1. 描述 lrZ]c:%k ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 qkKl;Z?Y: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i.'"`pn_ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 T; tY7;<
fV4rVy8 2. 系统 .v(GVkE} JXL?.{'A 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-+{[.U<1jk 3. 透镜系统组件编辑 T^Ia^B-%}g
mt+i0PIfj
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M~\dvJ$cH
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 #w.0 Cc
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ="78#Wfj2
■ 包括序列光学表面和光学介质。 :+6W%B
K ,NmDc^ ;[;WEA 4. 光线追迹系统分析器-选项 6HZtdRQF k JmwR 1q(Qr
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2!0tD+B
■ 可以选择选取光线的方法: Yw#fQFm
— 在x-y-网格 rX)&U4#[m
— 六边形 0?$|F0U"J
— 自由选取 zoi0Z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =q0V%h{ }xC2~
5. 系统的3维视图 ^7\kvW 1iY4|j;ahV
Soq#cl'll- 6. 其他系统参数 R_B0CM<! ■ 系统由单色平面波照明 FbroI>" e ■ 照明波长266.08nm e1a\-- ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6&0@k^7~ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 K-:y — 一个虚拟屏位于焦平面 ViiJDYT>E< — 光束尺寸探测器置于焦平面 d)1gpRp ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 OGg\VV' 7(]F+\A3 qdI%v#'M iS,l m6[}KkW 7. 光线追迹系统分析器的结果 Ic4#Tk20i U Buh'?j 光线经过整个光学系统的三维视图
f~wON>$K 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
=S{OzF "x9yb0 j~>{P=_} J@:Q( pk9Ics;y Q&.uL}R 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 g>h/|bw4 &*>.u8:r H;4QuB'^
■ VirtualLab可用于计算点列图。 )>{.t=#
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V5(_7b#z``
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 \4wMv[;7
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
_M/N_Fm
OJpfiZ@Q_ 9. 焦平面上的结果 F:q4cfL6
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \"(?k>]E
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 GIzB1cl:
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm exJc[G&t(
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 x7/Vf,N
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ]Z5m_-I y#B=9Ri=z 10. 总结 `;Tf _6c ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 QO}~"lMj ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ldUZ\z(* ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Mu> ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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