1. 描述 ;r
XhK$ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 J"dp?i ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 v__;oqN0 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 59I}
*>XY' -;2e 2. 系统 6lc/_&0 ^. i;, 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
lZupn? 3. 透镜系统组件编辑 mmn1yX:d
1yIo'i1
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "UY.;
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7F{=bL
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FE/2.!]&o
■ 包括序列光学表面和光学介质。 iAlFgOk'
AH(O"v` xR,;^R|C 4. 光线追迹系统分析器-选项 8@a|~\3- WxS=Aip' ~Zd n#z\
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \T_?<t,UT
■ 可以选择选取光线的方法: S hM}w/4
— 在x-y-网格 vAE?^*F
— 六边形 fV.43E
— 自由选取 sE8.,\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m&Mvb[ r} ~l( 5. 系统的3维视图 /z4xq'< =;3|?J0=
qt}[M|Q^r 6. 其他系统参数 XfxNyZsy&> ■ 系统由单色平面波照明 ::vw1Es ■ 照明波长266.08nm GfQP@R" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o+O\VNW — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2/BFlb — 一个虚拟屏位于焦平面 ZX.VzZS — 光束尺寸探测器置于焦平面 G<