1. 描述 E%`J=C} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n4kq=Z% ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 x]c8?H9,& ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ^Gk`n
R])Eg& 2. 系统 |'?vlUCd cj[b ^Wv: 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
5tlRrf 3. 透镜系统组件编辑 jA{5)-g
L0wT :x*
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &!8 WRJ
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 QXkA%'@'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *2zp>(%
■ 包括序列光学表面和光学介质。 %y6Q3@
^#:;6^Su y&$n[j 4. 光线追迹系统分析器-选项 +5zXbfO 8S1@,O, x4^nT=?6_
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 <<>+z5D+
■ 可以选择选取光线的方法: |owr?tC
— 在x-y-网格 !vwio!
— 六边形 *?X&Y8Kf
— 自由选取 ;@ePu
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [{7#IZL [9">}l 5. 系统的3维视图 ]@$^Ju, yLC[-.H
yzS^8, 6. 其他系统参数 c<$<n ■ 系统由单色平面波照明 DhM=q ■ 照明波长266.08nm c[Fc3 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: <[db)r~c — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O*:87:I d — 一个虚拟屏位于焦平面 X"{%,]sb G — 光束尺寸探测器置于焦平面 o+1(N#?m9 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7%^G]AFi O)dnr8* f]NLR>$L} N
)Z>]&5 D]@(LbMG4 7. 光线追迹系统分析器的结果 v}$Q $Z G&d 光线经过整个光学系统的三维视图
v,-Tk=qP 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
O=o}uB-*6 W> pe- J>_mDcPo pQa51 nc +VUkV-kP y[ dBmTY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ^Hn}\5 ,%9XG077 >+%#m'Y&&
■ VirtualLab可用于计算点列图。 px;~20$e
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 UdO8KD#r3
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ux_tzd0!
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
lM\dK)p21O
}WsPu o 9. 焦平面上的结果 E/:U,u{
5sY$
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /!Rva"
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #&|"t<}
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm >j?5?J"
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 NN4Z:6W5
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Oa/^A-'Q XVs]Y'*x 10. 总结 d4b!
r ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ? $B4'wc5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0C<\m\|~k ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 B
/;(#{U; ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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