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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 = 3v
1]7 X a9EI7pnq 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 =|5bhwU]
&CeF^ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 d7K17KiC
MoR-8vnJ 要求工具箱：光栅工具箱 ~lalc ^
! lN a` 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 g d}TTe
>A(?P n{|a 一、模拟任务： 6!Ji>h.Ak 二、光栅的描述 >RqT7n 8h
d t0E 0i 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 KjfKo;T
wZ3 vF)2s 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 J!fc)h
; 7v7V 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 rIWN!@.J
*DI:MBJY 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” p$o&dQ=n[
=|V]8 tN 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 4 C9"Q,o%&
t?H;iBrpxd 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 bvu<IXX=2 b=
ec?n #7 )E~\H+FP6 "JLhOTPaHf 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm +xdFk c ^]!1 'xg i GeT^!N 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 7(USp #" {2*l :' I
3,e)Z 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm . .je<
83,1d*` XoQk'7" f 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm v4a4*rBI" +P)[|y +e `k%#0E*H 5. 参数运行 Qufv@.'AY
S9#N%{8P 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 PEn^.v @
BRzWZq%r3 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 qg:I+"u p6l@O3 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 (?3 \.tQ}} +C;#Q f }' 0Xz9/ l Mciq9{8& 7. 总结 MkGq%AE`Y
[QN7+#K, 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 H^1 a3L]
NITx;iC 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 $M< 4Bqr
>N1]h'q> 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ` +UMZc E0A|+P
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lR2;g:& H QQ：2987619807 TdIFZ[<7
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