  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4Vj]bm  
    3. 透镜系统组件编辑 #?M[Q:  
    N["M "s(N  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A\/DAVnI  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "OP$n-*@%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 fCb&$oRr!  
    包括序列光学表面和光学介质。 4nd)*0{ f  
    G?s;L NR  
    pTQ7woj}  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 9@ h-q(-  
    }+NlY D:qF  
    bneP>Bd  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :gkn`z  
    可以选择选取光线的方法: OpOR!  
    — 在x-y-网格 H5FWk  
    — 六边形 a#Z#-y!  
    — 自由选取 NCkrf]*F-  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    nm|"9|/  
    :d<F7`k H  
    5. 系统的3维视图 v{SYz<(  
    (ia+N/$u  
    Kv5 !cll5  
    6. 其他系统参数 <aMihT)dd  
    系统由单色平面波照明 Fvv/#V^R  
    照明波长266.08nm p|>/Hz1v  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;M#D*<ucI:  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (=53WbOh/t  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 yW(A0  
    光束尺寸探测器置于焦平面 k V'0rb  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Qmv8T ^+  
    {y!77>Q/  
    SsL>K*t5  
    _rUsb4r  
    f,+ONV]5Tt  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ]waCYrG<sY  
    "aGpC{  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    6:bvq?5a5  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    !E/%Hv1  
    ]\=M$:,RZ  
    V+y:!t`  
    V,3$>4x  
    X2('@Yh  
    4mWT"T-8  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 nR?m,J  
    '6>nXp?)r  
    5~omZ,qe  
    VirtualLab可用于计算点列图。 !B*d,_9 c  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0K^G>)l  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 'q*/P&x5  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 1'J|yq  
    k@C]~1  
    9. 焦平面上的结果  /I' np  
    jDM^e4U.l  
    8!dA1]2;  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2fJ2o[v  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 -}<W|r  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 5zI I4ukn*  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 $Xo_C_:B  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    =kWm9W<^  
    cd*F;h  
    10. 总结 ^,Y#_$oR  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3Q(#2tL=  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @k2nID^>  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 (/l9@0Y.t  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t[cZ|+^]  
     
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