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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ;r XhK$  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 J "dp?i  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 v__;oqN0  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 59I}  
    *>XY' -;2e  
    2. 系统 6lc/_&0  
    ^. i;,  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    lZup n?  
    3. 透镜系统组件编辑 mmn1yX:d  
    1yIo 'i1  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "UY.; P  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 7F{=bL  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FE/2.!]&o  
    包括序列光学表面和光学介质。 iAlFgOk'  
    AH(O"v`  
    xR, ;^R|C  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 8@a|~\3-  
    WxS=Aip'  
    ~Zd n#z\  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \T_?<t,UT  
    可以选择选取光线的方法: S hM}w/4  
    — 在x-y-网格 vAE?^*F  
    — 六边形 fV.43E  
    — 自由选取 sE8.,\  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    m&Mvb[  
    r}~l(  
    5. 系统的3维视图 /z4xq'<  
    =;3|?J0=  
    q t}[M|Q^r  
    6. 其他系统参数 XfxNyZsy&>  
    系统由单色平面波照明 ::vw 1Es  
    照明波长266.08nm GfQP@R"  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o+O\VNW  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2/B Flb  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ZX.VzZS  
    光束尺寸探测器置于焦平面 G<-)Kx  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 J 6S  
    ,9#G/nF  
    cQv*lvG9>  
    =fHt|}.K  
    M{7EFTy!y  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \Rp)n=|  
    yg2~qa:dZ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    o\Hg2^YY>  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    i*Y/q-N|  
    PSHs<Z47  
    F,O+axO ja  
    yHt63z8'  
    hpXu3o7e  
    L#u6_`XJ+  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 kozg8 `\]  
    V_}`2.Pg  
    KX<RD|=  
    VirtualLab可用于计算点列图。 =QyO$:t  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r+0)l:{.  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 FZA8@J|Q4  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ~N'KIP[W  
    z4-AOTo2y  
    9. 焦平面上的结果 >M:5yk@  
    JpD YB  
    K?T)9  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 O~,^x$v e  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \0WMb  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Y\p yl  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 :` ~b&Oz)  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    =,@SZsM*B  
    J*U(f{Q(  
    10. 总结 V7[qf "  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1C$^S]v%a  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Z^fF^3x  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Z=F=@<!  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Tz*5;y%4  
     
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