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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 9D
bp`%j $T6<9cB@ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ;J:YNup
$t]DxMd 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 &&JMw6
&[`
=F`h2 A;a 要求工具箱：光栅工具箱 1_' ZbZv4h
5segzaI 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Au
{ `o xD 0Ec -/
一、模拟任务： ;RrfE8mGj 二、光栅的描述 ZE9*i} r
4D NZ y2` 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 lIf Our
mb#)w`< 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 D -jew &B
BdceINI 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 4]cOTXk9C
@U&|38 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” b x@CzXre;
6x{ B 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 {k C]x2 U
&,\S<B2. 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 H dGy$m` @/9>
/?JP 5Hr"}|J< 8 Nb$ )YMbA 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm %VdJ<=@ d&fENnt?h wiutUb
Y 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm OTRTa{TB Q|0[B4e^: r1[0#5kJ;J 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm !:>y.^O 2 9E^]IL? }/=VnCfU 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm | o?@Eh ;%U`P8b! qv T9d7x 5. 参数运行 ,
w_ Ew
al5?w{us 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 rsP1?Hxq
ut o4bs: 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ~h1'_0t |ey6Czm 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 vX{]_ <EE)d@%>v AttDD{Ta 8U-}%D<a 7. 总结 NZ
Xmrc{S
6VA@ ;g0$ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 kY*D s;
Y+D#Dv | 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 < B'BlqTS
_/KN98+ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 M[X& Q ua2SW(C@
3 D\ I#g QQ：2987619807 wL}=$DN
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