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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟
Xm4CKuU@ 3?E&}J<n 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ^MmC$U^n
CWO=0_>2 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Se!)n;?7Sw
FhIqy %X 要求工具箱：光栅工具箱 |7^^*UzSK:
dS`Bk6 Y 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 J@9}`y=K K"2|[ 5 一、模拟任务： D0;tcm.$ 二、光栅的描述 jvVi% k
!D o,>gO 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 7);:ZpDv%L
`Vq`z]} 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 5v^L9!`@%v
t?^9HP1b_ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 o;[bJ
Z\^x
{5%/ T, 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” $cVi ;2$p
eu'1H@vX( 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 jLcHY-P0V
T[Pa/j{ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 G*\h\ @ XV'fW~j\ MF[z -7 1'G8o=~ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm J Lb6C 52 Ih1|LR/c 0W>9'Rw 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Napf"Av CQODXB^ cbKL$| 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 6(sIYZ2yq I"xWw/ Ec Y(GN4@`S 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm J< JBdk _ ^7|!(Sz wUi(3g|A 5. 参数运行 GLKO]y
r dj@u47 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 OYf{?-QD
,2 WH/" 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 v9}[$HWx #B\=Aa`* 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 i ilyw_$H EaS~` s0{
NsK> DM3B ]Yl 7. 总结 U
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N_C_O $j 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 >uHS[ _`nM
{ U
<tc4^ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 6CNS%\A
NcL
=z o< 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 >,h1 N$A+ zj]b&In6;
~q% QQ：2987619807 B[NJ^b|
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