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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 4(*PM&'R  
    XUzOt_L5<  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 DF_wMv:>^  
    N8pV[\f  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 .uVd'  
    }zks@7kf  
    要求工具箱:光栅工具箱 =[8K#PZ$w  
    U(0FL6sPC  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 ;DSH$'1i  
    !ej]'>V,X  
    一、模拟任务 BPa,P_6(  
    二、光栅的描述 67hfve  
    lP*n%Pn)  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 P3`$4p?  
    B2oKvgw  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 .dMdb7  
    S.4+tf 7+  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 `3 i<jZMG  
    ,cL;,YN  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” 2,dWD<h  
    (:qc[,m  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 R|}N"J_  
    Pw| h`[h  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 ax>j3HKi  
    g9q}D-  
    ,[IDC3.4^R  
    Db<#gH  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm Vi:^bv  
    $%q=tn'EX  
    !b7"K|  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm =qc+sMo  
    BO#tn{(#  
    y/y~<-|<@  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm JC%&d1  
    /ZD6pF  
    }rI:pp^KS  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm 0W}qp?  
    u*v<dsGQ  
    &:g:7l]g  
    5. 参数运行 ^t5My[R  
    ')!X1A{  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 >iae2W`  
    chKK9SC+|  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ,#UZp\zZ*  
    e ~'lWJD  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 ?T2>juf]5~  
    EC;>-s  
    _0v+'&bz  
    Z.Yq)\it  
    7. 总结 Hl0" zS[  
    jZzTnmm&?  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 _yv#v_Z  
    5K ;E*s,  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 1f}(=Hv{  
    &K\80wGK  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 3y6\0|{1  
    ?:J_+? {E  
     vUJ; D  
    QQ:2987619807 -p&u=  
     
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