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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 =jG." o ,k:>Z&: 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 o|s|Wm x>u
gazX2P[D 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 O+DYh=m*p
/5>A 2y 要求工具箱：光栅工具箱 VB+_ kR6Zv
i|!R*" 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 (f"LD8MJ/ $U^ Ms!'L 一、模拟任务： p{0rHu [ 二、光栅的描述 *MCkezW7{
(x[z=_I%` 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 2-#&ktM%V
6099w0fR` 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 >bw q
,F|49i.K 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 8hX / ~-H
\VAS<?3 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ~NK|q5(I
$C{-gx+: 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 %F0.TR!!n
qHYoQ.ke 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Uo:=-NNI f F9=zrW l8DZ2cw] NF*Z <$ '% 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Lnltt86 Jj+Hj[(@ |s !7U 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm [:{HX U7y e yByAT~W, A9y3B^\* 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Kl :x?"g) {@X)=.Zf ~2 J!I^ J 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ? C6t Yd [jKhC<t} y>JSo9[@ 5. 参数运行 7Y1FFw |
KA9v?_@{ F 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 h}GzQr y1
]M&KUgz 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 @t#Ju1Y 6PRP&|.# 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 :T/I%|;f U!524"@%U` ALp|fZ\vp SO JkeN 7. 总结 ! X<dN..
J+Zp<Wu- 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 AKUmh
hyC]{E 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 >+ku:<Hw%.
5wm(gF_t 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 vqJq=\ .m Jw
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|Y;[)s =q QQ：2987619807 .vtV2lq
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