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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 K~qKr<) aOEW $% 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Q.f D3g
R?:(~ X\ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 x 139Ckn
ciN*gwI) 要求工具箱：光栅工具箱 <}%gZ:Z6g
cd g &) 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 zB6&),[,v ^>s{o5H& 一、模拟任务： :x!'Eer
n 二、光栅的描述 K48 QkZ_gY
LO k J 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 c}2"X,
:ZXaJ! 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 q=k[] vD
KPa@~rU 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 mvyOw M
wNl " y 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” TEbE-h0)]
g7K<"Z {M 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 J^mm"2
Lnl-han% 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ?1H>k<Jp ASr3P5/ 92^Dn`g * C(q{|f 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm QhPpo#^ rU7t~DKS 21~~ =+)X 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm i]0$ 7s9! .X6V>e)(3 XK
yW 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm )umW-A P}D5 j w)Y}hlcq 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm V`LW~P;
w6[$vib' R)9FXz$). 5. 参数运行 4$4n9`odE
Q0TKM > 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 dkO ERVRe
/ gE9 W 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 KI5099 _/ +/Vzw 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Z
DnAzAR TK#-;p_ ,jMV
# H[
+9_E+H'?! 7. 总结 P)hawH=
Jl89 }Sf 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 lziC.Dpa
* 9}~?# b 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Wr.~Ns <
*q(HW 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 L9 H.DNA /P a<I^-#
ZRCUM"R_ QQ：2987619807 KnYHjJa
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