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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 h&EF)~G  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "0?" E\  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 XWUi_{zn  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 a)rT3gl  
     S 0mt8/ M  
    2. 系统 pT<I!,~  
    V`"Cd?R0Z  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    xc1-($Q,  
    3. 透镜系统组件编辑 ?p &Xf>K  
    f.ws\^v%  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Ev1gzHd!i  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 _>Oc> .MB  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 NPt3#k^bW  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 [}?E,1Q3  
     wl%I(Cw{]  
    1<pb=H  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 {[r}gS%  
    dwUs[v   
    o65I(`  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 )$QZ",&5  
    ■ 可以选择选取光线的方法： X/A(8rvCr  
    — 在x-y-网格 jFwJ1W;?-  
    — 六边形 `&FfGftc  
    — 自由选取 ME'LZ"VT  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     \m~Oaf;$  
    $&. rS.*  
    5. 系统的3维视图 sO8F0@%aH(  
    CjmF2[|  
    jUrUM.CJ\N  
    6. 其他系统参数 \&^U9=uq  
    ■ 系统由单色平面波照明 #c`/ f6z  
    ■ 照明波长266.08nm | =tGrHL  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： QT[4\)  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 -}"nb-RR\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 He  LW*  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 q$jwH] .  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 *4[P$k$7  
    D]+@pK b  
    X="]q|Z  
    QzV%m0  
    F|?}r3{aJ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ~f?brQ?  
    LCok4N$o  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    'L G )78sk  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    /Ca M(^W   
    $~'G<YYF4  
    |pR'#M4j4A  
    4gn|zSe>^  
    ]N6UY  
    nSq$,tk(  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 N'I9J?e Q  
    vW5>{  
    gyOAvx  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 R{{?wr6b$  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Xb1is\JB  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 6Bn}W ?  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 -;GB Xq  
     ~!'T!g%C  
    9. 焦平面上的结果 kf_*=ER  
    6\6g-1B`  
    nC#SnyUO  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Lcf]  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 m0JJPBp  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm s~g]`/h$r  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 9&1$\ZH  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     BqDOo(%1)  
    , 4@C%  
    10. 总结 kDc/]Zb%  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cEEnR1  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 UX)QdT45Mh  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 NP$ D9#   
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 K#dG'/M|Pb  
     
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