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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6511
    光币
    26700
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： Rs "#gT  
     A1aN<!ehB  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； N/8B@}@n  
     G~zP&9N|  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 "0?" E\  
     T $o;PJc  
    结构设计 wF{M"$am  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 81S0:=   
     RnUud\T/  
    249DAjn+  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 ?H21Ru>:*  
     .2*h!d)E  
         J L2g!n= K  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 0$. ;EGP  
     mS &^xWPV  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 aj$&~-/ R  
    6JE_rAab  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 f(*iagEy  
     9_J'P2e  
    (iu IeJ^Z  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ZE6W"pbjU  
    .|2[! 7CXH  
    -;&-b>b  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 }_9yemP  
     )*9,H|2nS  
    l#3jJn  
    \S)cVp)h  
    导出加工数据 Q^Q6| n  
     94u~:'t>V  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) D<Z]kR(  
     wRe2sjM  
    Md>9Daa~  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 LTnbBh*mc  
     )W!\D/C+  
    @6{F4  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 UkM#uKr:  
           fWl #CI\]  
    Kd7Lpw1u]  
    Lv:;}  
    Xrzpn&Y=#  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 d(9C7GLC,  
    <O~ieJim  
     ~5n?=  
    h%Uq  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 P +Sgbtc  
     ~R~MC(5N[  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 D #C\| E:  
    :Oi}X7\  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 7O'u5 N  
    eY3<LVAX  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 %H=^U8WB  
    ,? V YrL  
    !>6`+$=U  
    导出加工数据列表 !s[ gv1  
     km6O3> p5r  
    fq !CB]C  
    Bh()?{q  
    导入加工数据 I\('b9"*  
     hj=k[t|g}  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Cuo"6, M  
     ho}G]y  
    f:ep~5] G  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ])vqXjN6"  
     Kj#h9e  
     +Q+!#  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) )4jS}  
    ^'4I%L"  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 FES0lw{G#  
     {&pBy  
    /n3SE0Y  
    WWv.kglz  
    s~g]`/h$r  
    9&1$\ZH  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 Mqm9i  
    , 4@C%  
    kDc/]Zb%  
    6) 导入完成，观察3D视图 cEEnR1  
     X'usd$[ .  
    NP$ D9#   
    {/!Yavx  
    z#+Sf.  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 /.:&9 c  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 I3dUI~}u  
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