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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 T A9Kg=_  
    `)aIFAW  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 1(YEOZ  
    nt:d,H<p  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 )01,3J>#  
    ZFxa2J~;  
    要求工具箱:光栅工具箱 t@#l0lu$  
    m)1+D"z  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 j@o \d%.'!  
    @CB&*VoB  
    一、模拟任务 i"_@iN0N  
    二、光栅的描述 .%"s| D  
    ?cB:1?\j  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 `w(~[`F t  
    wCitQ0?  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 c e\|eN[  
    6Trtulm  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 a5dc#f Kf  
    E9bc pup  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” AZ7m=Q97  
    J$>9UC k7B  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 r7zS4;b  
    >qL-a*w:a  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 q}+Fm?B   
    = }!4%.$  
    + e3{J_  
    {Q(R#$)5+  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm K\VL[HP-  
    -}G>{5.A  
    - %'ys  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm #wS/QrRE  
    g;eoH  
    O/ ih9,  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm ?.~hex#M@  
    .QLjaEja  
    v*lj>)L  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm RQ*oTsq  
    K9=f`JI9  
    +#RqQ8 \  
    5. 参数运行 T\OpPSYbl  
    + d289"  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 *1b1phh0/  
    40m>~I^q}  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ]b&O#D9  
    o/\f+iz7  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 cKe{ ]a  
    gw_]Y^U  
    >0AVs6&;v  
    Z[%vO?,  
    7. 总结 "V>p  
    XdV(=PS!a@  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 5tUN'KEbN  
    2 e9lk$  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 u d$*/ )/  
    ~ \3j{pr  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 m[$pj~<\  
    j1i<.,0g  
    1MYA/l$  
    QQ:2987619807 UC*\3:>'n  
     
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