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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 c4JV~VS+  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]a $6QS  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;kFD769DLw  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %I1@{>OxG  
     { 3G  
    2. 系统 ~#_~DqbMZ5  
    ,7{|90'V<  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    }:Z.g  
    3. 透镜系统组件编辑 u4x-GObJM  
    Hon2;-:]{]  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 7]=&Q4e4  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 l|CM/(99-  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 F O!Td  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 bA;OphO(  
     X! d-"[  
    N*Y[[N(  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 qmS9*me {  
    o`T.Zaik,  
    GQ2GcX(E(  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Jo?LPR \6  
    ■ 可以选择选取光线的方法： c<lp<{;  
    — 在x-y-网格 Xp<q`w0I,  
    — 六边形 3efOgP=L  
    — 自由选取 "LBMpgpU  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     ,d"T2Hy  
    ;6tra_  
    5. 系统的3维视图 m\:^9A4HCg  
    Y teIp'T  
    |t,sK aL  
    6. 其他系统参数 &l(T},-X  
    ■ 系统由单色平面波照明 {K^5q{u  
    ■ 照明波长266.08nm |G j.E  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： P1#g{f  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Vt`4u5HG  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ]U?nYppV  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 corm'AJ/  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 )g pN 5TDd  
    rH}|~  
    ;jP sS^X  
    d$ouH%^cGu  
    UZdnsG7  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 pb!2G/,.[  
    \!ZA#7  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    p=+Y7NE)  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    35h|?eN_m!  
    ,!= sGUQ)  
    .k#PrT1C  
    P`tOL#UeZL  
    X5WA-s(?0  
    \f,<\mJ#  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 snbXAx1L  
    6IqPZ{g9K'  
    pte\1q[N  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 y-pdAkDh  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 AD;m[u7  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )nd^@G^  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 @&jR^`Y.  
     _Sjj|j  
    9. 焦平面上的结果 Fe8X@63  
    %1&X+s3  
    _L,~WYRo  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1wgL^Qz@  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 P| NGAd  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Df"PNUwA"  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 s}zR@ !`  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     Y3@+aA  
    3.movkj  
    10. 总结 xI,3(A.  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [REH*_  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 "P7OD^(x/  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )xp3 ElH  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 {-)^?Zb @  
     
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