1. 描述 nb<e<>L ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1:JwqbZKJ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 wz'= ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =t^jlb
8.,d`~ 2. 系统 TZ63=m }*
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3 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
5cGQ `l 3. 透镜系统组件编辑 ?K+q~DzNSD
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 e)= "Fq!
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 cYp/? \
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :YQI1 q[6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 lA%FS]vh
UX+vU@Co[ %x.du9 4. 光线追迹系统分析器-选项 QM![tZt%; ]5K+W q{&\nCy
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m]vS"AdX
■ 可以选择选取光线的方法: Y[l<fbh(}
— 在x-y-网格 qu1+.z=|
— 六边形 Nm
!~h|3
— 自由选取 N]eBmv$|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5 w(nttYH CY*o"@-o5) 5. 系统的3维视图 [UXN=
76N w3ATsIw
U?an\rv 6. 其他系统参数 4(*PM&'R ■ 系统由单色平面波照明 ; PncJe5x ■ 照明波长266.08nm x3g4 r_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: YA@MLZm — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 NT0n[o^ — 一个虚拟屏位于焦平面 re_nb)4g — 光束尺寸探测器置于焦平面 Y)DAR83 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Pz34a@%" O/|))H?C AT)b/ycC jz`3xFy *] I?St}Tl 7. 光线追迹系统分析器的结果 k_{?{:X;y 67hfv e 光线经过整个光学系统的三维视图
lP*n%Pn) 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
P3`$4p? B2oKvgw .dMdb7 {1Y@%e d&CpaOSu R)BXN~dQ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 xu_,0ZT]{ H0#=oJr$)W T\n6^@.>
■ VirtualLab可用于计算点列图。 /2zan}
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 I ^m
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0Dna+V/jI
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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QhS5e 9. 焦平面上的结果 &oMWs]0
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 !b7"K|
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }04mJY[
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm w6Nnx5Ay
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 R2n
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■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 aUzCKX%>C 4MS#`E7LrC 10. 总结 m)} 01N4 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 p09p/ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ghWWJx9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Qw:!Rw,x ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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