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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 s5
($b `Tk GI0q 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 AtYqD<hl:
p` /c& } 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 @e:=
D
X(JE]6_ 要求工具箱：光栅工具箱 W\5PsGUsv
G; Py%8 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 z[+S b; P B?92py& 一、模拟任务： 8~ w P? 二、光栅的描述 =>htX(k}
eI3ZV^_Ps 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 K GJ *h
Ci_Qra 6 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 i)th] 1K%
H7dT6`<~Y 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 7r o&Q%
14z
?X% 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Pmdf:? B
Ld?'X=eQ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 |qz&d= >
Znd ,FqHk 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Yan}H}Oq 9 :,ZG4 s \- 8S" > PK 6CR 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm % 00cC~}4 )=pa * bCqTubbx!t 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm sf"vi i,1A / }Pj^^6A< .,F`*JVFq 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm BlfadM; 7j8lhrM}^ .t7ME{ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm se=;vp]3a B
*%ey? 6/6{69tnr 5. 参数运行 Z rv:uEl
OJiwI)a9 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 QJ +Ml
mgMa)yc!dp 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 A DVUx} h43py8v 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 |y
pX O3 uHq;z{ 2GI mDx=n.lIz XAZPbvG |$ 7. 总结 #I1q,fm
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v<O)1QT 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 n8tw8o%&[
R@ ){=8%z 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 % {-r'Yi%
C 5g 9Gg 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Vh? RlIUA -Fq`#"
cn: L]%< QQ：2987619807 ZUkM8M$c
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