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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： ~;!i)[-  
     j SUAU}u!M  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； i'eYmm96Q  
     LaEX kb*s  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 XL"v21X  
     A?6{  
    结构设计 [[.&,6  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 F3H:I"4  
     rFt,36#  
    GlV-}5W  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 -.+KCt G$+  
     A{{q'zb!  
         mcP{-oJ0W  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ?,+C!R?  
     &VZmP5Gv  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 g 'd*TBnk  
    2>_brz|7:|  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 *`QdkVER  
     Z!s>AgH9u  
    &K}(A{  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 %~8](]p  
    g-{<v4NGI  
    5~kW-x  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 /ut~jf`  
     %BKR}  
    >? A `C!i  
    /v|68x6  
    导出加工数据 !4b; >y=m  
     I/ e2,  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) F] dd>#  
     TGt1d  
    *Wuctu^9  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 nIN%<3U2  
     `|ck5DZT5L  
    QB.*R?A  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 #P,[fgNy  
           J*6n6  
    fjK]m.w  
    9 FFfRIVY  
    k1LtqV  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 `)( <g  
    /Mi-lh^j-  
    !=q:> }g  
    y uK5r  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 e$xv[9  
     u`H@Q&(^wa  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 &:e}4/G  
    #QyK?i*  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 61Iy{-/ZV  
    ym,Ot1  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 p#8LQP~0$  
    a@a1TpLQ  
    &Ow?Hd0  
    导出加工数据列表 <DlanczziF  
     V[M$o  
    )(|0KarF  
    i&s=!`  
    导入加工数据 2I(@aB+  
     #3:'lGBIK  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI ph&H*Mc  
     &T{B~i3w8  
    L8-[:1  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) b]qfcV  
     V]S06>P  
     ~bWWu`h  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) j}?ZsnqV  
    c7TWAG_+  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 h C`p<jp/  
     d`q)^  
    XL&eJ  
    aXid;v,  
    4[V6so0  
    '/qe#S  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 g]#zWTw(   
    *~oDP@[S  
    H1b%:KRVK  
    6) 导入完成，观察3D视图 [\%t<aa  
     bHH}x"d[x  
    -mYI[AG)  
    BaHg c 4zI  
    A)p! w aG  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 n\)f.}YD8d  
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