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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 R/+$ :  
    4Z)s8sDKW  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 S+T/(-W  
     G4)~p!TSQ  
    关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 \vA*dQ-  
     npdljLN  
    要求工具箱：光栅工具箱 sK}AS;:  
     Qm%PpQ^Lz3  
    相关应用案例：案例090.01，案例246.01 YWFE*wQ!  
    yKc-:IBb{u  
    一、模拟任务： f>N DtG.6  
    二、光栅的描述 o`bc/3!  
     rW{!8FhI  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 .IeO+RDQ  
     :7v'[b  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 &$MC!iMh  
     3^sbbm.8  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 en<~_|J  
     :"%/u9<A  
    4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” -YA,Stc-  
     aB ,-E>+  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 3Ua?^2l  
     #<*Vc6pC  
    1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 +,76|oMsQ%  
    lzEynMO+  
    Gw*Tz"  
    W XQ@kQD  
    2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm u^Q`xd1  
    GJ ^c^`  
    kK? SG3  
    3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm > i/jqT/  
    cQU/z"?+  
    gEh/m.L7  
    4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm B~]Kqp7yU  
    }3(!kW  
    + jLy>=u  
    5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm )^j_O^T5  
    z(|^fi(  
    xcB\Y:   
    5. 参数运行 9K+> ;`  
     \@<7Vo,  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 86ao{l6lC  
     {r^_g(.q  
    2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 7N$2N!I(  
    /fI}QY1  
    6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Itl8#LpLM  
    ]eL# bJ  
    (@?mm  
    @Cj!MZ=T  
    7. 总结 :#rP$LSYC  
     DHO]RRGV  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 o4Q?K.9c  
     KWJVc `  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 +}:Z9AAMy  
     @^,q/%;  
    3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 F y+NJSG  
    ) c@gRb~  
     hkMeUxS  
    QQ：2987619807 c./\sN@  
     
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