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案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 R /+$ : 4Z)s8sD KW 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 S+T/(-W G4)~p!TSQ 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 \vA*dQ- npdljLN 要求工具箱:光栅工具箱 sK}AS;: Qm%PpQ^Lz3 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 YWFE*wQ! yKc-:IBb{u 一、模拟任务: f>N DtG.6 二、光栅的描述 o`bc/3! rW{!8FhI 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 .IeO+RDQ :7v'[b 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 &$MC!iMh 3^sbbm.8 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 en<~_|J :"%/u9<A 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” -YA,Stc- aB,-E>+ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 3Ua?^2l #<*Vc6pC 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 +,76|oMsQ% lzEynMO+ Gw*Tz" WXQ@kQD 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm u^Q`xd1 GJ ^c^` kK? SG3 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm >i/jqT/ cQU/z"?+ gEh/m.L7 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm B~]Kqp7yU }3(!kW +jLy>=u 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm )^j_O^T5 z(|^fi( xcB\Y:
5. 参数运行 9K+>;` \@<7Vo, 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 86ao{l6l C {r^_ g(.q 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 7N$2N!I( /fI}QY1 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 Itl8#LpLM ]eL# bJ (@?mm @Cj!MZ=T 7. 总结 :#rP$LSYC DHO]RRGV 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 o4Q?K.9c KWJVc
` 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 +}:Z9AAMy @^,q/%; 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 F y+NJSG ) c@gRb~ hkMeUxS QQ:2987619807 c./\sN@
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