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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 QyN ~Crwo 3]
@<. 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 vj_oMmjKw
pGcc6q 1
关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 4sJx_Qi
,v6Jr3 要求工具箱：光栅工具箱 Wh<lmC50(
O%)9t FT 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Y7jD:P GqAedz ;. 一、模拟任务： NrU -%!Aw 二、光栅的描述 JA)gM
7<tqT
@c 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 P"]+6sm&es
%-*vlNC ) 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 \W\6m0-x
CX:^]wY 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ~::R+Lh(
OcH- `A 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 3@&H)fdp6a
pts}? 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。
b:3hKW
y,r`8 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 R utW{wh dyp] y$ njX:[_& GS$k 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ft*0?2N~ M!hby3 1 ljis3{kn"" 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm C[KU ~@ (gf\VYM-7 sogbD9Jc 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm #wd \& 395o[YZx* ~^euaOFU 6 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 4l1=l#\S Gzfb|9 ,q v\k,,sI 5. 参数运行 q7]WR(e
5HIp oj;\( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 {x4[Bx1
Q)@1:(V/ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 B5cyX*! ? pk U e| V 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 8k1 r|s@d "^ = [*i rO`g~>- vedMzef[@> 7. 总结 _ ]S6>
<D dHP 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 h]MVFn{
ke#;1 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 .fsk DW
bZ9NnSuH 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 (rG1_lUDu j'i42-Lt/p
QO7:iSZJ QQ：2987619807 LJ/qF0L!H
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