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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 M y vyp  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /&`sB|  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8pEiU/V  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ioZ{2kK  
    s_j ?L  
    2. 系统 "%~Jb dx  
    Kpx(x0^2  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?m RGFS  
    3. 透镜系统组件编辑 J2ryYdo>  
    +5>*$L%8T`  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 *G6Py,- !f  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t\/i9CBn  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^Qx qv  
    包括序列光学表面和光学介质。 @5i m*ubzM  
    DF>LN%a~  
    )rqb<O  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 oXQzCjX_   
    :L E&p[^  
    g<@P_^vo  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hS?pc<~`#  
    可以选择选取光线的方法: ]rpU3 3  
    — 在x-y-网格 )U?O4| \P  
    — 六边形 ry2ZVIFa  
    — 自由选取 ?hXeZB+b4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    VN5UJ!$?J  
    feI%QnK)U  
    5. 系统的3维视图 D #`o  
    Ui^~A  
    wd 4]Z0;  
    6. 其他系统参数 }r+(Z.BHM  
    系统由单色平面波照明 vzr?#FG  
    照明波长266.08nm h}T+M BA%  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ,k,RXgQ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 3[RP:W@%  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 uVQH,NA,  
    光束尺寸探测器置于焦平面 9}=]oX!+V  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 (iT?uMRz  
    =`1#fQDt  
    d&@>P&AT  
    OIqisQ7ZB  
    npj_i /&g  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 doERBg`Jh  
    gq'}LcV  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    G~ldU: ?  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    0# )I :5  
    -$; h+9BO  
    +i@r-OL   
    Hju7gP=y}  
    !bPsJbIo>  
    {#Lj,o  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _`H2CXG g  
    !' D1aea5  
    4F-r}Fj3  
    VirtualLab可用于计算点列图。 v4pFts$J  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~"Kf+eFi  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D^[}:O{  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >BDK?YMx  
    5)T=^"IHXi  
    9. 焦平面上的结果 iut[?#f^  
    +# 38  
    w`N|e0G@  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 cEP!DUo  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 o9j*Yz  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 2i~tzo  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 /YyimG7  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    hJkSk;^  
    R.Plfm06Ue  
    10. 总结 A<1:vV  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =u*\P!$  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ({R-JkW: ;  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5`!Bj0Uf  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 HB>&}z0  
     
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