1. 描述 -^sW{s0Rc ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]v^/c~"${ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 gGF]Dq ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 iUSP+iC,
TNe,'S,% 2. 系统 k(LZ,WSR <vMna< /d 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8B#;ffkmN 3. 透镜系统组件编辑 a&:1W83
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &"HxAK)f
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =k.:XblEe[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >[t0a"
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?bFP'.
cUW>`F(S ?LJ$:u 4. 光线追迹系统分析器-选项 *+(t2!yFmE EUBJnf:q ;:<z hO
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 - 7MR2)U
■ 可以选择选取光线的方法: @z
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— 在x-y-网格 TljN!nv]
— 六边形 t^_0w[
— 自由选取 S1jI8 #z}_
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 cr GFU?8 )Ve-) rZ 5. 系统的3维视图 |-Rg]. 0IZaf%zYc
Bmx+QO 6. 其他系统参数 h>Z NPP8N ■ 系统由单色平面波照明 rP4v_?Zg+ ■ 照明波长266.08nm 6P,vGmR ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: j,<3[ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .CJQ]ECl7p — 一个虚拟屏位于焦平面 EQQ/E!N8l — 光束尺寸探测器置于焦平面 2n]UNC ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8:#\g gut[q <//82j+px 'iQ 1XfH,6\8i 7. 光线追迹系统分析器的结果 \9;SOA v :r4]8X- 光线经过整个光学系统的三维视图
nP]tc 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
RYhaQ&1i R%gkRx[
!LGnh $'Pn(eZHGv ^b{ -y fPXMp%T! 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 g/*x;d= b5!\"v4c T,'{0q
■ VirtualLab可用于计算点列图。 c}XuzgSY
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 D.7,xgH
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {?2jvv
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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(tZ#EL0 9. 焦平面上的结果 \R!.VL3Tx$
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