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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 9cWl/7;zXO %z J)mOu 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 #SQT!4
PLKp<kg 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 z;GnQfYG
'[~NR KQJ 要求工具箱：光栅工具箱 Bra >C
CwTx7
^qa 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Q{UR 3U'Q iT%aA Vs 一、模拟任务： @ _U]U 二、光栅的描述 j@v*q\X&
1@P/h#_Vr 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 jB:$+k|~.
^vYH"2 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 {tV)+T
U GQ {QH 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 5.]+K<:h"A
{^Vkx f] 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” =2\k
Jv3
X~sl5? 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 MmI4J$F
(8qMF{ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 KIC5U50J JaX T
B"e wP/&k`HQ#i s&iM.[k 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm sk\U[#ohH Ha1E /b]K
A9Q!V01_ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm *j? tcx q ,u#uk7V <M B]W`5 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm m b e M/ 2xhwi.u @ JZ I 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm cNtGjLpx; zu5'Ex`gQa A `T VV 5. 参数运行 UZi ^ &
C~ t?< 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 L)a8W
bTHKMaGWC 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 h8Q+fHDYv pzbR.L}'D 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 wdS^`nz| U[*VNJSp WW{5[;LYiB h$)(-_c3 7. 总结 i6?,2\ K
l)[\TD
1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 jGl8y!aM
;n%SjQ'% 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ];Z)=y,vM
Tz4,lwuWX7 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 :6S!1roi _G|hK k^,
+>/ariRr QQ：2987619807 .+M J' bW
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