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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 +RS$5NLH  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ib6(Bp9.L  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 srK53vKMHW  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IM=+3W;ak  
    W^k,Pmopy  
    2. 系统 L7}i q0  
    0cFn{q'u  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4%J|DcY2  
    3. 透镜系统组件编辑 O:e#!C8^  
    O#:&*Mv  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \_ 9rr6^ "  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 e #M iaX  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Oc~aW3*A(  
    包括序列光学表面和光学介质。 _f|/*. @Q  
    U-g9C.  
    m2O&2[g  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ?}8IQxU  
    yj zK.dM  
    @1g&Z}L o  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5)`h0TK  
    可以选择选取光线的方法: /c#l9&,  
    — 在x-y-网格 .,M;huRg  
    — 六边形 Y@%`ZPJ  
    — 自由选取 K &dT(U  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    NAJVr}4f  
    h/K@IA d  
    5. 系统的3维视图 \[ M_\&GC  
    5un^yRMB-  
    c`jDW S  
    6. 其他系统参数 =cn~BnowY  
    系统由单色平面波照明 7"cv|6y|  
    照明波长266.08nm J633uH}}  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: OH6n^WKY  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >f$NzJ}  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 hcyO97@r  
    光束尺寸探测器置于焦平面 "Pj}E=!k  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 / M@ PO"  
    6/1$< !WH  
    zCV7%,H~  
    LT_iS^&1  
    55m<XC  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 RJ}#)cT  
    sV2iITF p  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    K5`Rk" s  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    p `P~i&_  
    QVtM.oi!Q  
    URw5U1  
    78]gt J  
    m@\ZHbq  
    ,S!w'0k|n  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 *7RvHHf  
    l r~gG3   
    @;Y~frT  
    VirtualLab可用于计算点列图。 o`6|ba  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 FjFwvO_.  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 j O8k6<l  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Lgi[u"Du  
    CS@&^SEj  
    9. 焦平面上的结果 W)4QOS&  
    A 5nO=  
    F,T~\gO5,  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Cq\I''~8  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !p[`IWZ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm >|*yh~  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 W^3;F1  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ][7p+IsB  
    33a uho  
    10. 总结 /3B6 Mtb  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 qZ X/@Yxz  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9 26Tl  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ]KuMz p!  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4c159wsnQ  
     
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