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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 sTF Ru  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ec|5'Kz]  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 N`!=z++G  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 X:gE mcXc  
    )R"deb=s  
    2. 系统 `Z~\&r=  
    O.wk*m!9  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +L<x0-&  
    3. 透镜系统组件编辑 !$.h[z^  
    5\P3JoH:Yg  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 c!>",rce  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F7qQrE5bl  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8nHFNOv6  
    包括序列光学表面和光学介质。 DX@*lM  
    #wZBWTj.  
    -$5nqaK?  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 )x&OdFX  
    i sV9nWo$  
    aT%6d@g  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %%Z|6V74  
    可以选择选取光线的方法: $61*X f+*  
    — 在x-y-网格 rJ_fg$.<  
    — 六边形 rQD7ZN_ R  
    — 自由选取 wMru9zyI  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    WG.J-2#3  
    Zk75GC  
    5. 系统的3维视图 :ODG]-QF  
    'Gds?o8  
    \l9S5%L9  
    6. 其他系统参数 Fwv(J_'q  
    系统由单色平面波照明 !Typ_Cs  
    照明波长266.08nm ?*)wQZt;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: i2+vUl|;Z  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Qg4g(0E@  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8t Ef>  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ]R  s  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 (3M7RpsL@  
    / qo`vk A  
    !aub@wH3  
    ^\zf8kPti  
    60&4?<lR4  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ~J,e^$u  
    SRf .8j  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    q2KWSh5  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    J`x!c9zg7  
    _f5n t:-  
    orzy &4  
    KF4}cM=.5  
    WF0[/Y  
    $S _VR  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "vG~2J  
    R-2V C  
    W6[# q%o  
    VirtualLab可用于计算点列图。 z^r  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 m6=Jp<  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 S;FgS:;  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 51lN,VVD  
    )w3HC($g  
    9. 焦平面上的结果 %;{R o)03  
    j? P=}_Ru  
    EZvf\s>LT  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C%y!)v_x  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #b?)fqRJL  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm zgh~P^Z  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 0ynvn9@t  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    #fR~ 7 KR  
    b4HUgW3Ac  
    10. 总结 D-IXO @x  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Rg?m$$X`  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &=d0'3k>  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 8S_v} NUm  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 @ s2<y@  
     
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