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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 o.g V4%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n)e 6>R ;  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 d-ZJL6-  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 SC!RbW@3  
    >d*@_ kJM  
    2. 系统 $q{!5-e  
    *NaB#;+|k`  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ")5":V~fN  
    3. 透镜系统组件编辑 t]g-CW 3  
    ,vawzq[oSy  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !cLo> ,4  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 z`}qkbvi  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o]_dJB  
    包括序列光学表面和光学介质。 t%FwXaO#  
    w\u=)3qyVV  
    Xp% v.M  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 o#gWbAG;]b  
    rmm0/+jY  
    hJ? O],4J  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 XS{Qnx_#  
    可以选择选取光线的方法: ~2N"#b&J  
    — 在x-y-网格 a :`E0}C  
    — 六边形 ({)+3]x  
    — 自由选取 9uO 2Mm  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    |O+H[;TB6  
    su( 1<S}  
    5. 系统的3维视图 gp?uHKsM  
    EwT"uL*V;  
    EU;9 *W<  
    6. 其他系统参数 yu|8_<bq  
    系统由单色平面波照明 :#ik. D  
    照明波长266.08nm GPudaF{  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 0<@KG8@hI;  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 uym*a4J  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 yYYSeH  
    光束尺寸探测器置于焦平面 &64h ;P<  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 U&OJXJd j  
    Bahm]2  
    pRpBhm;iJ  
    hH 3RP{'=  
    ]7BvvQ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果  `25yE/  
    zxl@(h d  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Y =I'czg  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    QO~P7r|A  
    i$#;Kpb`^  
    Uz8ff  
    783,s_  
    TDjm2R~9FS  
    ]p GL`ge5  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $( kF#  
    ,^< R{{{-A  
    k%#EEMh  
    VirtualLab可用于计算点列图。 n;_sG>N  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ZvX*t)VjTz  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 s^9Voi.y  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ^ VyKd  
    exUFS5d  
    9. 焦平面上的结果 [ l??A3G  
    B dfwa  
    s 5Qcl;}  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ltSU fI  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !>o7a}?  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm pYEMmZ?L  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 /Cr%{'Pzk  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    L`TLgH&?R  
    8/#A!Ww]  
    10. 总结 )2o?#8J  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 V2EUW!gn 2  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 b_taC^-l  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 iWkWR"ys y  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 V=l0(03j~  
     
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