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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    6613
    光币
    27214
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： ,sPsL9]$  
     kM>0>fkjE  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； C:/ca)  
     H?8uy_Sc  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 \ ?['pB  
     s+?r4t3H!  
    结构设计 ai"Kd=R  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 =]x FHw8A  
     Z[8{V  
    qe!`LeT#  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 LLOe  
     k!E`Xeob  
         TL@_m^SM  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 xy`aR< L  
     Q1V4bmM  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 j6Acd~y\2  
    Mj5=t:MI  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 X~abn7_  
     *%5#\ I  
    *1iJa  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 ]5D?Sc#-  
    (PU0\bGA  
    z<_{m 4I;  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 'LIJpk3J  
     j<!rc>)2+L  
    H@2JL.(k  
    [ >#?C*s  
    导出加工数据 Mvoi   
     M=n!tVlCV  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) k{Yj!C> #  
     k <ds7k1m  
    {/12.y=)~  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 [r_,BH\nu  
     V_Kpb*3  
    a #?% I#  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 t6_6Bl:  
           ->&AJI0  
    H?ssV^k  
    MdT'xYomzQ  
    'wz*GMGWC  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 lY!`<_Am  
    6d"dJV.\  
    nab:y(]$/  
    4%2QF F @  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 qJB9z0a<Ov  
     <9eQ  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 a?E]-Zf  
    Lhu2;F\/  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 ORlz1 &hW  
    D:'|poH  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 g;w4:k)U  
    |//cA2@.  
    KbVV[ *  
    导出加工数据列表 XLp tJ4~v  
     YnuC<y &p  
    LlL\7?_;  
    j,eeQ KH  
    导入加工数据 Ta?#o  
     Y&`Vs(  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI HY9H?T  
     j(6:   
    {4ON2{8;4  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) 8e)k5[\m  
     BIDmZU9tL  
    A_T-]YQ  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) n@{fqj  
    fm87?RgXD  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 EnA) Rz  
     7J./SBhB  
    PTIC2  
    `R0>;TdT  
    fGb(=l  
    =1)yI>2e%}  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 `rW{zQYM  
    P1 =bbMk  
    oP5G*AFUq  
    6) 导入完成，观察3D视图 i;*c|ma1>  
     $&nF1HBI4  
    @JE:\  
    rAIX(2@cR_  
    V\%;S  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 < Up n~tH  
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    离线无损的
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2025-10-14
    谢谢指导，非常感谢 /#20`;~F)  
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