1. 描述 z&)A,ryW0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 yCR?UH; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 X*XZb F"= ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \;3~a9q%
|Nn)m 2. 系统 py!|\00} &< `N T D 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Pb4X\9^ 3. 透镜系统组件编辑 0B/,/KX
wLH>:yKUU
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A*2jENgci
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]EBxl=C}D
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )JLdO*H
■ 包括序列光学表面和光学介质。 XGWSdPJLr
kQSy+q mt{nm[D!Xp 4. 光线追迹系统分析器-选项 oy=js - .CABH,Po: SI-q C
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 |(E
FY\
■ 可以选择选取光线的方法: oXh#a8
— 在x-y-网格 \BTODZ:h
— 六边形 uAJx.>$b
— 自由选取 D 6Ui!
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9igiZmM /{aj}M0kN 5. 系统的3维视图 Y-_`23x` jh%Eq+#S
Fn;SF4KOm 6. 其他系统参数 gnOt+W8 ■ 系统由单色平面波照明 wPd3F.<$ ■ 照明波长266.08nm 6:[dj*KGmT ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Lv;^My — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4{U T!WIi — 一个虚拟屏位于焦平面 'Ym9;~(@R — 光束尺寸探测器置于焦平面 D9=KXo^ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wr/"yQA] |O|V-f{l x.!V^HQSN {0wIR_dGX Z,
Yb&b 7. 光线追迹系统分析器的结果 4K#>f4(U`g 5h=}j 光线经过整个光学系统的三维视图
vjGo;+K 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Q:G4Z9Kt kW Ml |&+o^ 9k'7832u &tLgG4pd 2ozax)GY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 XH 4 r1`x=r
A5I)^B<(
■ VirtualLab可用于计算点列图。 QC
OM_$ y
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "Y
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 TCwFPlF|
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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BQE|8g'&T 9. 焦平面上的结果 ~*&H$6NJS
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 jjRi*^d9
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 B
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm dC3o9
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 h,u,^ r
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 i/;\7n Db}j?ik/ 10. 总结 Xv5wJlc!d ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 17%,7P9pg ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |PCm01NU! ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p?%y82E ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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