1. 描述 o.g V4% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n)e
6>R; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 d-ZJL6- ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 SC!RbW@3
>d*@_kJM 2. 系统 $q{!5-e *NaB#;+|k` 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
")5":V~fN 3. 透镜系统组件编辑 t]g-CW3
,vawzq[oSy
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !cLo>,4
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 z`}qkbvi
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o]_dJB
■ 包括序列光学表面和光学介质。 t%FwXaO#
w\u=)3qyVV Xp% v.M 4. 光线追迹系统分析器-选项 o#gWbAG;]b rmm0/+jY hJ? O],4J
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 XS{Qnx_#
■ 可以选择选取光线的方法: ~2N"#b&J
— 在x-y-网格 a:`E0}C
— 六边形 ({)+3]x
— 自由选取 9uO 2Mm
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |O+H[;TB6 su(1<S} 5. 系统的3维视图 gp?uHKsM EwT"uL*V;
EU;9*W< 6. 其他系统参数 yu|8_<bq ■ 系统由单色平面波照明 :#ik. D ■ 照明波长266.08nm GPudaF{ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 0<@KG8@hI; — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 uym*a4J — 一个虚拟屏位于焦平面 yYYSeH — 光束尺寸探测器置于焦平面 &64h ;P< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 U&OJXJdj Bahm]2 pRpBhm;iJ hH3RP{'= ]7BvvQ
7. 光线追迹系统分析器的结果 `25yE/ zxl@(hd 光线经过整个光学系统的三维视图
Y=I'czg 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
QO~P7r|A i$#;Kpb`^ Uz8ff 783,s_ TDjm2R~9FS ]p GL`ge5 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $( kF# ,^< R{{{-A k%#EEMh
■ VirtualLab可用于计算点列图。 n;_sG>N
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ZvX*t)VjTz
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 s^9Voi.y
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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exUFS5d 9. 焦平面上的结果 [l??A3G
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !>o7a}?
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm pYEMmZ?L
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 /Cr%{'Pzk
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 L`TLgH&?R 8/#A!Ww] 10. 总结 )2o?#8J ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 V2EUW!gn
2 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 b_taC^-l ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 iWkWR"ysy ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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