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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： D}A>`6W<  
     f`"@7-N  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； 25/OV"Z  
     S# sar}-I  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Sx}61?  
     R\,qL-Br  
    结构设计 V[baGNe  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 `} :~,E  
     Tl`HFZQ1  
    <) ltvo(  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 wl:[Ad  
     -Gmg&yQ9  
          Jyo(Etp  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Q9NKQuSu  
     #5}v?  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 ZIikDi h1  
    cSWn4-B@l  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 1]]#HTwX  
     9,G94.da  
    .YxcXe3#  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 U((mOm6  
    fMZzR|_18  
    mv\S1[<T  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 ^.~m4t`U  
     <^Sp4J  
    & 24$*Oe  
    J!@`tR-  
    导出加工数据 ,ou&WI yC  
     Ki(  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) wTkcR^  
     !J-oGs\ u  
    Gf y9?sa  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 {axMS yp;  
     e<1)KqG  
    bA8RoC  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 xI(Y}>  
           ,R2;oF_  
    +[Zcz4\9  
    ]B>g~t5J  
    rw]7Lr_>  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 "Iwd-#;$;  
    `;\~$^sj}  
    O(CmdSk,  
    ~;P>}|6Y  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 .U9A \$  
     XVWVY}  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 k$v8cE  
    )9'Zb`n  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 mdy+ >e <  
    4VrL@c @  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 3?:?dy(3z  
    E{W(5.kb;i  
    OXIy0].b  
    导出加工数据列表 ".:]? Lvt  
     Egr'IbB  
    <Pg<F[eDM  
    AAPfU_: ^  
    导入加工数据 mj _ V6`m4  
     &=`6- J  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI WSV[)-=:  
     z;+LU6V  
    BOf)27)  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) X Cf!xIv  
     -P[bA0N,  
    )*T <s  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) %^ g(2^  
    A!.* eIV|  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 DX#_0-o  
     FErK r)  
    ztHEXM.  
    > J>|+W  
    R'1L%srTM+  
    Dh~Z 8!*  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 /woC{J)4p  
    DY6ra% T  
    9d1 G u"  
    6) 导入完成，观察3D视图 o dTg.m  
      &j_:VP  
    rN5;W  
    6> Ca O  
    nps"nggk  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 Q]NGd 0J  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 Vj{}cL"MR  
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