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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 nb<e<>L  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1:JwqbZKJ  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 wz'=  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 =t^jlb  
    8.,d`~  
    2. 系统  TZ63=m  
    }* \*<d 3  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    5cGQ`l  
    3. 透镜系统组件编辑 ?K+q~DzNSD  
    wn^#`s!]U  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 e)= " Fq!  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 cYp/? \  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :YQI1 q[6  
    包括序列光学表面和光学介质。 l A%FS]vh  
    UX+vU@Co[  
    %x.du9  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 QM![tZt%;  
    ]5K+W  
    q{&\nCy  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m]vS"AdX  
    可以选择选取光线的方法: Y[l<fbh(}  
    — 在x-y-网格 qu1+.z=|  
    — 六边形 Nm !~h|3  
    — 自由选取 N]eBmv$|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5 w(nttYH  
    CY*o"@-o5)  
    5. 系统的3维视图 [UXN= 76N  
    w3ATsIw  
    U?an\rv  
    6. 其他系统参数 4(*PM&'R  
    系统由单色平面波照明 ; PncJe5x  
    照明波长266.08nm x3g4r_  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: YA@MLZm  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 NT0n [o^  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 re_nb)4g  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Y)DAR83  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Pz34a@%"  
    O/|))H?C  
    AT)b/ycC  
    jz`3xFy *]  
    I?S t}Tl  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 k_{?{:X;y  
    67hfve  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    lP*n%Pn)  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    P3`$4p?  
    B2oKvgw  
    .dMdb7  
    {1Y @%e  
    d&CpaOSu  
    R)BXN~dQ  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 xu_,0 ZT]{  
    H0#=oJr$)W  
    T\n6^@.>  
    VirtualLab可用于计算点列图。 /2zan}  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 I ^m  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0Dna+V/jI  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 yhYF "~CM  
    ,% Qh S5e  
    9. 焦平面上的结果 &oMWs]0  
    SOq:!Qt  
    $%q=tn'EX  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 !b7"K|  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }04mJY[  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm w6Nn x5Ay  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 R2n 2mQ<  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    aUzCKX%>C  
    4MS#`E7LrC  
    10. 总结 m)} 01N4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 p09p/  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ghWWJx9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Qw:!Rw,x  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 >xabn*Kq  
     
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