1. 描述 M
yvyp ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /&`sB| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8pEiU/V ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ioZ{2kK
s_j ?L 2. 系统 "%~Jb dx Kpx(x0^2 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?mRGFS 3. 透镜系统组件编辑 J2ryYdo>
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *G6Py,- !f
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t\/i9CBn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^Qx
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 @5im*ubzM
DF>LN%a~ )rqb<O 4. 光线追迹系统分析器-选项 oXQzCjX_ :L E&p[^ g<@P_^vo
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hS?pc<~`#
■ 可以选择选取光线的方法: ]rpU3 3
— 在x-y-网格 )U?O4| \P
— 六边形 ry2ZVIFa
— 自由选取 ?hXeZB+b4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VN5UJ!$?J feI%QnK)U 5. 系统的3维视图 D #`o Ui^~A
wd
4]Z0; 6. 其他系统参数 }r+(Z.BHM ■ 系统由单色平面波照明 vzr?#FG ■ 照明波长266.08nm h}T+M BA% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ,k,RXgQ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3[RP:W@% — 一个虚拟屏位于焦平面 uVQH,NA, — 光束尺寸探测器置于焦平面 9}=]oX!+V ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 (iT?uMRz =`1#fQDt
d&@>P&AT OIqisQ7ZB npj_i /&g 7. 光线追迹系统分析器的结果 doERBg`Jh gq'}LcV 光线经过整个光学系统的三维视图
G~ldU:
? 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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h+9BO +i@r-OL Hju7gP=y} !bPsJbIo> {#Lj,o 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _`H2CXGg !'
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■ VirtualLab可用于计算点列图。
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~"Kf+eFi
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D^[}:O{
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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5)T=^"IHXi 9. 焦平面上的结果 iut[?#f^
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 cEP!DUo
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 o9j*Yz
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 2i~ tzo
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 /YyimG7
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 hJkSk;^ R.Plfm06Ue 10. 总结 A<1:vV ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =u*\P!$ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ({R-JkW:; ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5`!Bj0Uf ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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