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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 7H6Ts8^S  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 F \:~^`  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 dAI^P/y%  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }je<^]a  
     dN{At-  
    2. 系统 VE |:k:};  
    ? x%s j  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    |9E:S  
    3. 透镜系统组件编辑 BlVHP8/b  
    72<9xNcB!}  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Wg-mJu(  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 RNT9M:w  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 Za|7gt];l  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 QK-aH1r  
     !nmZ"n|}p  
    V._-iw]v  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Xb _ V\b0  
    S <mZs;  
    -X.#Y6(  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2q?/aw ;Z  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 2I.FSR_G?  
    — 在x-y-网格 1-kuK<KR  
    — 六边形 /`PYk]mJh  
    — 自由选取 Ia2WBs =  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     }+,Q&]>~  
    uo:RNokjJ  
    5. 系统的3维视图 e@'x7Zzh  
    |IAx!Z-P  
    -)A:@+GF  
    6. 其他系统参数 UF9={fN1  
    ■ 系统由单色平面波照明 x;mw?B[  
    ■ 照明波长266.08nm yFE0a"0y  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： N.|F8b]v  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $Itmm/M  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Tu vs}  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 @-q,%)?0}=  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,:S#gN{U  
    0|GYtnd  
    EjPR+m  
    bb_elmb)n  
    ?$pNduE  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 w-).HPe  
    @&*TGU  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    5gz^3R|`f  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    bJ2-lU% ;2  
    eaRa+ <#u  
    .][yH[ F  
    49 FP&NgK  
    $WYt`U;*lj  
    <"Y>|X  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 cS.@02~f"  
    G4 7^xR  
    ` nX, x-UM  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 iwnGWGcuS  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 XfcYcN  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H{cOkuy  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 e1[ReZW  
     JuJW]E Q  
    9. 焦平面上的结果 +Xg:*b9So  
    TOiLv.Dor  
    yzEyOz@Q  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \3vQXt\dM$  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 fRNj *bIV  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm imOIO[<;  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 g}~s"Sz  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     2I:P}!  
    Od.@G~  
    10. 总结 W[jg+|  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 *twGIX  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 qkfof{z  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @<K<"`~H  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Bo:epus}\  
     
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