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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
     
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    光币
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介: /e|[SITe  
    LgP>u?]n  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; kz0I2!bt  
    7k[pvd|L  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 EK?@Z.q+  
    OG`|td  
    结构设计 %9T~8L @.  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 JFRpsv  
    LAv:+o(m/  
    w dGpt_  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 E+}GxFG-:  
    %'L].+$t  
         q]"2hLq  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 s>jr1~~3O_  
    E3S%s  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 |P~O15V*Q  
    uw Kh  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 s~=KhP~  
    . [T'yc:=  
    uW}Hvj;0a*  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Aq V09 $  
    +65oC x  
    9ZDVy7m\i-  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 N[qA2+e$Z  
    {I0w`xe  
    _urG_~q  
    59{;VY81  
    导出加工数据 <nDNiM#  
    tJ=3'?T_k  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) ;asm 0H(  
    z,pNb%*O  
    o]Z _@VI  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 -xJX_6}A  
    N'I(P9@  
    9wL!D3e {Q  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 QVIcb ;&:}  
           gjW\ XY  
    5;W\2yj  
    Hm>-LOCcl  
    GI4?|@%vD!  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 m</]D WJ  
    ,H>W:O  
    i<%m Iq1L  
    0 _Q * E3  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 RX:R*{]-  
    A9 U5,mOz  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 pe|X@o  
    ^_@r.y]  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 WtIMvk  
    ~gP7s_ qr{  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 "tqnx?pM  
    YWEYHr;%^?  
    E W`W~h[  
    导出加工数据列表 '|Qd0,Z  
    Qh*)pt]n  
    (~h7rAEc  
    ^f9>l;Lb  
    导入加工数据 _ w/_(k  
    _=pWG^a  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI # Mu<8`T-  
    Q|?'(J+  
    `19qq]  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) gNqAj# m  
    eNtf#Rqym  
    69>/@<   
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) @Tm`d ?^  
    vm8$:W2 }  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 vv+km+  
    (~JwLe@a  
    oB p3JX9_f  
    2HD:JdL  
    K4:  $=  
    ,]ga[  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 K*1.'9/  
    %)?`{O~ h  
    6hO-H&r++  
    6) 导入完成,观察3D视图 xYPxg!  
    @o6R[5(  
    *7ZtNo[+  
    dN< , %}R  
    8] `Ru5nd  
    QQ:2987619807
     
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    离线wx349643041
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 O(c@PJem  
    离线无损的
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导,非常感谢 X:|8vS+0gU