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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 @ M[Q $: 6&],WGz 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 'O "kt T
ec'tFL#u{ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 {} )y^L
XtW _ 要求工具箱：光栅工具箱 wznn #j
,P{ HE8 . 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 I @PJl (5(fd.m+_ 一、模拟任务： C={mi#G[/ 二、光栅的描述 7|~:P $M
x^2 W?< 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 GN%<"I.
{ y/-:=S)A 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 @W)/\AZ3
^Jtl;Q 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 sX~45u \
s"rg_FoL 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” z@`@I
9RcM$[~ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 G1r V<,#m
7kM4Ei 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 KL~AzLI J" wKR y th Q J(w ^6&_| f 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm W^|J/Y48 ~9i qD E @]sq A 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm LO}z)j~W 1w) fu \d$Rd")w 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ul$omKI$} $$~a=q,P[ &$Ci}{{n# 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm /[L)tj7B `
Rsl]
GB
"$Y(NFb 5. 参数运行 VB's
>OTl2F}4 ! 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 [DL|Ht>
+qZc}
7rJF 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 PgTDjEo
h/{8bC@bi 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Yim#Pq&_ ~Q_F~ 0y GGp{b>E+
# uYY=~o[
Tw 7. 总结 pbFYiu+
8e N%sm 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 7NeDs$
dGa@<hg 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Qv\bLR
oN4G1U
Kc 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 bbO+%-(X +!G4tA$g
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+r0c QQ：2987619807 #[Z< =i~C
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