1. 描述 p]atH<^;K ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 kW*W4{Fth ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i[V,IP + ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Iwd"f
uhPIV\ 2. 系统 *}50q9)/ >rQ)|W=i 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
G5C#i7cpm 3. 透镜系统组件编辑 4jI*Y6Wkz
0hEF$d6U
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 'Y6(4|w
(
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 GcU(:V2o
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 tFb|y+
■ 包括序列光学表面和光学介质。 TU^tW
[xH2n\7 u!156X?[eU 4. 光线追迹系统分析器-选项 pw(*X,gj 6M2i?c lS Kv*
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 NWq [22X
|
■ 可以选择选取光线的方法: B%?|br
— 在x-y-网格 6r?cpJV{
— 六边形 e3bAT.P
— 自由选取 s`dkEaS
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B@:XC&R^ wZ#~+ }T 5. 系统的3维视图 a-o
hS=W k/6Gj}l'o
c'VtRE# z~ 6. 其他系统参数 t2U]CI% ■ 系统由单色平面波照明 D(2kb ■ 照明波长266.08nm pNk,jeo ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: _16&K}< — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 q,19NZ — 一个虚拟屏位于焦平面 +=lcN~U2 — 光束尺寸探测器置于焦平面 o8yEUnqN ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3]5&&=# d%"@#bB $T@xnZ zke~!"iq 7xa@wa?!L 7. 光线追迹系统分析器的结果 %d~9at6-B *~MiL9m+? 光线经过整个光学系统的三维视图
5>^ W}0s 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
)QJU]G "!4>gg3r T3PaG\5B e&VR>VJEA _s#/f5<:B znDtM1sLeV 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |'>E};D t,as{.H{h 4N^Qd3[d
■ VirtualLab可用于计算点列图。 JCMEhI6d*
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 /A`zy
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 DqC}f#
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Yi! >8
`cTsS 9. 焦平面上的结果 @XSu?+s)
c$UpR"+
`E1_S
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 $9u
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 s9Q)6=mE
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm q2o$s9}B
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 uvc{RP
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 dJ"xW;" !B38!
L 10. 总结 ]> "/<" ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ?;=Y1O7N( ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 q@!H^hd} ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 R@{/$p: ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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