1. 描述 =LDzZ:' X ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =21$U[ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 21bvSK ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 U2
QxH%4 )? 2. 系统 ]@vX4G/ X#'DS&{ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
)."_i64 3. 透镜系统组件编辑 YD
H!Nl
?>cx;"xF
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 m.pB]yq&
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 a$yAF4HR<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9u ^PM
■ 包括序列光学表面和光学介质。 !?Gt5$f
+w[vYKSZm u)Y~+ [Q 4. 光线追迹系统分析器-选项 +%7v#CY
& M(KsLu1
#( F/P!qk
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @X+m,u
■ 可以选择选取光线的方法: _VGAh:v
— 在x-y-网格 0_q8t!<xJw
— 六边形 uf]SPG#/D
— 自由选取 H?*EQK`7?0
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
&a5UQ> W@`2+} 5. 系统的3维视图 "3.v(GVr >h1 3i@`r
3)88B"E 6. 其他系统参数 5.5<.") ■ 系统由单色平面波照明
4~xKW2*`K ■ 照明波长266.08nm -0r0M) ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \@;$xdA$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (RVe,0y — 一个虚拟屏位于焦平面 ^\
A[^' 9 — 光束尺寸探测器置于焦平面 G
d~
v _ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #V&98 F -}Zck1 0b6jGa TwlX'iI_; FlGU1%]m 7. 光线追迹系统分析器的结果 "5
;fuM1 3}dTbr4y 光线经过整个光学系统的三维视图
WJWi'|C4 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
\~m\pf? s|F}Abx,^ (VDY]Q) bCMo8Xh (rqc_ZU5 ]8q#@%v} 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~hD!{([ \c}_!.xj" v+Eub;m
■ VirtualLab可用于计算点列图。 X3e&c
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _D~l2M
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <G|i!Pm
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
LNp{lC
-p.c8B 9. 焦平面上的结果 )U12Rshl
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +t*V7nW
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 U\*]cw
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm '8%jA$o\g
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 OT0%p)
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 r$[`A_ "5<:Dj/W 10. 总结 &1/OwTI4J ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "DaE(S& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Zt_~Zxn3 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 lXtsnQOOK ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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