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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 )k~{p;Ke ^[=1J 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 SB) Hz8<
LLV1W0VO=P 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 K%@#a}kRb
b/]@G05> > 要求工具箱：光栅工具箱 S=zW
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By;{Y[@rS 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 IxU#x* D,,$ 一、模拟任务： DQy;W ov 二、光栅的描述 gyT3[*eh
H1or,>GoO 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 JTS<n4<a
y **>l{!! 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 b8 O }XB
@|;XDO`k; 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 8h{;*W r-
b/ g~;| < 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 8eDKN9kq
Y{ `hRz` 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。
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`]$H\gNI[8 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Pm=i(TBS/ OlcWptM$ FNHJHuTe nK>D& S_! 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm " o>` Y IuOQ X} p8X$ yv 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm KKGwMJku} ]%<0V,G
q d x)v`.%V 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm <,+6:NmT $E35 W=~) &?0hj@kd~ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm LT:*K!>NOL yi Ausl; rT!9{uK 5. 参数运行 8
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kT ,2eel 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 D ]zpG
nOdAp4{:q% 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 | X0Ys8f E|BiK 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 n||!/u)* ghV xcK } <
m@82\ 1Jn:huV2 7. 总结 zm p Q=%/H
*h Bo,
1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 5%%A2FrB.S
]zR,Y=
# 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 #7dM %
!Z`xwk"! 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ealh>Y R WK##VHK
VkD FR
[k_ QQ：2987619807 hP]zC1s
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