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案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 ^S|qGu,G 0=,Nz 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 aH;AGbp ">T\]V$R 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 qz-
tXc, ql9n`?Q 要求工具箱:光栅工具箱 'n h^; JOuy_n 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 TJYhgna v,n 8$, 一、模拟任务: *Y85evq 二、光栅的描述 l]wfL;u ;tQc{8O6L 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 ~j{c9EDT| 1{/Cr K/o 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ]6(%tU f:3cV(mC 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ]$#bNt/p wHbmK 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” g]j&F65D NtGJpT4YX 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 \i?bt0 bM pk u\) 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 .+(ED nHF66,7t ZeG4z({af G#Bm">+ 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm @V>]95RX ty5# a <f
(z\pi1 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm Dlz0*eHD ;8=Bee4 }\m.~$|[ 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm xVsI#`<a 7/M[T\c 8'E7Uj 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm qJ5b;= )
YB'W_ N5W!(h) 5. 参数运行 u~,hTY(% !'!\>x$ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 "KF]s. c)Ng9p 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 a`:F07r !d 4DTo
6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 "%Ief4 N MkOx$ 9e.v[K~ qsEFf(9G 7. 总结 d lAb`ne ^fN/ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 tSni[,4Kq +P+h$gQ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 -p0*R<t L{1[:a)']B 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 S@[NKY H/*slqL 9s!R_R&W. QQ:2987619807 14l6|a
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