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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ?N#[<kd  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 z_(eQP])  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?Y!^I2Y6  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9qeZb%r&  
    T 'i~_R6  
    2. 系统 ;tN4HiN  
    .v7`$(T  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Y2vj}9jK  
    3. 透镜系统组件编辑 Sf5]=F-w  
    D% @KRcp^b  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #O6 EP#B  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 foyB{6q8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 104!!m  
    包括序列光学表面和光学介质。 /d]~ly @uI  
    < %rh/r  
    p)z-W(  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 zW)gC9_|m-  
    a8NVLD>7}  
    O"QHb|j  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 CSH`pU  
    可以选择选取光线的方法: B$DZ]/<  
    — 在x-y-网格 GRQ_+K  
    — 六边形 4a 4N C  
    — 自由选取 ~1d!hq?/q  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    M4H"].Zm  
    :s-EG;.  
    5. 系统的3维视图 #ZF>WoC@e?  
    -=>U =|  
    Lv3XYZgW~  
    6. 其他系统参数 \L %q[  
    系统由单色平面波照明 kyK'  
    照明波长266.08nm 6ZTaQPtm  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _2; ^v`[  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @4&, #xo  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 (qj,GmcS  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ;fkSrdj  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a.CF9m5]c  
    $ {@q?iol  
    7 {nl..`  
    3~:0?Zuq  
    4y1>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 kI<Wvgo L  
    G#'Q~N  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    TIETj~+  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $wgc vySx  
    |a>}9:g,=*  
    8T<@ @6`T  
    y]<#%Fh  
    PM8Ks?P#u  
    n{L:MT9TD  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 `i9N )3 X  
    FQ0KU b}0  
    PaxK^*  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Pu-p7:99;'  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 P6:;Y5e0  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 76$*1jB  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 <_>.!9q  
    au,jAk  
    9. 焦平面上的结果 >6IXuq  
    _HLC>pH~#  
    |G)Y8 #D  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 pFEZDf}:  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 YsZ{1W  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm nW~$ (Qnd  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 gA{'Q\  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _Q)d+Fl  
    B~WK)UR  
    10. 总结 r?>Vx -  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 FOc|*>aKP  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %3rTQ:X  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 =l_rAj~I|  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 wLY#dm  
     
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