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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 h~#iGs jG1(Oe;# 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Gi)Vr\Q.
^os_j39N9 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 @ZI Sv'F
J_7 w _T/ 要求工具箱：光栅工具箱 ]zYIblpde
Z' i@;^=A 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 !
yJ0A m> |&4A"2QN 一、模拟任务： Z#}sK5s 二、光栅的描述 |Z>-<]p9g
& R_?6*n 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Z Qlk 5
d dgDq0N1j 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 |Y Lja87
_WNbuk0 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 2B4.o *Q\
B :%Vq2` 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” xuUEJ
a&
)Ra:s> 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Mst%]@TG
P7w
RX F{ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 P6_Hz!vE vE fj3+e N'y<<tTA a
&tWMxBr 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm - ;gQy [U mP*$wE9b,: \HB
fM& 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm t0f7dU3e;L :WRD<D_4 #;8)UNc)} 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm :? )!yI L--
t(G J%"5?)[z 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm [.>=> KJ _ -,/7u 3 x=H{Rv 5. 参数运行 X QLP|v;"
yhg GvyD 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 P
DY :?/
fYuSfB+< 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 o U )(/ Y[e.1\d' 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 _1?u AQ3, Pt85q?- > f&$Bjq KAZ<w~55c 7. 总结 07SW$INb
>h8 m8J 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 W!HjO;
K^o$uUBe 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Mo@{ 1K/9
gH7 +#/ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 I._ A /
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^; /~ $ QQ：2987619807 wDi/oH/H
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