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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ^(m0M$Wk* 4d6%
t2 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 (JvQ-H
\SzGzCJ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 <dJIq "){
johmJLC 要求工具箱：光栅工具箱 XL?A w
Z3I L8 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 q1<Fg.-r I-,X wj- 一、模拟任务： S^)WYF5 二、光栅的描述 n1JC?+
dd19z% 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 afV
P-m4L
"h`54 }0 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 eTT^K qE>&
->Q`'@'|P 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 U !.~ XT=
`L+ ~&M 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” v s w7|
j&
<tdORT 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 wFn@\3%l`
^,~N7` 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 &s 2#1 A &;EV#]ge 6S2r }^IwQm*i 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm *u<rU,C8 sio)_8tp *EX$v4BX 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm {rtM%%l zL6
\p)y ./'; P <) 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 8Yo-~,Gb DXt]b, Rd .U;> 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm f<) Ro$ XTIu(f|d_; ;`;G/1]#9 5. 参数运行 'MSEki67
@*bvMEE 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 d?Ia#K9 3G
+p8qsT#7 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 d'x<- l9 &NlS = 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 wBg<Q{ J t5I^1u6 _ .-o %6 HKq2Js 7. 总结 XhQw+j~1.
v@F| O8t:s 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Fl8w7LcF7
}R 7sj 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 +3NlkN#
aW52.X z%8 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ;"d?_{>7 bbE bf !E
g5lmUKlQ$0 QQ：2987619807 :;" aUHU'
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