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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： a/~aFmu6b  
     !>x|7   
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； `=#01YX[0  
     oMcK`%ydm  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 YL jHt\  
     QQk{\ PV  
    结构设计 rA0,`}8\  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 UX`]k{Mz  
     y AF+bCXo  
    )PkNWj6%y  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 xy+QbD T  
     _FbC{yI8;  
         ZaFb*XRgS  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 &m3.h!dq  
     Xqp|VbDca  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 &a!BD/  
    |( (zTf  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 R8*Q$rH<  
     QVZD/shq  
    `\=Gp'&Q+  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 va/m~k|i  
    U]qav,^[  
    8pLBt:  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 `T/~.`R  
      R7oj#  
    :&}odx!-!C  
    g1(Xg.  
    导出加工数据  [\)oo  
     -O:_!\uA  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) 5_K5?N  
     39 e;  
    tc_f;S`k  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 5yh/0i5|  
     MFJE6ei  
    z;]CmR@Ki  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 >Sk[vI0Y  
           fnzy5+9"  
    78n}rT%k1  
    u#W5`sl  
    fLN!EDq  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 @$Qof1j'%  
    ydl jw  
    (%ew604X  
    ,zcQS-e2  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 iWXc  
     x9>\(-uU  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 kg5ev8  
    Tm+;0  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 OQ/<-+<w  
    @54*.q$  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 ]>##`X  
    ofc.zwH  
    U3;aLQ*  
    导出加工数据列表 FD7H@L5  
     Rz%e>)  
    Z{-Lc68  
    )\/ =M*  
    导入加工数据 hPm>tV2X  
     z,;;=V6j  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 3{raKM6F  
     33l>{(y  
    %:6?Y%`*[  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ! U0z"  
     e]+OO g&  
    3EFD%9n  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) )9"oL!2h  
    8``;0}'PC  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 S[M4ukYK  
     u.|~   
     ~m=EM;  
    Lf}8qB#Y  
    Y8s;w!/  
    4 (?MUc  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 3 &&+Y X  
    cH`^D?#se  
    6/ g%\ka  
    6) 导入完成，观察3D视图 T(X:Yw  
     y+mElG$F  
    A;K(J4y*  
    pck>;V  
    +`en{$%%  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 q|#MB7e/  
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    离线无损的
    实习生
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    5
    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 2hOPzv&B  
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