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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 -^sW{s0Rc  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]v^/c~"${  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。  gGF]Dq  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 iUSP+iC,  
    TNe,'S,%  
    2. 系统 k(LZ,WSR  
    <vMna< /d  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    8B#;ffkmN  
    3. 透镜系统组件编辑 a&:1W83  
    Gk_%WY*  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &"H xAK)f  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =k.:XblEe[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >[t0a"  
    包括序列光学表面和光学介质。 ?bFP'.  
    cUW>`F( S  
    ?LJ$:u  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 *+(t2!yFmE  
    EUBJnf:q  
    ;:<z hO  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 -7MR2)U  
    可以选择选取光线的方法: @z $,KUH  
    — 在x-y-网格 TljN!nv]  
    — 六边形 t^ _0w[  
    — 自由选取 S1jI8 #z}_  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    cr GFU?8  
    )Ve-)rZ  
    5. 系统的3维视图 |-Rg].  
    0IZaf%zYc  
    Bmx+QO  
    6. 其他系统参数 h>ZNPP8N  
    系统由单色平面波照明 rP4v_?Zg+  
    照明波长266.08nm 6P,vGmR  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: j,<3[  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .CJQ]ECl7p  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 EQQ/E!N8l  
    光束尺寸探测器置于焦平面 2n]UNC  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8: #\g  
    gut[q  
    <//82j+px  
    'iQ  
    1XfH,6\8i  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \9;SOAv  
    :r4]8X-  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    nP]tc  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    RYhaQ &1i  
    R%gkRx[  
    !LGnh  
    $'Pn(eZHGv  
    ^b{-y  
    fPXMp%T!  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 g/*x;d=  
    b5!\"v4c  
    T,' {0q  
    VirtualLab可用于计算点列图。 c}XuzgSY  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 D.7,xgH  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {?2jvv  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 T6/d[SH>  
    (tZ#E L0  
    9. 焦平面上的结果 \R!.VL3Tx$  
    woSO4e/  
    v?AQ&'Fk  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B#o/3  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 SW94(4qo  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm | aAu 4   
    此外,背景颜色也可以预先设置。 0wFa7PyG?  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    [_$r-FA  
    ?(C(9vO  
    10. 总结  uj8G6'm%  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 25bbuhss  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 w@K4u{|  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C(w?`]Qs  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Vki'pAN  
     
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