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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 '{ I_\~*  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 '7wd$rl  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 sDr/k`>  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <IW#ME  
    dY?`f<*  
    2. 系统 21s4MagC  
    p4IZ   
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Uv YF[@  
    3. 透镜系统组件编辑 &l$Q^g  
    }X GEX:1K  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M(#m0x B  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。  Qk!;M |  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 yC 77c=  
    包括序列光学表面和光学介质。 G} eUL|S  
    zR!o{8  
    J=.`wZQkS  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ,q(&)L$S  
    LIg{J%  
    +<,gB $j  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3=-4%%[M@  
    可以选择选取光线的方法: ARcv;H 5  
    — 在x-y-网格 K)TrZ 2  
    — 六边形 .NtbL./=|  
    — 自由选取 _gKe%J&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    pP(XIC  
    Ra*e5  
    5. 系统的3维视图 <~ JO s2  
    7d92 Pe  
    q80S[au  
    6. 其他系统参数 [r/k% <  
    系统由单色平面波照明 ? FfC  
    照明波长266.08nm wP,JjPUt  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !n6wWl  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <0S=,!  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ?eV4 SH  
    光束尺寸探测器置于焦平面 7)h[Zy,A  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =_YG#yS  
    ktDC/8  
    mZ1)wH,  
    )}9rwZ  
    .f+TZDUO  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ] }f9JNf$  
    tE7[Smzuf  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    C* nB  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    \=>H6x]q  
    1 hg}(Hix  
    pKi&[  
    )?wJF<[_#  
    +VQ\mA59  
    -(K9s!C!.  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ie%EH  
    <id}<H  
    %\i9p]=  
    VirtualLab可用于计算点列图。 9uWY@zu  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c&L"N!4z  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "?mJqA  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ]5%/3P,/  
    6]-SK$  
    9. 焦平面上的结果 \}]!)}G  
    >$2V%};  
    u_rdmyq$x/  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 (dv]=5""  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 )Y)pmjZaG  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm _2N$LLbg  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 H@l}WihW  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    u,6~qQczE  
    }*L(;r)q  
    10. 总结 $1v&azM.  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ."FuwKSJCo  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0tU.(  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 o^ XtU5SVq  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 NC38fiH_N  
     
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