-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-06-05
- 在线时间1977小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ^S|qGu,G 0=,Nz 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 aH;AGbp
">T\]V$R 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 qz-
tXc ,
ql9n `?Q 要求工具箱：光栅工具箱 'n h^;
JOuy _n 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 TJYhgna v,n 8$, 一、模拟任务： *Y8 5ev q 二、光栅的描述 l]wfL;u
;tQ c{8O6L 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ~j{c9EDT|
1{/Cr K/o 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ] 6(%tU
f:3cV(mC 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ]$#bNt/p
wHbmK 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” g]j&F65D
NtGJpT4YX 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 \i?bt0 bM
pk u\) 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 .+(ED nHF66,7t ZeG4z({af G#Bm">+ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm @V>]95RX ty 5# a <f
(z\pi1 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Dlz0*eHD ;8=Bee4 }\m.~$|[ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm xVsI#`<a 7/M[T\c 8'E7Uj 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm qJ5b ;= )
YB'W_ N5W!(h) 5. 参数运行 u~,hT Y(%
!'!\>x$ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 "KF ]s.
c)Ng9p 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 a`:F07 r !d 4DTo
6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 "%Ief 4 N MkOx$ 9e.v[K ~ q sEFf(9G 7. 总结 d l Ab`ne
^f N/ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 tSni[,4K q
+P +h$gQ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 -p0* R<t
L{1[:a)']B 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 S@[NKY H/*slqL
9s!R_R&W. QQ：2987619807 14l6|a
|
