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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 [yc7F0Aw  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 &U([Wd?E2  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 +T,A^(&t  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ])?h ~  
     3U!=R-  
    2. 系统 _sL;E<)y(  
    OOABn*  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    g2M1zRm;  
    3. 透镜系统组件编辑 RHbbj}B  
    NweGK  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 P)Oe?z;G?  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +n%8*F&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 NMC0y|G  
    包括序列光学表面和光学介质。 p"H /N_b4  
    hOFvM&$  
    4? rEO(SZ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 B*tQ0`  
    q]Xu #:X  
    d{B0a1P  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +^AAik<yl  
    可以选择选取光线的方法: Z>X]'q03  
    — 在x-y-网格 S<i. O  
    — 六边形 V|awbff:  
    — 自由选取 ,C_MB1u  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    U.I 7p  
    W+4Bx=Mj  
    5. 系统的3维视图 2FO<Z %Y  
    &%(SkL_]  
    XgeUS;qtta  
    6. 其他系统参数 hKnV=Ha(  
    系统由单色平面波照明 7*WO9R/  
    照明波长266.08nm x'6i9]+r  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: bwszfPM  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 W?ghG  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 W(-son~I  
    光束尺寸探测器置于焦平面 y~M 6  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 vkG%w;  
    ^4Se=Hr z2  
    $DnR[V}rR!  
    $?[pcgv  
    nhZ/^`Y<  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 8A-*MU`+  
    VuK>lY &  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ;l < amB  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    z-sq9Qp&x  
    INCD5dihJ  
    Q+_z*  
    r5$!41   
    n%02,pC6,  
    zx+}>(U\U  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 i!(5y>I_  
    xsS;<uCD  
    t47;X}y f  
    VirtualLab可用于计算点列图。 I,]q;lEMt  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 &#.>-D{  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 I\[z(CHg@  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 EW `WFBjj  
    aJ1{9 5ea  
    9. 焦平面上的结果 KO"+"1 .  
    Lso%1M  
    I58$N+#  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 SFFJyRCz  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 =k1sF3.V'c  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 6 lEv<)cC  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 M@*Y&(~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    GI:!,9  
    #)S&Z><<  
    10. 总结 ^.~e  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #60gjHYaV  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &W `7 b<  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 QWC C  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 g-m,n=qu  
     
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