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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： F, W~,y  
     z>58dA@f  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； $?Yry. 2  
     0 HGM4[)=  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 hn5h\M?  
     R Q vft  
    结构设计 2`7==?  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 >80;8\  
     E7t+E)=8  
    )Xk0VDNp$/  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 7S '% E  
     jF ^~p9z  
         t[ubn+  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 *7CV^mDm  
     %`>nS@1zp  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 Aw}"gpL  
    [B+yyBtx  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 q*U*Fu+  
     ;YA(|h<  
    +c(zo4nZ  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 YLqGRE`W  
    9>l*lCA  
    jr)1(**  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 $+P>~X)  
     ^8 zR  
    YPU*@l>  
    X &uTSgN  
    导出加工数据 )m`<H>[Eb=  
     U &C!}  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ( }{G`N>.{  
     2/vMoVT,  
    FG6h,7+  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 DgUT5t1  
     XRcqhv  
    #xho[\  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 iX0i2ek  
           *!q1Kr6r  
    )Ub_@)X3%l  
    S)cLW~=z  
    aoTM  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 -&NN51-d\j  
    #yI mKEYX  
    =y [M\m  
    Z'4./  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 &|Bc7+/P  
     Kf>A\l^X7  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 g l^<Q  
    Cbg!:Cws  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ~<O7$~  
    ZvNJ^Xz  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 /j4P9y^]=  
    JW{rA6?   
    /RNIIY~w  
    导出加工数据列表 KV}FZ3jY  
     M.x=<:upp  
    y`\@N"Cf  
    O #F   
    导入加工数据 Xnz3p"  
     >[9J?H  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI @aAW*D~-J  
     -7*ET3NSI/  
    ,VCyG:dw  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 19HM])Zw\  
     'm4W}F  
    ix([mQg  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) ^Y@\1fX 4e  
    d*jMZ%@uS  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 H| 8Qp*  
     [Grxw[(_:  
    wCr(D>iM  
    3  ^>l\,  
    |_] Q$q[[%  
    ~tBYIkvWT  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 /LvRP yj@  
    v*;-yG&  
    4(|cG7>9-  
    6) 导入完成，观察3D视图 &X|#R1\  
     M[mF8Zf  
    z`!XhU  
    A Y*e@nk\  
    <g1hxfKx5  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 >33=<~#n  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 K POa|$  
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