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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 cZRLYOC  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 N_vVEIO9  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 T#lySev  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {PM)D [$i  
     lPS A  
    2. 系统 g~L1e5C]z  
    ksxacRA7\  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ta+'*@V +G  
    3. 透镜系统组件编辑 Q#@gOn=W\  
    6TE R Q  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 tUmI#.v   
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 HrA6wn\O  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ou44vKzS  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?lxI& h  
     %*.;3;m  
    PL8{|Q  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 I`44}oJ  
    %iI0JF*E z  
    4\q7.X+^  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %PG::b  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ZkYc9!anY  
    — 在x-y-网格 Vgs( feGs  
    — 六边形 z[Kxy1,  
    — 自由选取  ]{OEU]I@  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     's$pr#V  
    %E7+W{?*1  
    5. 系统的3维视图 nzDS  
    66=6;77  
    z9$x9u  
    6. 其他系统参数 l;L&ijTQD  
    ■ 系统由单色平面波照明 {KL<Hx2M  
    ■ 照明波长266.08nm oKTIoTb  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： w\Q3h`.  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?B %y)K  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -8tWc]c |4  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 rsf A.o  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5;V#Z@S  
    IxCEE5+`%  
    Cc]s94  
    d@"eWvnlZ  
     zUqiz  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 8'*z>1ZS5  
    `hS<F" j  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @( 9#\%=  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    p;j$i6YJ  
    Fm-W@  
    2 < &-  
    W.\HfJ74  
    R*TCoEKO  
    Ii*v(`2b  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6!bA~"N  
    -p ) l63  
    |.:O$/ Tt[  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 C3 0b}2  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 PZpwi?N  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 c6s(f  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 (eJr-xZ/  
     ru(Xeojv#  
    9. 焦平面上的结果 GU'5`Yzd9  
    ^V_acAuS^  
    j1YE_U  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 q) /;|h  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ]qXHalHY  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ]-%ZN+  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 j Xi<ZJ  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     :M|c,SQK  
    8t}=?:B+{  
    10. 总结 NfR,m ]  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 '[Oi_gE.  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 g,y`[dr  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 =oT@h 9VI  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 4PD"[a="  
     
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