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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Ltk-1zhI HPX JRQBE 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 $=5kn>[_Z%
&a+=@Z)kf 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 fizL_`uMqb
T|2v1Vj 要求工具箱：光栅工具箱 RB 9ZaL\
K 8W99:v 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 &W}6Xg( X G E.*aI 一、模拟任务： }LY)FT4n 二、光栅的描述 %R<xe.X
XM) 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 -'
=?Hs.
q8}he~a 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 h!7Lvh`o
tC5>K9Ed 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 l(HxZlHr
r%9=75HA 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Fd#Zu .Np
p V`/6
} 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 CY\D.Eow
D,()e^o 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 r)Ja\ ; 8v)iOPmDC K,,'{j 2#f q7pe\~q 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 7M~/[f7Z{ `i!fg\qnK T_d)1m fl 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm *=P*b|P"$ }^
=f%EjV ,'n`]@0?\ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm !AG {`[b pq:[ ` 6(>,qt,9S 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm =y=MljEX k~?5mUyK< Yq'D-$@ 5. 参数运行 Ph)>;jU
1--Ka& H 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 J06 D_'{
Hzz v 6k 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 x.sC 015Id j 9X|c7| 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 s{*bFA Z1F L4ZB0PmN' !="8ok+ m
?*h\NaB 7. 总结 !S l_qL
& }t8O?! 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 = ui3I_*)
_M^^0 kf 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Z@bSk O<Y
;0`I Ftz 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 vO q N=bp ZZ
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9t#~
x<7? QQ：2987619807 q7I!wD9Cff
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