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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6794
    光币
    28119
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： sz95i|@/  
     8;\sU?  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； C;rG]t^%  
     @R2at  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 -uR72f  
     GA3sRFZdQ  
    结构设计 F} DUEDND*  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 b"j|Bb  
     7"v$- Wy  
    )R)a@op  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 9IZu$-  
     ,/Cq v   
         xi'>mIT  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 )NW6?Pu"  
     "HIXm  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 pa]"iZz  
    !.X.tc  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 m:CTPzAt  
     .p6+l!"  
     u\e\'\  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 b=PVIZ  
    }iN2KeLAF  
    g@v s*xE  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 P9Q2gVGAO{  
     ' [0AHM  
     Qo0H  
    ]F*3"y?)2  
    导出加工数据 i76 Yo5  
     c+' =hR[  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) oR#:Nt X@  
     woOy*)@  
    %Z]'!X  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 &<x@1,  
     b\55,La  
    qoU3"8  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 Z@rN_WXx  
           l:(Rb-Wy  
    {bNXedZ\  
    7,$z;Lr0S  
    !dcwq;Ea  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 j6}R7 $JR  
    \+PIe7f_  
    3 /6/G}s  
    y }2F9=  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 n-;y*kD  
     W0`Gc {  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 OyG"1F  
    }ynT2a#LU'  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 .V'V:;BE%  
    wo^Sy41bF  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 3TuC+'`G  
    JqUADm  
    in%;Eqk  
    导出加工数据列表 X=X\F@V:u  
     f<jb=\}x  
    "E=j|q  
    6vzk\n  
    导入加工数据 /uqu32;o  
     w Fn[9_`*  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI &lc8G  
     } /^C|iS7  
    vq'c@yw;  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 2s ,8R  
     x2VBm$>  
    o@E/r.uK  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) lT8\}hNI+  
    |01?w|  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 JN3cg  
     5ua?I9fY  
    ,2[ra9n  
    p#8W#t$  
    do/)~9[4\  
    ': F}3At  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 D$k8^Vs  
    }qPhx6nP  
    j0-McLc  
    6) 导入完成，观察3D视图 x<(b|2qf  
     S4NL "m  
    w2gf&Lc\  
    1'w:`/_  
    obClBO)@Y  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 pR o s{Uq"  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 b}z`BRCc  
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