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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 u_$Spbc]/ r\|"j8 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 oXqx]@ 7
&oDu$%dkT 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 `]<~lf
"C+Fl
/v 要求工具箱：光栅工具箱 D&8*4>
y(Q.uYz* 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 l3kBt-m P"c7h7 一、模拟任务： yMf["A vG 二、光栅的描述 uC1v^!D
e#4 iue7U 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 j<i: rk|
` ln= D$ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 v=+> ids
&E!-~'|z 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 \ Eyy^pb
[zl"G^z 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” R<1[hH9"o
B4 # gT 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 4buz x&
5W? r04 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 rW9ULS2 d |Oe$)(`|h <1E* wPm8 # 'kVW{ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm [2ZZPY9?Q j [y +'O C8
2lT_7" 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm D,'@b+B[ <}Rr C#uiA 1He'\ /# 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ehls:)F A *hc
w {2%@I~US 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm _6F j&mw(u YQ<O .E las|ougLy 5. 参数运行 1)wzSEV@
:. a}pgh 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 :ug j+
o@G
<[X|ke 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 'B4j= K* X2p9 K C 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 'm+)n08[ Z"G@I= Q( g4*]R>f Y>[u(q&09O 7. 总结 l]o&D))R
{ sL(PS.z 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 9 l :Bum)9
P$i?%P~ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 `l95I 7
c o!#. 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ro4 XA1 9rsty{J8
g&"__~dS-F QQ：2987619807 j5;eSL @ /
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