1. 描述 :
&! >.Y ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %&EDh2w> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 fd Vye|% ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ;yd[QT<I<
"p,TYjT?R 2. 系统 08*O|Ym, }~/u%vI@M5 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
$:&?!>H 3. 透镜系统组件编辑 F"2rX& W
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 c;RB!`9"
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 9hoTxWpmy
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 *hugQh ]a
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ~r(/)w\
r7dvj#^ y9<]F 6TT 4. 光线追迹系统分析器-选项 ';T=kS<^_ vpTY fE . Y@)3
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 `8 Q3= ^)3
■ 可以选择选取光线的方法： 2VSs#z!
— 在x-y-网格 PH,MZ "Z%
— 六边形 /%O+]#$`0
— 自由选取 \TchRSe
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 F|Y}X|x8Q u+
wKs` 5. 系统的3维视图 D)0pm?*5A :i{$p00
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mn5mdrv3WZ 光线经过整个光学系统的三维视图
[ij8h,[~] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
:Fv d?[ 4tZnYGvqe lQ t&K1m NTj: +z0 r$=YhI/= EUVB>%P 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 O-5s}RT -Odk'{nW T(n<@Ac]V
■ VirtualLab可用于计算点列图。 7mUp n:U
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;t^8lC?>V
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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>icL, n"] 9. 焦平面上的结果 a.oZ}R7'Y
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OJ2O?Te 8
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Glt%%TJb
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 z3 zN^ZT
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm R^nkcLFb/q
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 8ec 6J*b
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 oH[4<K> O @n1E'S/ 10. 总结 j|WuOZm\0 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =f4v: j}'| ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 81(.{Y839_ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9P pPAF ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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