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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ?w<x_Lo b F B;N+> 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 IXz ad
Ea P#~x 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ODEy2).
X)nOY* 要求工具箱：光栅工具箱 WpmypkJA#
ybYSz@7 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 1J<-P9 vk+ I
s8| 一、模拟任务： P *%bG 4 二、光栅的描述 n.7 $*9)#
UejG$JyHP 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 :mg#&MZj<
d(]LRIn~1 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 6^ /C+zuX
x /9`2X`~ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ?B h}
v $ pA Rt 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ?V7[,I1?
-lAA,}&+! 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 co~TQpy^
9V"^ F.> 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 SM^6+L"BE 4 Y-9W2s 9k83wACry A:p0p^* 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ,,{Uz)>'W6 kSI,Q!e\ ?G8 D6 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Sfvi|kZX I E ,g $s)
^zm~ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm *$hO C%( uIWCVR8`Y $*2uI?87}: 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm [&Qrk8EN |d,1mmv@K ~ gX@2!D5k 5. 参数运行 s"sX# l[J
u\Xi]pZ@X] 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 }. ,xhF[
* XNvb ^< 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 sL!6-[N F*]AjD - 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 K
IqF"5 bBDgyFSI < uF< F4m; [[bMYD1eO 7. 总结 J 0s8vAs
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s 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Z NuyGo;
V;)'FJ)] 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 6X'RCJu%
Ky$ <WZs 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 9VP|a- #G]s.b y('
}"3L>%Q5 QQ：2987619807 ;JAe=wt^'I
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