1. 描述 sTFRu ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ec|5'Kz] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 N`!=z++G ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 X:gE
mcXc
)R"deb=s 2. 系统 `Z~\&r= O.wk*m!9 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+L<x0-& 3. 透镜系统组件编辑 !$.h[z^
5\P3JoH:Yg
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 c!>",rce
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F7qQrE5bl
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8nHFNOv6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 DX@*lM
#wZBWTj. -$5nqaK? 4. 光线追迹系统分析器-选项 )x&OdFX isV9nWo$ aT%6d@g
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %%Z|6V74
■ 可以选择选取光线的方法: $61*X f+*
— 在x-y-网格 rJ_fg$.<
— 六边形 rQD7ZN_ R
— 自由选取
wMru9zyI
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 WG.J-2#3 Zk75GC 5. 系统的3维视图 :ODG]-QF 'Gds?o8
\l9S5%L9 6. 其他系统参数 Fwv(J_'q ■ 系统由单色平面波照明 !Typ_Cs ■ 照明波长266.08nm ?*)wQZt; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: i2+vUl|;Z — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Qg4g(0E@ — 一个虚拟屏位于焦平面 8t
Ef> — 光束尺寸探测器置于焦平面 ]R s ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 (3M7 RpsL@ / qo`vk A !aub@wH3 ^\zf8kPti 60&4?<lR4 7. 光线追迹系统分析器的结果 ~J,e^$u SRf.8j 光线经过整个光学系统的三维视图
q2KWSh5 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
J`x!c9 zg7 _f5n
t:- orzy&4 KF4}cM=.5 WF0[/Y $S _VR 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "vG~2J R-2V C W6[# q%o
■ VirtualLab可用于计算点列图。 z^r
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 m6=Jp<
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 S;FgS:;
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
51lN,VVD
)w3HC($g 9. 焦平面上的结果 %;{Ro)03
j?
P=}_Ru
EZvf\s>LT
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C%y!)v_x
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #b?)fqRJL
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm zgh~P^Z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 0ynvn9@t
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 #fR~7K R b4HUgW3Ac 10. 总结 D-IXO@x ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Rg?m$$X` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &=d0'3k> ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 8S_v} NUm ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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