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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 :j |IP)-f iwz 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 nJ4@I7Sk;
?
J} r 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ZyOv.,y
7Dnp'* H 要求工具箱：光栅工具箱 &l$Q^g
J q{7R 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 +_XmlX A3Z M/x >51< 一、模拟任务： J N^ &S 二、光栅的描述 :m86
hBE.
Hf'G8vW 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 *Av"JAX
[."[p Y 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 8WE{5#oi
zR!o {8 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ?JL7=o
X
Kp+CH7I* 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” DAo ~8H
UobyK 3.% 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ThPE
0V
+ OV')oE 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 OD' ]: ]Jh+'RK\# ["\;kJ. *:i1Lv@ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm r kiT1YTY JS}{ %(B 7~#:>OjW 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm LZMYr !`!| Zw +[SgO}sF 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm OL_{_K(w 0%!rx{f#\ -
0?^#G}3} 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm '`1CBU$ :e o {'16:dTJ 5. 参数运行 -W,}rcj*|
2lL,zFAq 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Kx_h 1{
]kG(G%r|M 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Be+0NXLVy <0S=,! 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 fwzb!"!.@ 64: fs?H p }[ zt#v Gycm,Cy 7. 总结 []s^
bI|2@H V2 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 0a"igq9t
&~CY]PN. 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 _HhbIU
!'LW_@ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 eW| ^tH J*9$;
<V>dM 4Mkr QQ：2987619807 G9JAcO 1
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