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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： +8#_59;x  
     8?i7U<CB  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； ;]w<&C!=  
     7 As|Ns`  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 WJ d%2pO]  
     Y)$ ;Ax-D  
    结构设计 *$"gaXI  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 q-rB2  
     mCWhUBghR  
    "n: %E  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 RiTa \  
     =Me5ft w  
         yY&3p1AxW]  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 qBQ`~4s  
     eh,~F   
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 NO0"*c;  
    Z{ u a=0  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 DwV4o^J:l  
     <97d[/7i  
    JGFt0He]  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 1t Jg#/?  
    c(/VYMJZ&  
    < n:}kQTT  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Kv@e I$t5  
     [Cb` {  
    )' hH^(Yu  
    {w8 NN-n  
    导出加工数据 'Vr$MaO  
     d7&eLLx  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) GCttXAto  
     +e-,ST&w(  
    yCXrVN:`,  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 {66fG53x  
     $XU5??8  
    %"X-&1vV  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 e } *0ghKI  
           Lqp8yVO  
    4_D@ST%  
    ooj~&fu  
    c.|l-zAeX  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 5PIZh<  
    Ka|eFprS  
     /q@ s  
    97,rE$bC  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 Xwa_3Xm*Le  
     3loY qeP  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 D-U<u@A4  
    J@ L9p46,  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 Y2R\]FrT  
    j.i#*tN//  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 m,R Dr  
    IhiGP {  
    +"ueq  
    导出加工数据列表 u0RS)&  
     &6j<ca  
    H2r8,|XL  
    !'f3>W\   
    导入加工数据 e/8z+H^H  
     OI0B:()  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 7$k8%lI;>  
     !$g+F(:(c  
    f&x0@Q/eON  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) o:Zd1"Z  
     hKlZi!4J  
    f{lZKfrp  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) *RR[H6B^]X  
    GOSI3RRn  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 70B)|<$  
     %vO<9fE|1  
    FZH\Q~IUV  
    .5Q:Xp  
    ]feyJLF  
    6e25V4e?I  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 >J=<bhR  
    (X6sSO  
    2uk x (Z  
    6) 导入完成，观察3D视图 1j\aH&)GH  
     (vJ2z =z  
    8V$3b?]  
    ~SjZk|  
    plV7+?G  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 HXJ9xkrr  
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    离线无损的
    实习生
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 qSQ@p\O~  
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