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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 3(N$nsi  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?e4YGOe.  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {\1?ZrCI&  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 k]|~>9eY]  
    s!zx} 5  
    2. 系统  7xlkZF  
    ;ef}}K  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    :eCwY  
    3. 透镜系统组件编辑 Pmx -8w  
    }R2u@%n{  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4F:\-O  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t!l&iVWs  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %aCqi(.7  
    包括序列光学表面和光学介质。 [|$h*YK  
    ]s'as9s9  
    Bk c4TO  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 YkSl^j[DHs  
    t{9GVLZ  
    vI >w e  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 oZgjQM$YP  
    可以选择选取光线的方法: vA{-{Q  
    — 在x-y-网格 Z5n1@a __  
    — 六边形 ?l{nk5,?-Y  
    — 自由选取 RtS+<^2a;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    !;A\.~-!G  
    <'oQ \eB  
    5. 系统的3维视图 H*R"ntI?w  
     V}CG:9;  
    cV6D<,)  
    6. 其他系统参数 #trK^(  
    系统由单色平面波照明 h[Y1?ln&h  
    照明波长266.08nm vvMT}-!  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {JT&w6Jz  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (w3YvG.  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 W{+2/P  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Yj49t_$b  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 k4;7<j$ir  
    $6 f3F?y7  
    [z{1*Xc  
    H7n>Vx:L-  
    J*M>6Q.)  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 rb.N~  
    r#a=@  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Ti5-6%~&  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    S=5o < 1  
    ;A*]l' [-  
    a1lh-2x X  
    ?6U0PChy  
    NXrlk  
    rEW b"  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )ez9"# MH'  
    a`>B Ly5o  
    0GeTS Fj  
    VirtualLab可用于计算点列图。 3]S$ih&A  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 )y$(AJx$  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 h:|qC`}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Fx.=#bVX7  
    U Cjld  
    9. 焦平面上的结果  =7eV/3  
    O\ r0bUPE  
    z Iu'[U  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 26h21Z16q  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 hwv/AnX~O  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 4kx N<]  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 FZn w0tMq  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    &^jXEz;  
    L!xi  
    10. 总结 1yhDrpm  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <LiPEo.R  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 RA L~!"W  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 dy[X3jQB  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7%M_'P4 V  
     
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