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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 w*6!?=jP y\|-O<8 O 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 >Oi2gPA
1fO2)$Y 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 {?
K|(C
5}X<(q( 要求工具箱：光栅工具箱 v't6
yud
vSYun I 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 e}?1T7NPG] zO).<xIq+ 一、模拟任务： 0$f_or9T 二、光栅的描述 N'eQ>2>O@
y?Hj %, 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 >p]WCb'PH
j h1 bn 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 J:g<RZ Z1
MfNpQ: ]c\ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 e}](6"t`5
f 74%YY 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” _#J_$CE#
[U%ym{be ^ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 oRT
;l/}Or2 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 @pqY9_:P1 kO..~@ aY )tN?: l fW5" 4, 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm zt)p`kd D BGlGpl Q*09 E 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm gJ FR1 =2.tu*!C -! 'Oy%a# 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm q9>Ls -k xUiWiOihr6 &jXca| wAR 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 5';/@M 1AV1d%F p|F lWR'mA 5. 参数运行 ?o(ZTlT
AkYupP2]v 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 z9k *1:
p |&ZJ@3 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Z-^uM`],G (xk.NZn F 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 F:[7^GQZ{ (*Gi~?- 'h!h! {f`lSu 7. 总结 olD@W
UB
Y=P9:unG 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 r m Y,v
7>nhIp)) 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 763E 6,7
;,v!7 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 wFK: Dp_^ 4o1 Q 7
Ez06:]Jd QQ：2987619807 l 8O"w&
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