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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 "o=h /q5&  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +w GE  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 r{6 ,;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 cs~ }k7><  
    f85j?Jm  
    2. 系统 z\fD}`^8  
    uR@\/6!@  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    a] >|2JN<&  
    3. 透镜系统组件编辑 ^>[DG]g  
    %o+bO}/9  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 G0y%_"[  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8>Ervi`  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B]Yj"LM)  
    包括序列光学表面和光学介质。 cnCUvD]'  
    OXA_E/F  
    E62VuX  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ?aO%\<b  
    +zz9u?2C`  
    G?>~w[#mQR  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3=sA]j-+(  
    可以选择选取光线的方法: HRx#}hN?+  
    — 在x-y-网格 7fnKe2M M  
    — 六边形 ] p+t>'s  
    — 自由选取 \+L_'*&8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ^Fb"Is#S,  
    3<fJ5-z|-  
    5. 系统的3维视图 %z8@;  
    8a. |CgI#h  
    Ra~n:$tg2  
    6. 其他系统参数 ]~kqPw<R  
    系统由单色平面波照明 zL)S,  
    照明波长266.08nm Y5ebpw+B-  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ufEt"P-X.  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?:n{GK  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 b'vJPv~hI  
    光束尺寸探测器置于焦平面 \Xxx5:qM  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5:n&G[Md  
    0b*a2_|8k  
    F)DL/';  
    <!DOCvd  
    Wuc,Cjm9(!  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 6LvUi|~"<  
    r=@h}TKv{I  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    %$sWNn  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    _DJ0 MR~3  
    |l)Oy#W  
    =WDf [?ED  
    /=7|FtB`  
    wQ [2yq  
    J anLJe)  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8^< -;  
    WQ"ZQ  
    jh8%Xu]t  
    VirtualLab可用于计算点列图。 :B=`^>RK  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }T(|\ X  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `L9o !OsQ  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 jl:O~UL6i  
    8,kbGlSD  
    9. 焦平面上的结果 VQo7 se1P  
    Y{p *$  
    Po^2+s(fY  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 dYr#  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 w;#9 hW&  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm cwpDad[Kx  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 sDbALAp +  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    &ul9N)A  
    Rbr vY  
    10. 总结 5'z&kl0"S  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 *><] [|Y@H  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 P, S9gG9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jpBE| Nm  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _$=xa6YA  
     
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