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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 }T_"Vg q  
    6(rm%c  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 GMU!GSY  
    8)>>EN8 R  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 ~-"CU:$o  
    tP_.-//  
    要求工具箱:光栅工具箱 \Z.r Pq  
    [REH*_  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 *r.% /^@  
    %_ew{ff|  
    一、模拟任务 VgPlIIHh5  
    二、光栅的描述 RHsVG &<j  
    ximVh}'a  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 :k9T`Aa]  
     l!1_~!{y  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 `.@udfog^0  
    yp~z-aRa  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 (N/u@M  
    S @[]znH  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” gj|5"'g%  
    $YJ 1P  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 ?0)K[Kd'Y  
    gY+d[3N  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 KKwM\   
    RIkIE=+6  
    k7uX!}  
    2K4Xu9-i:b  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm kB+$Kt<]L  
    S6bW r0XR  
    "Lvk?k )hx  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm 2UQF:R?LQ  
    s<*+=aIfu  
    \LUW?@gLa  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm D)MFii1J~  
    I(UK9H{0$  
    -.Wwo(4  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm gpq ,rOIK  
    @de  ZZ  
    @Ez>?#z  
    5. 参数运行 >QDyG8*  
    r@JMf)a]  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 "tT4Cb3  
    hq4&<Zr(  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 :E{)yT  
    =pzTB-G  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 e"1mdw"  
    =nHkFi@D=t  
    HFB>0<$  
    !"FEp  
    7. 总结 v1u~[c=|^  
    U| yt   
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 /#5rt&q  
    G%Lt>5*!nE  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 qo:Zc`t(R  
    ^WU[+H ;  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 $Ptl&0MN%  
    Dh m ;K$T  
    'h ?  
    QQ:2987619807 ,&Zp^  
     
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