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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 @ M[Q$:  
    6&],WGz  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 'O "kt T  
    ec'tFL#u{  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 {})y^L  
    XtW_  
    要求工具箱:光栅工具箱 wznn #j  
    ,P{ HE8.  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 I@PJl  
    (5(fd.m+_  
    一、模拟任务 C={mi#G[/  
    二、光栅的描述 7|~:P $M  
    x^2 W?<  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 GN%<"I.  
    { y/-:=S)A  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 @W)/\AZ3  
    ^Jtl;Q  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 sX~45u \  
    s"rg_FoL  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” z@`@I  
    9RcM$[~  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 G1r V<,#m  
     7kM4Ei  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 KL~AzLI  
    J" wKRy  
    thQ J(w  
    ^6&_| f  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm W^|J/Y48  
    ~9i qD  
    E@]sq A  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm LO}z)j~W  
    1w) fu  
    \d$Rd")w  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm ul$omKI$}  
    $$~a=q,P[  
    &$Ci}{{n#  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm /[L)tj7B  
    ` Rsl] GB  
    "$Y(NFb  
    5. 参数运行 VB's  
    >OTl2F}4 !  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 [DL|Ht>  
    +qZc} 7rJF  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 PgTDjEo  
    h/{8bC@bi  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 Yim#Pq&_  
    ~Q_F~0y  
    GGp{b>E+ #  
    uYY=~o[ Tw  
    7. 总结 pbFYiu+  
    8eN%sm  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 7NeDs$  
    dGa@<hg  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Qv\bLR  
    oN4G1U Kc  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 bbO+%-(X  
    +!G4tA$g  
    J/= +r0c  
    QQ:2987619807 #[Z<=i~C  
     
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