1. 描述 vpr@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :!it7vZ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i?s&\3--Y ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !j\&BAxTEk
:?of./Df| 2. 系统 nQ(:7PFa' ->#@rF:S 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
0:(dl@I)@ 3. 透镜系统组件编辑 !gH.st
+sq,!6#G
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 fw~%^*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 QBT-J`Pz
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?+JxQlVDt-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 HFCFEamBMP
o9SfWErZ KV&_^xSoh| 4. 光线追迹系统分析器-选项 [q|Q]O0 g7q]Vj j*lWi0Z-
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Spw=+z<<Ub
■ 可以选择选取光线的方法: VlXy&oZ
— 在x-y-网格 _(A+_|
— 六边形 O%h
97^%k
— 自由选取 $ax%K?MBD
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 cLk+( dn RBojT 5. 系统的3维视图 sn-+F%[ (Y@|h%1W
G5@fqh6ws 6. 其他系统参数 4Fc1' ■ 系统由单色平面波照明 )ZT0zIG ■ 照明波长266.08nm N`GwL
aF ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: nf@u7*#6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?ut juMdl — 一个虚拟屏位于焦平面 rVW'KN — 光束尺寸探测器置于焦平面 MvwJ(3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s 17gi,"X OL+40 J
NGD2z. +P;D}1B#I? L|Gk}n 7. 光线追迹系统分析器的结果 ialk6i![ ,]N%(>ot 光线经过整个光学系统的三维视图
i'LTKj 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
+}Wo=R} FQ ^^6Rl u5|e9(J ?mUu(D:7D ZpBH;{., 6_
0w> 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
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gMMd= xE[tD? M{
■ VirtualLab可用于计算点列图。 I%WK*AORM
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5"]2@@b4
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 oYM3$.{E
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Hjkgy%N
W3j|% 9. 焦平面上的结果 rNO;yL4)ey
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c<x6_H6[8
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 x5Pt\/ow
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 'a[|}nJ3
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm K:Go%3~,
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 lfG's'U-z
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 b:&$x (| ==r|]~x
10. 总结 6b)UoJxj ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 BC[d={_- ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Wm&f+{LO+K ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *\vc_NP] ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
EqluxD=