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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 nUQcoSY#  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^v}Z5,aN  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ::dLOf8o  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 -fj;9('YJ  
    Oe'Nn250  
    2. 系统 '# "Z$  
    J@oGAa%3)  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ~B:Lai4"  
    3. 透镜系统组件编辑 5w gtc~  
    ]"dZE2!  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 022YuqL<v  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +AZ=nMgW  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Gnl6>/L,  
    包括序列光学表面和光学介质。 %Wom]/&,'  
    Nn ?BD4i  
    nqBZp N ^  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 A%"XNk  
    !Wvzum@5D  
    dY~3 YD[  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7t\kof  
    可以选择选取光线的方法: u z ` H  
    — 在x-y-网格 ~1S7\e7{  
    — 六边形 37ll8  
    — 自由选取 .'lc[iI9)d  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ynw^nmM  
    #"O9\X/B  
    5. 系统的3维视图 UIL5K   
    L-Xd3RCD  
    && ecq   
    6. 其他系统参数 S5" xb  
    系统由单色平面波照明 )FMpfC>An  
    照明波长266.08nm Ki^m&P   
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %;yo\  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 "h7Z(Y  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 $B~a*zZ7  
    光束尺寸探测器置于焦平面 6aM`qz)  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m/0G=%d%k  
    c500:OSB  
    '$ s:cS`=  
    KAgiY4  
    izY,t!  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ).9-=P HlX  
    b[uTt'p}  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ;1NZY.pyc  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Y;e@ `.(  
    ]}ff*W  
    Uk S86`.  
    %a5Sc|&-  
    IB}.J,=  
    PaMi5Pq  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 T(a* d7  
    4J!1$   
    xO/44D  
    VirtualLab可用于计算点列图。 A7VF >{L./  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 IhM-a Y y5  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bkmX@+Pe  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 R j(="+SPj  
    $ n  n4  
    9. 焦平面上的结果 AW+4Vm_!l  
    ++R-_oQ  
    cAVe(:k)  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xdYjl.f  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 aFyNm@a  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Jfo|/JQ  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 V *S|Qy!p  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    U=Z@Ipu5T  
    .a;-7|x  
    10. 总结 zFP}=K:o)  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 (cC5zv*E  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~`*:E'/5k]  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 z]Ql/AK  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 BzTm[`(h  
     
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