1. 描述 +RS$5NLH ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Ib6(Bp9.L ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 srK53vKMHW ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IM=+3W;ak
W^k,Pmopy 2. 系统 L7}i
q0 0cFn{q'u 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4%J|D cY2 3. 透镜系统组件编辑 O:e#!C8^
O#:&*Mv
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \_9rr6^"
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 e #M iaX
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Oc~aW3*A(
■ 包括序列光学表面和光学介质。 _f|/*.
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U-g9C. m2 O&2[g 4. 光线追迹系统分析器-选项 ?}8IQxU yj
zK.dM @1g&Z}L
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5)`h0TK
■ 可以选择选取光线的方法: /c#l9&,
— 在x-y-网格 .,M;huRg
— 六边形 Y@%`ZPJ
— 自由选取 K&dT(U
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 NAJVr}4f h/K@IAd 5. 系统的3维视图 \[ M_\&GC 5un^yRMB-
c`jDW S 6. 其他系统参数 =cn~BnowY ■ 系统由单色平面波照明 7"cv|6y| ■ 照明波长266.08nm J633uH}} ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: OH6n^WKY — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >f$NzJ} — 一个虚拟屏位于焦平面 hcyO97@r — 光束尺寸探测器置于焦平面 "Pj}E=!k ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 /M@PO" 6/1$<!WH zCV7%,H~ LT_iS^&1 55m<XC 7. 光线追迹系统分析器的结果
RJ}#)cT sV2iITFp 光线经过整个光学系统的三维视图
K5`Rk"s 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
p`P~i&_ QVtM.oi!Q URw5U1 78]gtJ m@\ZHbq ,S!w'0k|n 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 *7RvHHf l r~gG3 @;Y~frT
■ VirtualLab可用于计算点列图。 o`6|ba
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 FjFwvO_.
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 jO8k6<l
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Lgi[u"Du
CS@&^SEj 9. 焦平面上的结果 W)4QOS&
A5nO=
F,T~\gO5,
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Cq\I''~8
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !p[`IWZ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
>|*yh~
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 W^3;F1
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ][7p+IsB 33a uho
10. 总结 /3B6Mtb ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 qZ X/@Yxz ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 926Tl ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ]KuMz p! ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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