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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 LtU+w*Gj $_ i41f[ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 lz* 2wGI9
A+l" 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 TSk6Q'L\v
?y U#'`q 要求工具箱：光栅工具箱 +O H."4Z
i~9)Hz;! 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 4HHf3j!5 -s 1VlS/ 一、模拟任务： tp]|/cx4 二、光栅的描述 ,- "]IR!,w
Xm-63U`w5 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 BY d3 rI
Sce9R?I I 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 :W&\} )
h`Mf;'P 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #n7{ 3)
-+=8&Wa 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” wf4Q}l2,d
9x1Dyz 2?F 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 $d=lDN
QHh#O +by# 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 k$>T(smh
:+=* )?WoL Ejq ;$i'A&)OC 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm *+z({S_Nv 4kM<L}J# O?!"15 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ep! .kA=\ 9T1G/0k- |H 4'*NP" 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm U&XoT-p$L 1:t>}[Y 34=0.{qn 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm =jN]ckn 9wC; m : 8\9EDgT 5. 参数运行 j$^]WRt
2$91+N*w9 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 2~<0<^j/]
C 0%%@
2+ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 p1nA7;B-m hA8 zXk/'8 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 X`b5h}c ^~ Sn{e sA d#\n)eGr 7 ' S] 7. 总结 ||V:',#,W
7yp*I[1Qf> 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ^XM;D/Gp~
TRZ^$<AG 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 hqPn~Tq
lu_Gr=#O 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 U6Ak " y#+o*(=fRE
g8Z14'Ke QQ：2987619807 (=j!P*
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