1. 描述 }P.Z}n;Uj ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~i>DF`w$ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 UgS`{&b36 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ~h;
b(;u2 8 2. 系统 >WDHRC B#jnM~fJz 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(b<0=U 3. 透镜系统组件编辑 ,S=[#
!uW*~u
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 j7kX"nz
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 A`f"<W-m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Fw\Z[nh
■ 包括序列光学表面和光学介质。 R2sG'<0B0
Zdqm|_R[ b2UDP W 4. 光线追迹系统分析器-选项 In96H` eQu(3 sYb L4m Vk
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xS/W}-dPv
■ 可以选择选取光线的方法: -GPJ,S V>
— 在x-y-网格 iiIns.V
— 六边形
c2M
— 自由选取 C:t>u..
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 e!*]y&W 0HoHu*+FX 5. 系统的3维视图 =IsmPQKi 06f%{mAZS
<7\j\` 6. 其他系统参数 \j`0f=z_ ■ 系统由单色平面波照明 BA2"GJvfIA ■ 照明波长266.08nm HdqB B ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .s*N1
U?h — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 j}ob7O&U'w — 一个虚拟屏位于焦平面 c.IUqin — 光束尺寸探测器置于焦平面 VGeTX 4h ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zY_J7,0g 9efey? z jL\j$'KC L?d?O :kR>wX 7. 光线追迹系统分析器的结果 =eU=\td^ u_^mN9h 光线经过整个光学系统的三维视图
SZ9Oz-? 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
{kk%_q N<rq}^qo ]i.N'O<p l&+O*=#Hh z!3=.D ,^?g\&f( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ay7\Ae] FprdP*/ $C7a#?YF,
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,6;n[p"h|r
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %@Gy<t,
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _HHvL=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
I2$DlEke
'/u|32 9. 焦平面上的结果 mxgT}L0i
6
H P66B
(NLw#)?
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \nEMj,)
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x!_5/
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm q!:dZES
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 PG63{
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Nz2V aZ z;1dMQ,# 10. 总结 )&1v[]%S ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S=r0tao,!v ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 l{dsm1#W~ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ljm`KE\Q;t ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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