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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 }P.Z}n;Uj  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~i>DF`w$  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 UgS`{&b36  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ~h;   
    b(;u2 8  
    2. 系统 >WD HRC  
    B#jnM~fJz  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    (b<0=U   
    3. 透镜系统组件编辑  ,S=[#  
    !uW*~u  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 j7kX"nz  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 A`f"<W-m  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Fw\Z[nh  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 R2sG'<0B0  
    Zdqm|_R[  
    b2UDPW  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 In96H`  
    eQu(3sYb  
    L4m Vk  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xS/W}-dPv  
    ■ 可以选择选取光线的方法: -GPJ,S V>  
    — 在x-y-网格 iiIns.V  
    — 六边形  c2M  
    — 自由选取 C:t>u..  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    e! *] y&W  
    0HoHu*+FX  
    5. 系统的3维视图 =IsmPQKi  
    06f%{mAZS  
    <7\j\`  
    6. 其他系统参数 \j`0 f=z_  
    ■ 系统由单色平面波照明 BA2"GJvfIA  
    ■ 照明波长266.08nm H dqB B   
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .s*N1 U?h  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 j}ob7O&U'w  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 c.IUqin  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 VGeTX 4h  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zY_J7,0g  
    9efey? z  
    jL\j$'KC  
    L?d?O  
    :kR>wX  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 =eU=\td^  
    u_^mN9h  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    SZ9Oz-?  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    {kk%_q  
    N<rq}^qo  
    ]i.N'O<p  
    l&+O*=#Hh  
    z!3=.D  
    ,^?g\&f(  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ay7\Ae]  
    FprdP*/  
    $C7a #?YF,  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,6;n[p"h|r  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %@Gy<t,  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _HHvL=  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 I2$DlEke  
    '/u|32  
    9. 焦平面上的结果 mxgT}L0i  
    6 H P 66B  
    (NLw#)?  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。  \nEMj,)  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 x!_5 /  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm q!:dZES  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 PG63{  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Nz2 VaZ  
    z;1dMQ,#  
    10. 总结 )&1v[]%S  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 S=r0tao,!v  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 l{dsm1#W~  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ljm`KE\Q;t  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 2X\Pw  
     
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