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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5910
    光币
    23703
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： &></l| hY  
     }";\8  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； k!gft'iU  
     7|A9  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 SBBDlr^P  
     kKV`9&dZe  
    结构设计 Rh7unJ  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 VO|2  
     -saisH6  
    J?\z{ ;qa  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 D8otU DB{  
     l@ +]XyLj  
         5B [kZ?>  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 -5Qsc/ s&  
     #]ZOi`;  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 gDP\u<2!  
    S!0ocS!t  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 O`nrXC{  
     %Lec\(-4L  
    \;w+_<zE5{  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 5>J{JW|  
    <<@vy{*Hg  
    ^<0u~u)%T  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 &J~vXk: !  
     S ^?&a5{o  
     '&/"_  
    1LTl=tS#  
    导出加工数据 @\,WJmW  
     q' };.tv  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) mOj6 4}_`"  
     8U8l 5r  
    Gld|w=qr  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 =W1`FbR  
     T<*i($ [  
    #4. S2m4  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 zmf`}j[  
           wv>uT{g#  
    r2A(GUz  
    3%Jg' Tr+  
     k~#F@_  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 GWZ0!V  
    \S(:O8_"68  
    "j5b$T0P>  
    j_PICv*6  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 HH[b1z2D  
     j%R}  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 L^:+8g  
    j[ !'l,I  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Yr@)W~  
    >jjuWO3T  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 CybHr#LBc  
    /[YH  W]  
    T)Byws  
    导出加工数据列表 ^|DI9G(Bs  
     24_F`" :-=  
    wrq0fHwM  
    V.Pb AN  
    导入加工数据  ?C   
     N%{&%C6{  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI LGq}wxq  
     BBy"qkTe  
    mBgMu@zt)  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ye1kI~LO(  
     CK1Xdyf_S  
    Rt{qbM|b&  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) CMa~BOt#  
    ,mH2S/<}S  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 t E/s|v#O  
     }YHoWYR  
    }?xu/C  
    zm rQ7(y  
    q: . URl  
    _A%} >:q  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 /C29^P  
    GkjTE2I3  
    z8+3/jLN0B  
    6) 导入完成，观察3D视图 qy6zHw  
     QSf{V(fs  
    xfw)0S  
    HgY"nrogt$  
    )|f!}( p  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 +avu&2B  
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