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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 "V{yi!D{< Fnk_\d6Ma 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 %| G"-%_E
>] o}}KF? 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 M#|dIbns
H
cA6lge<{~ 要求工具箱：光栅工具箱 L4uFNM]
Sa19q.~% 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 uKgZ$-' RwS@I / 一、模拟任务： x `V;Y]7' 二、光栅的描述 Xl@cHO=i
7ugZE93! 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 :e o
~=R SKyzt 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 eNiaM6(J
&rkEK4 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 oK{ V7
hHqh{:q{v 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” /?';
nGq
Qr
Wj>uR 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ;[RZ0Uy=
+cU>k} 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 <0S=,! iAa;6mH e 8'wG{3A dMR3)CO 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm +H$!a HHqwq.zIy !|c|o *t{ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Ts~L:3oaQ l }XU 59 |lv|!]qAma 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Zw
wqSyuGf !n^OM?.4 .f+ TZDUO 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm u{["50~ q&:=<+2" ah~Y eJp 5. 参数运行 ax
41N25
!nAX$i~ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 {}:ToIp
gk`zA 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 I@\OaUGr+ %/updw#{B 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 JmEj{K< 3I pKi& [ y!]CJigpZ iX3HtIBj' 7. 总结 3P;>XGCxZ
sUPz/Z.h 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Fv<`AU
:T9< d er, 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 vOg#Dqn-
_ 84ut 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 a'\o 7_
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KF4PJi;* QQ：2987619807 |r bWYl.b
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