1. 描述 nUQcoSY# ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^v}Z5,aN ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ::dLOf8o ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 -fj;9('YJ
Oe'Nn250
2. 系统 '# "Z$ J@oGAa%3) 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
~B:Lai4" 3. 透镜系统组件编辑 5w gtc~
]"dZE2!
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 022YuqL<v
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +AZ=nMgW
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Gnl6>/L,
■ 包括序列光学表面和光学介质。 %Wom]/&,'
Nn
?B D4i nqBZp N^ 4. 光线追迹系统分析器-选项 A%"XN k !Wvzum@5D dY~3YD[
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7t\kof
■ 可以选择选取光线的方法: uz
` H
— 在x-y-网格 ~1S7\e7{
— 六边形 37ll8
— 自由选取 .'lc[iI9)d
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ynw^nmM #"O9\X/B 5. 系统的3维视图 UIL5K
L-Xd3RCD
&&ecq 6. 其他系统参数 S5"xb ■ 系统由单色平面波照明 )FMpfC>An ■ 照明波长266.08nm Ki^m&P ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %;yo\ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 "h7Z(Y — 一个虚拟屏位于焦平面 $B~a*zZ7 — 光束尺寸探测器置于焦平面 6aM`qz) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m/0G=%d%k c500:OSB '$
s:cS`= KAgiY4 izY,t! 7. 光线追迹系统分析器的结果 ).9-=P HlX b[uTt'p} 光线经过整个光学系统的三维视图
;1NZY.pyc 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Y;e@`.( ]}ff*W Uk S86`. %a5Sc|&- IB}.J,= PaMi5Pq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 T(a*d7 4J!1$ xO/44D
■ VirtualLab可用于计算点列图。 A7VF
>{L./
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 IhM-a
Y
y5
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bkmX@+Pe
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
R
j(="+SPj
$ n n4 9. 焦平面上的结果 AW+4Vm_!l
++R-_oQ
cAVe(:k)
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xdYjl.f
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 aFyNm@a
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Jfo|/JQ
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 V *S|Qy!p
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 U=Z@Ipu5T .a;-7|x 10. 总结 zFP}=K:o) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 (cC5zv*E ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ~`*:E'/5k] ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 z]Ql/AK ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
BzTm[`(h