切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1419阅读
    • 1回复

    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5797
    光币
    23137
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： ~4#B'Gy[  
     R'K/t|MC  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； @uleyB  
     `x8B n"  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 ?r_kyuU  
     3!9 Z=- tD  
    结构设计 f4t.f*#  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 nS.G~c|  
     Zc5 :]]  
    ?Hz2-Cn  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 >>'C :7+Y  
     m\0cE1fir  
         rGwIcx(%  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 NlPS#  
     ? 5|/ C  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 zQ)+/e(8  
    Opg#*w%-  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 lu\o`m5wF  
     t 0O4GcAN  
    hSV@TL  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 F@W*\3)  
    tai Vk4  
    `u'dh{,gE  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 'x%x'9OP  
     vs9?+3  
    ~1 ZD[@  
    &w\ I<J`T  
    导出加工数据 gQVBA %  
     G?)vWM`j  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) __N.#c/l{  
     QApyP CH  
    <4X?EYaTq  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 'p}`i/  
     "Ai6<:ml  
    vgG}d8MW37  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 =Viy^ieN$  
           `lCuU~~ag  
    H'Qo\L4H  
    00<{:  
    &d^=s iL  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 W'$kZ/%[  
    HYClm|   
    i57( $1.  
     kq/u,16@  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 f\o R:%  
     #BJ\{"b_}z  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置  H!eh J$[  
    rG6\ ynBX%  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 8 njuDl  
    4F#%f#"  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 rxE&fjW  
    qu{mqkfN>  
    h_ ZX/k  
    导出加工数据列表 P[i\e7mR  
     (2txM"Dja  
    :YvbU Y  
     )U98  
    导入加工数据 &L3 #:jSk  
     Q"}s>]k3_  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI k|j:T[_  
     $I8[BYblB  
    gGbI3^ r#  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ;'1Apy  
     tgN92Q.i6T  
    xZ ;bMxZ  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) n t HT  
    H@W0gK(cS;  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ^KH%mSX>  
     'lQYJ0  
    Lk nVqZ|k  
    #v/ry)2Y=  
    oyvtZ/@  
    h$&rE@N|  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 l2/ @<0P  
    *8-p7,D  
    # "r kuDO  
    6) 导入完成，观察3D视图 chLeq  
     !; WbOnLP  
    WOb8 "*OM  
    NsmVddj  
    lU$X4JBzS  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    离线wx349643041
    实习生
    发帖
    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 jkCHi@  
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表