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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： j 3/ I =  
     , )&ansN  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； WFr;z*  
     X667*L^  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 E&;[E  
     [ADSGnw  
    结构设计 Uz4!O  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 a:q>7V|%$  
     cj[a^ ZH  
    d+caGpaR  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 g?7I7W~?`  
     _cRCG1CJ  
         j\I{pW-  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 YLX LaC[  
     >Bw<THx  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 %w$\v"^_Y  
    |2Krxi3*  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 f6of8BOg  
     !g`^<y!  
    RJpRsr  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Pv#Oea?  
    l1M %   
    mM[KT} A  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 :CeK 'A\  
     (^{tu89ab  
    B|f =hlY  
    3-=f@uH!  
    导出加工数据 Za110oF  
     C {*' p+f  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) $q$G  
      =8o$  
    '9ki~jtf=  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 i?3~Gog  
     aAbK{=/y_!  
    7^oO N+=d  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 +GYO<N7  
           IgmCZ?l&0  
    LJ8 t@ui  
    B,5kG{2!  
    sBq-"YcjR  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 )K}-z+$)k  
    X7~^D[ X  
    XsEo tW  
    _'*Vcu`Y  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 K\trT!I  
     V+$^4Ht  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ^\f1zg9I  
    o#Viz:  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 u*S-Pji,x  
    cr`NHl/XF  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 @* <`*W  
    +^cjdH*  
    A"}Ib'  
    导出加工数据列表 KXiStwS  
     KY'x;\0 g  
    ;Tec)Fl  
    Q$*JkwPQ}  
    导入加工数据 iAr]Ed"9|  
     )Tl]1^  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI dJ 9v/k_  
     <~Oy3#{  
    Yh["IhjR  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) lD#S:HX  
     "(YfvO+  
    1wg#4h43l  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ,Dy9-o  
    98rO]rg  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 eyzXHS*s;L  
     VZ]}9k  
    j0~ dJ#  
    +Ym#!"  
    ^4~?]5Y\  
    -y'tz,En.  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 }3/|;0j$  
    | vPU]R>6  
    H1d2WNr[  
    6) 导入完成，观察3D视图 v hGX&   
     $YiG0GK<"  
    C*stj  
    "H\R*\-0  
    yTR5*{?j  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ;qs^+  
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