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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 T A9Kg=_ `)aIFAW 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 1(YEOZ
nt:d,H<p 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 )0 1,3J>#
ZFxa2J~ ; 要求工具箱：光栅工具箱
t@#l0lu $
m) 1+D"z 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 j@o
\d%.'! @CB&*VoB 一、模拟任务： i"_@iN0N 二、光栅的描述 . %"s|
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?cB:1?\j 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 `w(~[`F t
wCitQ0? 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 c e\|eN[
6T rtulm 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 a5dc#f
Kf
E9bc pup 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” AZ7m=Q97
J$>9UC k7B 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 r7zS4;b
>qL-a*w:a 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 q}+Fm?B = }!4%.$ + e3{J _ {Q(R#$)5+ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm K\VL [HP- -}G>{5.A - % 'ys 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm #wS/QrRE g;eoH O/ ih9 , 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ?.~hex#M@ .QLjaEja v*lj>)L 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm RQ*oTsq K9=f`JI9 +#RqQ8 \ 5. 参数运行 T\OpPSYbl
+ d 289" 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 *1b1phh0/
40m>~I^q} 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ]b&O#D9 o/\f+iz7 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 cK e{ ]a gw_]Y^U >0 AVs6&;v Z[%vO?, 7. 总结 "V>p
XdV(=PS!a@ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 5tUN'KEbN
2 e9lk$ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 u d$*/ )/
~ \3j{pr 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 m[$pj~<\ j1i<.,0g
1MYA/l$ QQ：2987619807 UC*\3:>'n
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