1. 描述 3(N$nsi ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?e4YGOe. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {\1?ZrCI& ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 k]|~>9eY]
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5 2. 系统 7xlkZF ;ef}}K 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
:eCwY 3. 透镜系统组件编辑
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4F:\-O
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t!l&iVWs
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %aCqi(.7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 [|$h*YK
]s'as9s9 Bkc4TO 4. 光线追迹系统分析器-选项 YkSl^j[DHs t{9GVLZ vI>w e
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 oZgjQM$YP
■ 可以选择选取光线的方法: vA{-{Q
— 在x-y-网格 Z5n1@a__
— 六边形 ?l{nk5,?-Y
— 自由选取 RtS+<^2a;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !;A\.~-!G <'oQ \eB 5. 系统的3维视图 H*R"ntI?w V}CG:9;
cV6D<,) 6. 其他系统参数 #trK^( ■ 系统由单色平面波照明 h[Y1?ln&h ■ 照明波长266.08nm vvMT}-! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {JT&w6Jz — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (w3YvG. — 一个虚拟屏位于焦平面 W{+2/P — 光束尺寸探测器置于焦平面 Yj49t_$b ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 k4;7<j$ir $6 f3F?y7 [z{1*Xc H7n>Vx:L- J*M>6Q.) 7. 光线追迹系统分析器的结果 rb.N~ r#a=@ 光线经过整个光学系统的三维视图
Ti5-6%~& 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
S=5o
< 1 ;A*]l'[- a1lh-2xX ?6U0PChy NXrlk rEWb" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )ez9"# MH' a`>B Ly5o 0GeTSFj
■ VirtualLab可用于计算点列图。 3]S$ih&A
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 )y$(AJx$
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 h:|qC`}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Fx.=#bVX7
UCj ld 9. 焦平面上的结果 =7eV/3
O\r0bUPE
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Iu'[U
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 26h21Z16q
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 hwv/AnX~O
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 4kx
N<]
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 FZnw0tMq
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 &^jXEz; L!xi 10. 总结 1yhDrpm ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <LiPEo.R ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 RA
L~!"W ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 dy[X3jQB ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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