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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 p]atH<^;K  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 kW*W4{Fth  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i[V,IP +  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Iwd"f  
     uhPIV\  
    2. 系统 *}50q9)/  
    >rQ)|W=i  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    G5C#i7cpm  
    3. 透镜系统组件编辑 4jI*Y6Wkz  
    0hEF$d6U  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 'Y6(4|w (  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 GcU(:V2o  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 tFb|y+  
    包括序列光学表面和光学介质。 TU^tW  
    [xH2n\7  
    u!156X?[eU  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 pw(*X,gj  
    6M2i? c  
    lSKv*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 NWq [22X |  
    可以选择选取光线的方法: B%?|br  
    — 在x-y-网格 6r ?cpJV{  
    — 六边形 e3bAT.P  
    — 自由选取 s`dkEaS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    B@: XC&R^  
    wZ#~+ }T  
    5. 系统的3维视图 a-o hS=W  
    k/6G j}l'o  
    c'VtRE# z~  
    6. 其他系统参数 t2U]CI%  
    系统由单色平面波照明 D(2kb  
    照明波长266.08nm pNk,jeo  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _16 &K}<  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 q, 19NZ  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 +=lcN~U2  
    光束尺寸探测器置于焦平面 o8yEUnqN  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3]5&&=#  
    d%"@#bB  
    $T@xnZ  
    zke~!"iq  
    7xa@wa?!L  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 %d~9at6-B  
    *~MiL9m+?  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    5>^ W}0s  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    )QJU ]G  
    "!4>gg3r  
    T3PaG\5B  
    e&VR>VJEA  
    _s#/f5<:B  
    znDtM1sLeV  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |'>E};D  
    t,as{.H{h  
    4N^Qd3[d  
    VirtualLab可用于计算点列图。 JCMEhI6d*  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 /A`zy  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 DqC}f#  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Yi! >8  
    `cTsS  
    9. 焦平面上的结果 @XSu?+s)  
    c$UpR"+  
    `E1_S  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 $9u  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 s9Q)6=mE  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm q2o$s9}B  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 uvc{RP  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    dJ"xW; "  
    !B38! L  
    10. 总结 ]> "/<"  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ?;=Y1O7N(  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 q@!H^hd}  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 R@{/$p:  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 yqc(32rF!  
     
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