1. 描述 p*20-!{A ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S\=1_LDx" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _las;S'oa ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4<gb36)|4
\+ 0k+B4a 2. 系统 }ptq
)p c{Ou^.yR 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
{<=#*qx[Y! 3. 透镜系统组件编辑 }t%W1UJ
4a''Mi`u
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,r8Tbk]m
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 JSr$-C
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ii&7rdoxe
■ 包括序列光学表面和光学介质。 3\:y8|
bt$)Xu<R +>\id~c( 4. 光线追迹系统分析器-选项 !mMpb/&&S \ck+GW4& g(|{')8?d
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6"f}O<M5H
■ 可以选择选取光线的方法: yuhnYR\`m
— 在x-y-网格 &ldBv_
— 六边形 ye}p~&
— 自由选取 D5,P)[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ])}(k c>"cX& 5. 系统的3维视图 S* *oA 6 U#&7p)4(
kwpK1R4zs 6. 其他系统参数 T r0B[QF ■ 系统由单色平面波照明 Iw<i@=V ■ 照明波长266.08nm RsJ6OFcWV ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: /X'(3'a — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 NMOut@ — 一个虚拟屏位于焦平面 5L,}e<S$ — 光束尺寸探测器置于焦平面 Q[F}r` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 U.!lTLjfLz -Go 7"j #~O b)q| \p{5D`HY svf|\p>]H 7. 光线追迹系统分析器的结果 ::FS/Y]Fg R:Q0=PzDi# 光线经过整个光学系统的三维视图
F#
T 07< 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
3jB$2: # mE%$HZ} )B,|@ynu 3"n\8#X{ }v:jncp K"j_>63) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 10!wqyj& `K~AhlJUQ s, k
■ VirtualLab可用于计算点列图。 yeDsJ/L
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,to+oSZE
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Urr#N
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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|sRipWh 9. 焦平面上的结果 26T "XW'_
AL#4_]m'
tyaA\F57
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4vBL6!z:Z
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \%^%wXfp
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ;22oY>w
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 {pM?5"MMJ
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?T+q/lt4 7i&:DePM'q 10. 总结 OO[F E3F ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y%`xDI ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 u#}[ZoI ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~/.7l8) ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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