1. 描述 "o=h /q5& ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +w GE ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 r{6 ,; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 cs~
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f85j?Jm 2. 系统 z\fD}`^8 uR@\/6!@ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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>|2JN<& 3. 透镜系统组件编辑 ^>[DG]g
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 G0y%_"[
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8>Ervi`
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B]Yj"LM)
■ 包括序列光学表面和光学介质。 cnCUvD]'
OXA_E/F E62VuX 4. 光线追迹系统分析器-选项 ?aO%\<b +zz9u?2C` G?>~w[#mQR
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3=sA]j-+(
■ 可以选择选取光线的方法: HRx#}hN?+
— 在x-y-网格 7fnKe2MM
— 六边形 ]p+t>'s
— 自由选取 \+L_'*&8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^Fb"Is#S, 3<fJ5-z|- 5. 系统的3维视图 %z8@; 8a.
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Ra~n:$tg2 6. 其他系统参数 ]~kqPw<R ■ 系统由单色平面波照明 zL)S, ■ 照明波长266.08nm Y5ebpw+B- ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ufEt"P-X. — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ?:n{GK — 一个虚拟屏位于焦平面 b'vJPv~hI — 光束尺寸探测器置于焦平面 \Xxx5:qM ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5:n&G[Md 0b*a2_|8k F)DL/'; <!DOCvd Wuc,Cjm9(! 7. 光线追迹系统分析器的结果 6LvUi|~"< r=@h}TKv{I 光线经过整个光学系统的三维视图
%$sWNn 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
_DJ0MR~3 |l)Oy#W =WDf [?ED /=7 |FtB` wQ[2yq JanLJe) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8^< -; WQ"ZQ jh8%Xu]t
■ VirtualLab可用于计算点列图。 :B=`^>RK
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }T(|\
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 `L9o!OsQ
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
jl:O~UL6i
8,kbGlSD 9. 焦平面上的结果 VQo7se1P
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Po^2+s(fY
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 dYr#
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 w;#9 hW&
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm c wpDad[Kx
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 sDbALAp
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■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 &ul9N)A RbrvY 10. 总结 5'z&kl0"S ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 *><]
[|Y@H ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 P, S9gG9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jpBE| Nm ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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