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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 GUD]sXSj #G?#ot2o 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 F(Zf=$cx
%.wR@9? 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 i%F2^R@!q/
Z__fwv.X[ 要求工具箱：光栅工具箱 |uz\XK
=./PY1 0' 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 w8j pOvj TuPD5-wB& 一、模拟任务： K>LS8,8V 二、光栅的描述 ?~T(Cue>
1{]S[\F] 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 t6`(9o@}
cTn (Tv9s 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 #`= >Mza
M
#0v# {o 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 f<$*,P
)c1Pj#| 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” hR:i!
t2.jg?`k 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 tJQZRZViu
QmGK!
H>3 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 "'+C% t5S|0/f } _];yw '@WBq!p 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm *SI,K)BP ]]`[tVaFr l x0BKD?n 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ",[ /pb `1Md1e:J }?Pa(0=U
4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm )+hJi/g $sb@*K}:4 }weE^9GiJ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 'qo(GGC M @"98u$5 r8N)]Hs ZH 5. 参数运行 I7 SFG O
BT;1"l< 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 5 3pfo:1'
N>sT@ >
) 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ;}KJ[5i-V n!~QC 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 hBcklI n}1hmAh Z [I'q"yRu]i n>:e8KVM; 7. 总结 k%sA+=
H15!QxD# 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 rW~G'
MIZ!+[At 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 W$l4@A
'cIFbjJ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 tpeMq - )PkGT~3I
f4dHOH QQ：2987619807 z5<&}Vh;P
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