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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 D 1.59mHsD  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1K3XNHF  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 bji#ID2]%  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /rZk^/'  
     ynA_Z^j  
    2. 系统 :4zPYG o  
    XcoX8R%U  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $Zyuhji^  
    3. 透镜系统组件编辑 PWS8Dpb  
    :.AC%'S  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 GImPPF  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 sP^:*B0  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 *66EkCj  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 nq?+b >//  
     "*#f^/LS  
    !y_L~81?  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 2j4202  
    Ru`afjc  
    !PoyM[Z"f  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 QswPga(-  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ti GH#~?  
    — 在x-y-网格 LNJKf6:  
    — 六边形 7a9">:~  
    — 自由选取 U $#^ e  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     6?}|@y^fb  
    x=rMjz-`_  
    5. 系统的3维视图 ;sA 5&a>!  
    L$c 1<7LU  
    N_:!uR  
    6. 其他系统参数 ;s,1/ kA  
    ■ 系统由单色平面波照明 vULDKJNHX  
    ■ 照明波长266.08nm ^kK")+K  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： LiHJm-  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !N+{X\+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 I;jH'._k#  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 uD{-a$6z  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 < k(n%  
    ~L&z? 'V  
    A?HDY_u  
    ~uY5~Qs9G  
    @}UOm- M  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 O~8jz  
    ZWyf.VJ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    rYPuo  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    pDP* 3  
    W!el[@  
    (~\HizSl  
    TQt[he$O  
    w`boQ_Ir  
    6@0? ~  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H '5zl^8I  
    _Iy)p{y  
    q) 5s'(  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 @QJPcF"  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 /!&eP3^  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 De$Ic"Z9L  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 hHMp=8J7  
     tWZ8(E$  
    9. 焦平面上的结果 ~]%re9jGW  
    -{L 7%j|R  
    $!'Vn)Z7  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y1Br4K5C  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 +tkm,>s  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm #m7evb5eg*  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 "JF   
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     A\/DAVnI  
    "OP$n-*@%  
    10. 总结 Tpnwwx[]:|  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1iqgTi>  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 N}z]OvnZH  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Xa}y.qH  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 %MtaWZ  
     
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