1. 描述 '{I_\~* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 '7wd$rl ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 sDr/k`> ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <IW#ME
dY?`f<* 2. 系统 21s4MagC p4IZ
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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YF[@ 3. 透镜系统组件编辑 &l$Q^g
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M(#m0xB
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Qk!;M|
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 yC
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 G}
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zR!o{8 J=.`wZQkS 4. 光线追迹系统分析器-选项 ,q(&)L$S LIg{J% + <,gB $j
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3=-4%%[M@
■ 可以选择选取光线的方法: ARcv;H 5
— 在x-y-网格 K)TrZ 2
— 六边形 .NtbL./=|
— 自由选取 _gKe%J&
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pP(XIC Ra*e5 5. 系统的3维视图 <~
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q80S[au 6. 其他系统参数 [r/k% < ■ 系统由单色平面波照明 ?FfC ■ 照明波长266.08nm wP,JjPUt ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !n6wWl — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <0S=,! — 一个虚拟屏位于焦平面 ?eV4SH — 光束尺寸探测器置于焦平面 7)h[Zy,A ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =_YG#yS ktDC/8 m Z1)wH , )}9rwZ .f+TZDUO 7. 光线追迹系统分析器的结果 ]
}f9JNf$ tE7[Smzuf 光线经过整个光学系统的三维视图
C*nB 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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hg}(Hix pKi& [ )?wJF<[_# +VQ\mA59 -(K9s!C!. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ie%EH <id}<H %\i9p]=
■ VirtualLab可用于计算点列图。 9uWY@zu
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c&L"N!4z
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "?mJqA
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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6]-SK$ 9. 焦平面上的结果 \}]!)}G
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (dv]=5""
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )Y)pmjZaG
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm _2N$LLbg
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 H@l}WihW
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 u,6~qQczE }*L(;r)q 10. 总结 $1v&azM. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ."FuwKSJCo ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0tU.( ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 o^
XtU5SVq ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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