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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 X #H :&*[! HI7]%<L 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 `g2&{)3k
?@yank| 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 55(J&q
7B VXBw 要求工具箱：光栅工具箱 ;}n|, g>
vRq =m8 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 .$n$ %|"H- #I bS 一、模拟任务： ttTI#Fr2 二、光栅的描述 |qQ{ 8T%)
f&+XPd % 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 nmTm(?yE
G%y>:$rw[O 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 .Gjr`6R
;*n_N!v 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 4o)(d= q
.ou!g&xu 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” $:T<IU[E
TB ;3 ` 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ce 7Yr*ZB
t$ACQ*O
1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 f%`*ba" v ^ uKnP>*l wp A w/-/ `%KpTh 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm bS_y_ 9K HTR "mQ c,+L + 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm |G|* C.b,]7i V:nMo2'hb 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm +,ZU TG rC* sNy2 61ON 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ]}UeuF\ >!:$@!6L Z%, \+tRe 5. 参数运行 i}v}K'`
u|]mcZ,ZW 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 (M+,wW[6
1( #*'xR 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 k rEH`f 1 2%z3/i 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 +0oyt? yv6Zo0s <J F[o+p|nF s0~05{ 7. 总结 _mIa8K;
Fi?U)T+%+ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 yDu
yMt#
M~d+HE 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 kR`6s
| o ; j0 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。
L@g Q L c<JM1
wHB Hkz QQ：2987619807 P%<aGb4
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