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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 L|(U %$ $g VbeQ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 }|8^+V&
An?# B4: 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 yXE I%2~)
sieC7raO 要求工具箱：光栅工具箱 {gu 3KV
16@<G 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 hRB?NM ?A .ah 一、模拟任务： z"Q tP[_m 二、光栅的描述 j bT{K|d-
yEh{9S%6p 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 RZnmia
x2H IS xg 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 }{,Wha5\n
!RwhVaSh 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 6,~ 1^g*
x)$0Nr62D 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” =\)zb '\=d
NZ8X@|N 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 T?Z^2.Pvc
PX23M|$! 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Q3bU"f Lq.2vfA> |) &d9|] 1!U:M8T| 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Xnh&Kyz`v Y1ca=ewFx )~"0d;6_ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm E vY^]M_U 1#AxFdm1 a
^juZ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm VhMVoW &dni6E4 -h
^ MX 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm :w |=o9J grkA2%N #bG6+"g{=L 5. 参数运行 ?-9uf\2_
.rwW5"RPq 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 N. nGez
fiU#\%uJg 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Q] K$yo & { qKoI ] 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 {wz_n gQ s!MD8i a .EjR<U U SGy2&{\Z 7. 总结 rHOhi|+
fsnZHL}=n 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 HKO]_; :(
kou7_4oS 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 X$P(8'[9A
suLC7x`Z 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 i tk/1 L=HnVgBs
;qWSfCt/^ QQ：2987619807 bNm]h.
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