1. 描述 ?N#[<kd ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 z_(eQP]) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?Y!^I2Y6 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9qeZb%r&
T 'i~_R6 2. 系统 ;tN4HiN .v7`$(T 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Y2vj}9jK 3. 透镜系统组件编辑 Sf5]=F-w
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@KRcp^b
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #O6
EP#B
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 foyB{6q8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 104!!m
■ 包括序列光学表面和光学介质。 /d]~ly
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<%r h/r p)z-W( 4. 光线追迹系统分析器-选项 zW)gC9_|m- a8NVLD>7} O"QHb|j
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 CSH`pU
■ 可以选择选取光线的方法: B$DZ]/<
— 在x-y-网格 GRQ_+K
— 六边形 4a 4N
C
— 自由选取 ~1d!hq?/q
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 M4H"].Zm :s-EG;. 5. 系统的3维视图 #ZF>WoC@e? -=>U
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Lv3XYZgW~ 6. 其他系统参数 \L
%q[ ■ 系统由单色平面波照明 kyK' ■ 照明波长266.08nm 6ZTaQPtm ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _2; ^v`[ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @4&,
#xo — 一个虚拟屏位于焦平面 (qj,GmcS — 光束尺寸探测器置于焦平面 ;fkSrdj ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a.CF9m5]c ${@q?iol 7
{nl..` 3~:0?Zuq 4y1> 7. 光线追迹系统分析器的结果 kI<WvgoL G#'Q~N 光线经过整个光学系统的三维视图
TIETj~+ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$wgc vySx |a>}9:g,=* 8T<@ @6`T y]<#%Fh PM8Ks?P#u n{L:MT9TD 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 `i9N)3
X FQ0KUb}0 PaxK^*
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Pu-p7:99;'
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 P6:;Y5e0
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 76$*1jB
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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au,jAk 9. 焦平面上的结果 >6IXuq
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|G)Y8 #D
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 pFEZDf}:
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 YsZ{1W
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm nW~$
(Qnd
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 gA{'Q\
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _Q)d+Fl B~WK)UR 10. 总结 r?>V x- ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 FOc|*>aKP ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %3rTQ:X ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 =l_rAj~I| ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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