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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ~]IOK$1F%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5FPM`hLT  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~OYiq}g  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 k<nZ+! M  
    6xx<Y2@  
    2. 系统 lV3x*4O=  
    [B*x-R[FI  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    vFzRg5lH  
    3. 透镜系统组件编辑 1APe=tJ  
    b4%??"&<Y  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 S:#lH?<_  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 u OmtyX  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4$HhP, gL=  
    包括序列光学表面和光学介质。 x}wG:K  
    xA2YG|RU=b  
    kr^P6}'  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 htO +z7  
    r..iko]T  
    o=:9y-nH  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 /Y:sLGQLD  
    可以选择选取光线的方法: 3V+] 9;  
    — 在x-y-网格 [r\Du|R-*  
    — 六边形 kf\PioD8  
    — 自由选取 ^&9zw\x;z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    #X+JHl  
    G=s}12/Z"{  
    5. 系统的3维视图 T#T*Zw"+  
    Di,^%  
    6IN e@  
    6. 其他系统参数 K C*e/J  
    系统由单色平面波照明 x xHY+(m  
    照明波长266.08nm Z\bmW%av  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ANAVn@ [  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 F/,NDZN  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 V@.Ior}w  
    光束尺寸探测器置于焦平面 p#ZCvPE;uH  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 VD;01"#'  
    ch*8B(:  
    ^2:p|:Bz!l  
    %?1ew  
    \i>?q   
    7. 光线追迹系统分析器的结果 B-RjMxX4>  
    {LI=:xJJv  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    hk;5w{t}}  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    M><yGaaX/  
    (fH#I tf  
    '0;l]/i.  
    gi3F` m  
    + )AG*  
    d(ZO6Nr Q  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7(1|xYCx$  
    R+hU8 pu  
     Po+.&7F  
    VirtualLab可用于计算点列图。 i'<[DjMDlm  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 dM.f]-g  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。  \{_q.;}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 7uqzm  
    "`/h#np  
    9. 焦平面上的结果 ZuzEg*lb  
    RXMISt3+{y  
    tH@Erh|%  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ^cC,.Fdw  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @-07F,'W,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm dZl5Ic  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 1/B>XkCJ  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    tn\yI!a  
    '`[&}R  
    10. 总结 d UE,U=  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 -a}Dp~j  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ]"As1"  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #FLb*%Nr  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4&lv6`G `  
     
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