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案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 }T_"Vg q 6 (rm%c 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 GMU!GSY 8)>>EN8 R 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 ~-"CU:$o tP_.-// 要求工具箱:光栅工具箱 \Z.r Pq [REH*_ 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 *r.%/^@ %_ew{ff| 一、模拟任务: VgPlIIHh5 二、光栅的描述 RHsVG &<j ximVh}'a 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 :k9T`Aa] l!1_~!{y 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 `.@udfog^0 yp~z-aRa 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。
(N/u@ M S @[]znH 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” gj|5"'g% $YJ 1P 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 ?0)K[Kd'Y gY+d[3N 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 KKwM\ RIkIE=+6 k7uX!} 2K4Xu9-i:b 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm kB+$Kt<]L S6bW
r0XR "Lvk?k
)hx 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm 2UQF:R?LQ s<*+=aIfu \LUW?@gLa 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm D)MFii1J~ I(UK9H{0$ -.Wwo(4 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm gpq ,rOIK @de ZZ @Ez>?#z 5. 参数运行 >QDyG8* r@JMf)a] 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 "tT4Cb3 hq4&<Zr( 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 :E{)yT =pzTB-G 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 e"1mdw" =nHkFi@D=t HFB>0<$ !" FEp 7. 总结 v1u~[c=|^ U| yt 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 /#5rt&q G%Lt>5*!nE 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 qo:Zc`t(R ^WU[+H ; 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 $Ptl&0MN% Dhm;K$T 'h ? QQ:2987619807 ,&Zp^
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