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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 25&nwz  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ex0oAt^  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 pj@Yqg/  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ' 3VqkQ4  
     DUo0w f#D^  
    2. 系统 Vku#;:yUb^  
    _f66>a<  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    d}VALjXHX!  
    3. 透镜系统组件编辑 %xpd(&)n  
    j$0zD:ppW  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 IO6MK&R  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 1^tSn#j  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 !c."   
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 N+hedF@ZU  
     ~K%k 0kT  
    9PCa*,  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 p4y6R4kyT  
    >F~ITk5`Oo  
    ;9vIa7L&  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Vp\80D&  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 3Cd<p[%3#,  
    — 在x-y-网格 g@}6N.]#  
    — 六边形 LVoyA/ F  
    — 自由选取 /Go>5 B>  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     =!YP$hfY  
    bu_/R~&3{  
    5. 系统的3维视图 InP[yFV-z  
    _~:j3=1&n  
     I}rGx  
    6. 其他系统参数 tr5'dX4]  
    ■ 系统由单色平面波照明 q _19&;&  
    ■ 照明波长266.08nm / Z1Wy-Z  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： A3<^ U  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {dZ!I  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \+G.]|"Y  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 2c"/QT  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 R/ Tj^lM  
    :|zp8|  
    m'3OGvd  
    |1lf(\T_  
    [6G=yp  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 /G{&[X<4U  
    - *r[  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    L!?v BL  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    ypgliq(  
    ]&' jP  
    ^4RO  
    LgO i3  
    vNPfUEnA  
    Z(l9>A7!  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ,eyp$^2  
    .zQ4/  
    i[o&z$JO  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 $^] 9  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 cO8`J&EK  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]!]`~ Z/  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 o*?[_{x W  
     '_k>*trV  
    9. 焦平面上的结果 p .lu4  
    &qNP?>C!=  
    \)uy"+ Z`  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 CM`x>J  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 >F,$;y52  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm +[>y O _}  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Q -M rH   
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     & 8ccrw  
    @gs26jX~2}  
    10. 总结 !&'# a  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 MP6 \r  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 }~myf\$  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yW%&_s0  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 j@%K*Gb`  
     
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