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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5797
    光币
    23137
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： s."N7F  
     1jzu-s ,F  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； _Hx'<%hhI  
     H0B=X l[  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 t&JOASYC  
     x5g&?2[  
    结构设计 \L?A4Qx)_  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 (8ct'Q;  
     k&[6Ld0~56  
    73u97oe>1  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 w?*79 u  
     ep5`&g]3  
         %'. x vC  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 4,YL15.  
     S~m8j |3K  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 p/LV^TQ  
    N2j^fZd_  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 TntTR"6aD  
     h c]p^/H  
    9RS viIi$  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 o)b-fAd@$  
    -~J5aG[@~>  
    rR{KnM  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 x@)cj  
     @Wm:Rz  
    'O2/PU2_  
    %)d7iT~M  
    导出加工数据 S&l [z,  
     .n.N.e  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit)  |#xBC+  
     m#_M"B.cm  
    iN0'/)ar  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 Zf??/+[  
     1jBIi  
    lc [)Ev  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 H<nA*Zf2@R  
           5TeGdfu @  
    f4 +P2j  
    q JtLJ<=1  
    `|92!Ej  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 TZg1,Z  
    5D7k[+6  
    9G7Brs:  
    @x[A ^  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 -I*vl  
     _ q>|pt.W  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 &VCg`r-{~  
    d mTZEO  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ?-0, x|ul  
    y>T>  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 #Lk~{  
    {C8IYBm  
    ,@M<O!%Cs  
    导出加工数据列表 qMA";Frt3N  
     qf@P9M  
    @1bl<27  
    L0{ [L  
    导入加工数据 >xF&>SDC  
     0#m=76[b  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI !`W0;0'Zg  
     z7P~SM  
    nC?Lz1re  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 7G Erh,  
     '9Q#%E!*  
    +`$$^x  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) BT$Oh4y4  
    zyP/'X_~:  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 *L Y6hph"  
     DH i@ujr  
    +nB0O/m'U  
    23'{{@30  
    $Tt.r  
    {(t R<z)  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 sint":1FC  
    MpJ\4D5G  
    '0o^T 7C  
    6) 导入完成，观察3D视图 0~[M[T\  
     2\#$::B9  
    ,Qo:]Mj  
    {F\P3-ub  
    6p3cMJ'8y  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 7xWJw  
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