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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 z&)A,ryW0  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 yCR?UH;  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 X*XZb F"=  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \;3~a9q%  
    |Nn)m  
    2. 系统 py!|\00}  
    &< `NT D  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Pb4X\9^  
    3. 透镜系统组件编辑 0B/,/KX  
    wLH>:yKUU  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A*2jENgci  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]EBxl=C}D  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )JLdO*H  
    包括序列光学表面和光学介质。 XGWSdPJLr  
    kQSy+q  
    mt{nm[D!Xp  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 oy=js -  
    .CABH,Po:  
     SI-qC  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 |(E FY\  
    可以选择选取光线的方法: oXh#a8  
    — 在x-y-网格 \BTODZ:h  
    — 六边形 uAJx.>$b  
    — 自由选取 D6Ui!  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    9igiZmM  
    /{aj}M0kN  
    5. 系统的3维视图 Y-_`23x`  
    jh%Eq+#S  
    Fn;SF4KOm  
    6. 其他系统参数 gnOt+W8  
    系统由单色平面波照明 wPd3F.<$  
    照明波长266.08nm 6:[dj*KGmT  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Lv;^My  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4{U T!WIi  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 'Ym9;~(@R  
    光束尺寸探测器置于焦平面 D9=KXo^  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wr/"yQA]  
    |O|V-f{l  
    x.!V^HQSN  
    {0wIR_dGX  
    Z, Yb&b  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 4K#>f4(U`g  
    5h=}j  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    vjGo;+K  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Q:G4Z9Kt  
    kW Ml  
    |&+ o^  
    9k '7832u  
    &tLgG4pd  
    2ozax)GY  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 XH4  
    r1`x=r   
    A5I)^B<(  
    VirtualLab可用于计算点列图。 QC OM_$y  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "Y =;.:qe  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 TCwFPlF|  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 X; \+<LE  
    BQE|8g'&T  
    9. 焦平面上的结果 ~*&H$6NJS  
    n?!">G  
    jKAEm  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 jjRi*^d9  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 B dj!ia;H  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm dC3o9  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 h,u, ^ r  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    i/;\7n  
    Db}j?ik/  
    10. 总结 Xv5wJlc!d  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 17%,7P9pg  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |PCm01NU!  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p?%y82E  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Olt?~}  
     
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