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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 (;6s)z WOndE=(V 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \3{3ly~L G%w_CMfH 所需工具：Grating Toolbox Basic aqQ o,5U> BpT"~4oV5 相关Tutorials：G.001; G.014 _J"mR]I+ 建模任务 =B5E0x `
%' z 理想平面波照射 *Wyl2op6 b%0BkS* zW'/2W.  0 K3Hf^>m 3sC: jIp kMe@+ysL 镀膜倾斜光栅 `
py}99G 目标平面 O@`J_9 &d
3HB=x 周期：10um %F$N#YG 厚度：10um +H y4s[_| 倾斜角度：20度 ABWb>EZ 8 wr@GN8e` 光栅的参数 Pe,;MP\2 PHkDb/HIx| —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 3}M \c) oYq,u@oM —填充因子 2—后面的介质 ^_w*XV —膜层厚度 3—膜层材料 ' jbMTI —光栅厚度 y''0PSfb# Gm@iV,F%R &|,s{?z2  Z}f^qc+
pYGYy'%A' ZKsQ2"8{M 设置层数和转折点 ;l `X!3 q6)p*}- ^fZGX<fH  2 设置层数和转折点以确定膜层 x[}06k' =|# w.(3y W8uVd zQ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Q2R-z^pd s;>VeD)*) ^^Bm$9 实现可编程光栅 p[;8 P7Z<0Dt\} y"Ihr5S\  Uk"Y/Ddm
E~69^ cd s9:%s*$u 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |?|K\UF(Y  <!hpfTz* `&G} 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） dWIZ37w+D }RDb 1~6C Dwk$CJb3- <q1'Li)_R  X#Ak'%J -Cml0}.O 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ){ jqfkL  B{N=0 cSi kYTOldfY2 2 双击Data Series Diagram SDJ;* s- b e_C>v 采样结果 " sSjVu  (, d/ JnP
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ,Os7T 1 > f^yw W[dF
QQ：2987619807
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