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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ?yd(er<_f  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9  lazo  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 j#.-MfB  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >8{`q!=|~  
     x4 A TK  
    2. 系统 "Ee/q:`  
    hU)f(L  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    - EX3' [*'  
    3. 透镜系统组件编辑 * y"GgI  
    W:N"O\`{m  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 C`K9WJOD  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 /Vj byRwV  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 m6ZbYF-7W  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 FlA$G3  
     c 6}xnH  
    v!v0,?b*  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 H)}1xQ{3F  
    ch2e#Jf8  
    H ]N/Y{  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4) I/\  
    ■ 可以选择选取光线的方法： Up2\X#6  
    — 在x-y-网格 <)*g7  
    — 六边形 1Mhc1MU  
    — 自由选取 MZ+IorZl  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     MBTt'6M  
    jU9zCMyNF  
    5. 系统的3维视图 7g<`w LAH  
    )PZ}^Fa  
    mWFZg.#?  
    6. 其他系统参数 So]FDd  
    ■ 系统由单色平面波照明 Q24:G  
    ■ 照明波长266.08nm D8Waf  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： "=RoI  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $T%<'=u|E  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 fkUH]CdaB  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ]j#$.$q  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 %TggNU,  
    dfk TDG+  
    ~q%9zO'  
    ).`a-Pv  
    F vk: c-  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 7JwWM2N?V  
    D]`B;aE>A*  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    4uVmhjT:X  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    6V?&hq&t  
    )mO;l/,0  
    c\rbLr}l)  
    x$b[m 20  
    z00:59M4  
    7[<sl35  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 s3RyLT  
    e.YchGTQ  
    #CP, \G  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 Wjk;"_"gd  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 xR6IXF>*  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 vl(v1[pU  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色  /lok3J:  
     B148wh#r  
    9. 焦平面上的结果 !3v"7l{LF  
    s(9rBDoY(8  
    } $c($  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 aC]l({-0  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 !! #ale&  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm R[-:-8  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 &rWJg6/  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     eQIi}\`  
    T.dO0$,Q@$  
    10. 总结 3n)iTSU3  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `B 0*/ml  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 @Iatlz*W  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3VB V_/i;  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 +!Ag n)  
     
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