1. 描述 [yc7F0Aw ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 &U([Wd?E2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 +T,A^(&t ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ])?h~
3U!=R- 2. 系统 _sL;E<)y( O OABn* 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
g2M1zRm; 3. 透镜系统组件编辑 RHbbj}B
NweGK
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 P)Oe?z;G?
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +n%8*F&
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 NMC0y|G
■ 包括序列光学表面和光学介质。 p"H/N_b4
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rEO(SZ 4. 光线追迹系统分析器-选项 B*tQ0` q]Xu #:X d{ B0a1P
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +^AAik<yl
■ 可以选择选取光线的方法: Z>X]'q03
— 在x-y-网格 S<i.O
— 六边形 V|awbff:
— 自由选取 ,C_MB1u
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 U.I7p W+4Bx=Mj 5. 系统的3维视图 2FO<Z %Y &%(SkL_]
XgeUS;qtta 6. 其他系统参数 hKnV=Ha( ■ 系统由单色平面波照明 7*WO9R/ ■ 照明波长266.08nm x'6i9]+r ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: bwszfPM — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 W?ghG — 一个虚拟屏位于焦平面 W(-son~I — 光束尺寸探测器置于焦平面 y~M6 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 vkG%w; ^4Se=Hr
z2 $DnR[V}rR! $?[pcgv nhZ/^`Y< 7. 光线追迹系统分析器的结果 8A-*MU`+ VuK>lY& 光线经过整个光学系统的三维视图
;l < amB 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
z-sq9Qp&x INCD5dihJ Q+_z*
r5$!41 n%02,pC6, zx+}>(U\U 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 i!(5y>I_ xsS;<uCD t47;X}y f
■ VirtualLab可用于计算点列图。 I,]q;lEMt
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .>-D{
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 I\[z(CHg@
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
EW`WFBjj
aJ1{9 5ea 9. 焦平面上的结果 KO"+"1 .
Lso%1M
I58$N+#
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 SFFJyRCz
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 =k1sF3.V'c
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 6 lEv<)cC
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 M@*Y&(~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 GI:!,9 #)S&Z><< 10. 总结 ^.~e ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #60gjHYaV ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &W `7 b< ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 QWC C ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
g-m,n=qu