1. 描述 ~]IOK$1F% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 5FPM`hLT ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~OYiq}g ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 k<nZ+! M
6xx<Y2@ 2. 系统 lV3x *4O= [B*x-R[FI 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
vFzRg5lH 3. 透镜系统组件编辑 1APe=tJ
b4%??"&<Y
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 S:#lH?<_
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 u
OmtyX
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4$HhP,gL=
■ 包括序列光学表面和光学介质。 x}wG:K
xA2YG|RU=b kr^P6}' 4. 光线追迹系统分析器-选项 htO+z7 r..iko]T o=:9y-nH
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 /Y:sLGQLD
■ 可以选择选取光线的方法: 3V+] 9;
— 在x-y-网格 [r\Du|R-*
— 六边形 kf\PioD8
— 自由选取 ^&9zw\x;z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #X+JHl G=s}12/Z"{ 5. 系统的3维视图 T#T*Zw"+ Di,^%
6IN
e@ 6. 其他系统参数 KC*e/J ■ 系统由单色平面波照明 x xHY+(m ■ 照明波长266.08nm Z\bmW%av ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ANAVn@ [ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 F/,NDZN — 一个虚拟屏位于焦平面 V@.Ior}w — 光束尺寸探测器置于焦平面 p#ZCvPE;uH ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 VD;01"#' ch*8B(: ^2:p|:Bz!l %?1ew \i>?q 7. 光线追迹系统分析器的结果 B-RjMxX4> {LI=:xJJv 光线经过整个光学系统的三维视图
hk;5w{t}} 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
M><yGaaX/ (fH#I tf '0;l]/i. g i3F`
m +)AG* d(ZO6Nr Q 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7(1|xYCx$ R+hU8 pu Po+.&7F
■ VirtualLab可用于计算点列图。 i'<[DjMDlm
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 dM.f]-g
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 \{_q.;}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7uqzm
"`/h#np 9. 焦平面上的结果 ZuzEg *lb
RXMISt3+{y
tH@Erh|%
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ^cC,.Fdw
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @-07F,'W,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm dZl5Ic
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 1/B>XkCJ
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 tn\yI!a '`[&}R 10. 总结 d UE,U= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 -a}Dp~j ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ]"As1" ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #FLb*%Nr ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
4&lv6`G `