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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 `AQv\@wp ,+%$vV
.g\ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 f0}+8JW5h
<[kdF") 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ;L++H5Kz6
^#p S u 要求工具箱：光栅工具箱 L<*wzl2Go
z`5d ,M 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 T/UhZ4(V r@^h, 一、模拟任务： u:NSPAD) 二、光栅的描述 WTZ P}p1
%jim] ]<S[ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Mo0+"`
Jah~h44& 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 *EvnN:
5L%A5C&| 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Gr}Lp
j[v<xo 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 9# xcp/O
?(n|ykXwc 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 [0w @0?[
`)/G5 fB 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ?` 3` azfM D<]z.33 M9[Fx=
qY ]]J2#mN:n 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 6$lj$8\ ,GA2K .:# S1.w^Ccy 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ^?VYE26 {Ug?k<h7| Kzfa4C 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm
%tT &/F 6V
KsX+sd PTXy:>]M 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm a= +qR:wT }E+#*R3auB ` B}( Ln 5. 参数运行 !'Q/9%g
%(79;#2` 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Ph'*s{
3M=ym. 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 sk.<|-(o u_[s+ J/ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 llXyM */ Y9F!HM -` k4FxdX 3Sv<Viuo 7. 总结 CqDKQQ
NpG5$? 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 0'{0kE[wn
{+_ pyL 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 E"ijN s
; I1}g] 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 EbZRU65J}O ? >SC:{(
\$n?J(N QQ：2987619807 =\GuIH2
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