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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 c%?31 t  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2=?:(e9  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 y~16o   
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Z{Si`GA  
     Ln&'5D#  
    2. 系统 `lI(SS]w  
    S9cAw5E(yN  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    1$+-?:i C  
    3. 透镜系统组件编辑 [.ya&E)x  
    __B`0t  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 p'@| O q&  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Bsr; MVD  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 u;@~P  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Ah_,5Z@&R  
     H!H&<71-  
    pUp&eH  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }3%L3v&  
    \ytF@"7  
    V?yTJJ21X  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?.*^#>-  
    ■ 可以选择选取光线的方法： By&ibN),  
    — 在x-y-网格 c3L)!]kB  
    — 六边形 L lNd97Z  
    — 自由选取 3?n2/p 7=  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     2kXa  
    L\GjG&Y5  
    5. 系统的3维视图 cN?}s0  
    ?FV>[&-h#I  
    vq?aFX9F  
    6. 其他系统参数 G (Ky7S Z  
    ■ 系统由单色平面波照明 .+.'TY--  
    ■ 照明波长266.08nm hxT{!g  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： h<1pGQV  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 %}`zq8Q;  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 @ ,9cpaL3  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 #?3oGrS Y  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 QTC-W2t]  
    _Hp[}sv4)  
    "/#=8_f  
    ZcQ@%XY3~  
    l`mNOQ@}'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 3hD\6,@  
    w>TlM*3D/  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Vw@?t(l>  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    9f|+LN##  
    SNUq  
    eX 0due  
    \LEU reTn  
    ?l/$cO  
    8*7,qX  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 (+iOy/5#u  
    -Uj3?W  
    NB.s2I7  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ^+MG"|)u~  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 3~ptD5@WF  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zF7*T?3b"  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 /=i+7^  
     l |Y?]LNr  
    9. 焦平面上的结果 C25EIIdRb  
    <J o\RUx  
    -ld1o+'`v!  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 D=^|6}  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 qF? n&>YG  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ^77Q4"{W  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 NGs@z^&V  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     aS3Fvk0R{h  
    >s;>"]  
    10. 总结 ZR*Dl.GWY  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ej;\a:JL  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 +#LD@)G  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 MRb6O!$`C  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 p|&9#?t4A  
     
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