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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 =LDzZ:' X  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =21$U[  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 21bvSK  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。  U2  
    QxH%4 )?  
    2. 系统 ]@vX4G/  
    X#'DS&{  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    )."_i64  
    3. 透镜系统组件编辑 YD H!N l  
    ?>cx; "xF  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 m.pB]yq&  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 a$yAF4HR<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9u^PM  
    包括序列光学表面和光学介质。 !?Gt5$f  
    +w[vYKSZm  
    u)Y~+ [Q  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 +%7v#CY &  
    M(KsLu1   
    #(F/P!qk  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @X+m,u  
    可以选择选取光线的方法: _VGAh:v  
    — 在x-y-网格 0_q8t!<xJw  
    — 六边形 uf]S PG#/D  
    — 自由选取 H?*EQK`7?0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    &a5UQ>  
    W@`2+}  
    5. 系统的3维视图 "3.v(GVr  
    >h1 3i@`r  
    3)88B"E  
    6. 其他系统参数 5. 5<.")  
    系统由单色平面波照明 4~xKW2*`K  
    照明波长266.08nm -0r 0M )  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \@;$xdA$  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (RVe,0y  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ^\ A[^' 9  
    光束尺寸探测器置于焦平面 G d~ v _  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #V&98 F  
    -} Zck1  
    0b6jGa  
    TwlX'iI_;  
    FlGU1%]m  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 "5 ;fuM1  
    3}dTbr4y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    WJWi'|C4  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    \~ m\pf?  
    s|F}Abx,^  
    (VD Y]Q)  
    bCMo8Xh  
    (rqc_ZU5  
    ]8q#@%v }  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~hD!{([  
    \c}_!.xj"  
    v+Eub;m   
    VirtualLab可用于计算点列图。 X3e&c  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _D~l2M  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <G|i!Pm  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 LNp{lC  
    -p.c8B  
    9. 焦平面上的结果 )U12Rshl  
    #1*#3p9UL  
    4> k"$l/:  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +t*V7nW  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 U\*]cw  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm '8%jA$o\g  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 OT 0%p)  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    r$[`A_  
    "5<:Dj/W  
    10. 总结 &1 /OwTI4J  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "DaE(S&  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Zt_~Zxn3  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 lXtsnQOOK  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 V>Dqw!  
     
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