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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    技术专家
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： dnH?@ K  
     flnoK%wi  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； `O-$qT, _  
     d.sxB}_O  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 X]M)T  
     hK3?m.> "g  
    结构设计 8nW#Q <s  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 +!CG'qyN>  
     c=h{^![$  
    [{L4~(uU8  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 s lXk <  
     gCW.;|2  
         ohOze\T)=  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 4cl}ouG  
     ["kk.*&  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 xbSix:R=Z  
    RKx" }<#+  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 8W9kd"=U  
     ^F/N-!}q  
    ,aU_bve  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 YOqGFi~`  
    -$>R;L  
    A7C+-N  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 vm_+U*%c  
     IR(qjm\V  
    )\8l6Gw  
    qn5e[Vn  
    导出加工数据 :D""c*  
     !X*+Ct^  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) o+ r?N5  
     VE`5bD+%e  
    7o-umZ}8  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 OTY9Q  
     T8bk\\Od  
    kl,I.2-  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ,6uON@  
           ZEYT17g]  
    Gb4k5jl  
    E3@G^Y  
    qcSlqWDk  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 E_[|ZrIO&*  
    @GNNi?EY  
    &`Oj<UyJY  
    |4^us|XY  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 7o_1PwKS6  
     hd^?mZ  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 M_lQ^7/  
    N_Q)AXr)  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ^lud2x$O^C  
    @ qy n[C  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 FrT.<3  
    2.)xWCG  
    094~  s  
    导出加工数据列表 C,r[H5G#  
     ,< Zu4bww  
    O< [h  
    ?-C=_eZJ  
    导入加工数据 BPs|qb-  
     X$Eg(^La  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 5-qk"@E W  
     I8~ .Vu2  
    <q\OREMsq  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) O =m_P}K  
     7~&  
    Ck.LsL-  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Sp/t[\,'  
    .\)`Xj[?  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 :x88  
     1 1Sflj  
     ja!K2^  
    0> {&8:  
    q9+`pj  
    W;L<zFFbU)  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 '^mCLfo0}  
    st4z+$L  
    @>:V?  
    6) 导入完成，观察3D视图 5\!t!FL_  
     GO&~)Vh&7  
    /Q]6"nY  
    q~:H>;:G-  
    p} }pq~EH/  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 bqPaXH n  
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