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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
    24553
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： s#MPX3itK  
     3c%caK  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； |BYRe1l6l  
     @9:uqsL  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 |[lKY+26:{  
     kf9X$d6   
    结构设计 y>LBl]  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 8,|kao:  
     l"]V6!-U  
    VaPG-n>Vf  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 V~#tuv  
     &j6erwaT  
         0}9h]X'  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 s[N@0  
     <naz+QK'  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 8EY:t zw  
    M\=2uKG#  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 T{'RV0%   
     ('~LMu_  
    `_h&glMJ,q  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 HT@=evV  
    $ Q0n  
    Va8&Z  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 6B-16  
     `h;[TtIX4  
    .C(tMF]D,  
    wY}@'pzX  
    导出加工数据 V8(-  
     \NC3'G:Ii  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) u:EiwRW  
     ^Dx&|UwiZa  
    E"0>yl)  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 QW"! (`K  
     WhDJ7{D  
    {Ha57Wk8D  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ?Ob3tUz2  
           g&.=2uP  
    0IpmRH/  
    @pxcpXCy  
    Js;h%  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 }\LQ3y"[  
    1eKT^bgM  
    ,0k;!YK  
    snJ129}A  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 KmF]\:sMD  
     _-\#i  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ?4B`9<j8%  
    tVjsRnb{  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 d'2A,B~_*  
    y)*RV;^  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 <uJ@:oWG7  
    ctUp=po  
    Uz7<PLxd  
    导出加工数据列表 W%J\qA  
     A=4OWV?  
    5X+A"X ;C  
    n*$ g]G$  
    导入加工数据 He)%S]RLk  
     a9G8q>h]O  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI S[N5 ikg  
     #b`k e/P  
    If.r5z9  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) n|;Im&,  
     _j3fAr(V  
    *2?@ |<(r  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Yz bXuJ4  
    Lv%x81]K  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 7 3m1  
     ceV}WN19l  
    ?8$Q-1=  
    MPV5P^@X  
    ;aBG,dr}i  
    #S(Hd?34,  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 KSvE~h[#+  
    <q SC#[xu  
    nlYNN/@"  
    6) 导入完成，观察3D视图 putrSSL}  
     vbNBLCwug  
    weQ_*<5%  
    "8RSvT<W^5  
    ]3gSQ7  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 OPi0~s  
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