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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 lrZ]c:%k  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 qkKl;Z?Y:  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i.'"`pn_  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 T; tY7;<  
    fV4rVy8  
    2. 系统 .v(GVkE}  
    JXL?.{'A  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    -+{[.U<1jk  
    3. 透镜系统组件编辑 T^Ia^B-%}g  
    mt+i0PIfj  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M~\dvJ$cH  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 #w.0Cc  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ="78#Wfj2  
    包括序列光学表面和光学介质。 :+6W%B  
    K ,NmDc^  
    ;[;WEA  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 6HZtdRQF  
    kJmwR  
    1q(Qr h  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2!0tD+B  
    可以选择选取光线的方法: Yw#fQFm  
    — 在x-y-网格 rX)&U4#[m  
    — 六边形 0?$|F0U"J  
    — 自由选取 zoi0Z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    =q0V%h{  
    }xC2~  
    5. 系统的3维视图 ^7 \kvW  
    1iY4|j;ahV  
    Soq#cl'll-  
    6. 其他系统参数 R_B0CM<!  
    系统由单色平面波照明 FbroI>"e  
    照明波长266.08nm e1a\ --  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6&0@k^7~  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 K-:y  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ViiJDYT>E<  
    光束尺寸探测器置于焦平面 d)1gpRp  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 OGg\VV'  
    7(]F+\A3  
    qdI%v#'M  
    iS,l  
    m6[}KkW  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Ic4#Tk20i  
    UBuh '?j  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    f~wON>$K  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    =S{OzF  
     "x9yb0  
    j~>{P=_}  
    J@:Q(  
    pk9Ics;y  
    Q&.uL}R  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 g>h/|b w4  
    &*>.u8:r  
    H;4QuB'^  
    VirtualLab可用于计算点列图。 )>{ .t=#  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V5(_7b#z``  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 \4wMv[;7  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 _M/N_Fm  
    OJpfiZ@Q_  
    9. 焦平面上的结果 F:q4cfL6  
    _ cQ '3@  
    =oI[E~1<  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \"(?k>]E  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 GIzB1cl:  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm exJc[G&t(  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 x7/Vf,N  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ]Z5m_-I  
    y#B=9Ri=z  
    10. 总结 `;Tf_6c  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 QO}~"lMj  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ldUZ\z(*  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Mu>  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 A .&c>{B7  
     
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