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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 'bef3P9`  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =66,$~g{  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4_eFc$^  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 v2#qs*sW8  
     Z*5]qh2r8  
    2. 系统 (i'wa6[E8  
    4p&SlJ  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    "jl`FAu)q  
    3. 透镜系统组件编辑 H~qY7t  
    RK]."m0c~#  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 $r)nvf`\  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 H Lt;1:b  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 XG6UV('  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 HPWjNwM  
     s&OwVQ<M  
    Boa?Ghg  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #lm1"~`5  
    qoD M!~  
    K[|d7e  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 v3jx2Z  
    ■ 可以选择选取光线的方法： -Kf'02  
    — 在x-y-网格 Neb%D8/Kn  
    — 六边形 +hvVoBCM*  
    — 自由选取 q} R"  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     65A>p:OO  
    [+y/qx79  
    5. 系统的3维视图 u"n ~ 9!G  
    3?(||h{  
    D&)gcO`\  
    6. 其他系统参数 hMs}r,*  
    ■ 系统由单色平面波照明 :@X@8j":  
    ■ 照明波长266.08nm !*xQPanL  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： C>7k|;BvF  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 KH&xu,I  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 BPKeG0F7  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 e{9(9qE"  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m; LeaD}0  
    LNU9M>  
    BO ^T :  
    o'  DXd[y  
    P8s'e_t  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \h"QgHzp  
    {Z|.-~W  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    >!YI7)  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    HgX4RSU  
    S,v9\wN.  
    V9m1n=r  
    ^\\cGJ&8c  
    A|@d4+  
    FyQ^@@  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .,x08M  
    nyPA`)5F0  
    NLF{W|X  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 *$_<| g)9  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Kc\0-3 Z  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 EY!aiH6P  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 R16" lG  
     ?z60b=f8  
    9. 焦平面上的结果 4 ITSDx  
    #tBbvs+%  
    NzRL(A6V  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p2 y h  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 H1=R(+-s  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm (85F1"Jp  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 R m *"SG  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     +;z4.C{gM  
    '89D62\89  
    10. 总结 Oy[t}*Ik  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 obX|8hTL%  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ./ib{ @A.  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 f5/ba9n I  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 tL;;Yt  
     
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