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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 4(*PM&'R XUzOt_L5< 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 DF_wMv:>^
N8pV[\f 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 .uVd '
}zks@7 kf 要求工具箱：光栅工具箱 =[8K#PZ$w
U(0FL6sPC 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ;DSH$'1i !ej]'>V,X 一、模拟任务： BPa,P_6( 二、光栅的描述 67hfv e
lP*n%Pn ) 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 P3 `$4p?
B2oKvgw 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 .dMdb7
S.4+tf 7+ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 `3 i<jZMG
,cL; ,YN 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 2,dWD<h
(:qc[,m 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 R|} N"J _
Pw| h `[h 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ax>j3HKi g9q}D- ,[IDC3.4^R Db<#gH 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Vi: ^bv $%q=tn'EX !b7"K| 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm =qc+sMo BO#tn{(# y/y~<-|<@ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm J C%&d1
/ZD 6pF }rI :pp^KS 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 0W}qp?
u*v< dsGQ &:g:7l]g 5. 参数运行 ^t5My[R
')!X1A{ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。
>iae2W`
chKK9SC+| 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ,#UZp\zZ* e ~'lWJD 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ?T2>juf]5~ EC;>-s _0v+'&bz Z.Yq)\it 7. 总结 Hl0"
zS[
jZz Tnmm&? 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 _yv# v_Z
5K ;E*s, 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 1f}(=Hv{
&K\80wGK 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 3y6\ 0 |{1 ?:J_+? {E
vUJ; D QQ：2987619807 -p &u=
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