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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 p*20-!{A  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S\=1_LDx"  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _las;S'oa  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4<gb36)|4  
    \+ 0k+B4a  
    2. 系统  }ptq )p  
    c{Ou^.yR  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    {<=#*qx[Y!  
    3. 透镜系统组件编辑 }t%W1UJ  
    4a''Mi`u  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,r8Tbk]m  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 JSr$-C fH  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ii &7rdoxe  
    包括序列光学表面和光学介质。 3\:y8|  
    bt$)Xu<R  
    +>\id~c(  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 !mMpb/&&S  
    \ck+GW4&  
    g(|{')8?d  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6"f}O<M 5H  
    可以选择选取光线的方法: yuhnYR\`m  
    — 在x-y-网格 &ldBv_  
    — 六边形 ye}p~&  
    — 自由选取 D5,P)[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ])}(k  
    c>"cX&  
    5. 系统的3维视图 S* *oA 6  
    U#&7p)4(  
    kwpK1R4zs  
    6. 其他系统参数 Tr0B[QF  
    系统由单色平面波照明 Iw<i@=V  
    照明波长266.08nm RsJ6OFcWV  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: /X'(3'a  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 NMOut@  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 5L,}e<S$  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Q[F}r`  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 U.!lTLjfLz  
    -Go 7"j  
    #~O b)q|  
    \p{5D`HY  
    svf|\p>]H  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ::FS/Y]Fg  
    R:Q0=PzDi#  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    F# T 07<  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    3jB$2:#  
    mE%$HZ}  
    )B,|@ynu  
    3"n\8#X{  
    }v:jncp  
    K"j_>63)  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 10!wqyj&  
    `K~AhlJUQ  
    s, k  
    VirtualLab可用于计算点列图。 yeDsJ/L  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,to+oSZE  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Urr#N  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 FIxFnh3~  
    |sRipWh  
    9. 焦平面上的结果 26T"XW'_  
    AL#4_]m'  
    tyaA\F57  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4vBL6!z:Z  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \%^%wXfp  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ;22oY>w  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 {pM?5"M MJ  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ?T+q/lt4  
    7i&:DePM'q  
    10. 总结 OO[F E3F  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y%`xDI  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 u#}[ZoI  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~/.7l8)  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,^#yo6-  
     
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