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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 N_^s;Qj T**v!Ls 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 6(as.U>K
Kg>ehn4S@ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 w0(1o_F7.
75?z" i 要求工具箱：光栅工具箱 iB0#Z_
I2G: jMPy 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 zvAUF8'_ KYN{Dh]- } 一、模拟任务： RP|/rd]-k 二、光栅的描述 G>f2E49BXt
Q -7C'| 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 }?KfL$@$
%S9YjMR@ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 !gbPxfH:6
Oiz@tEp=_ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Z36C7 kw
.m/$ku{/J 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” \!Cc[n(f#
/t"F Z# 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 glo Y@k~
fqp!^-!X 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 m?)R EE 3I):W9$Qp !]*Cwbh.
u @B#\3WNt 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ExKjH*gn O~~W P*N MIF`|3$ , 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm qGVf! R %!X9>i> 6zR9(c:a~ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm g*]/HS>e<G CaE1h9 6#gS `X23Y 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm aTL u7C\-e ZlG|U]mM5 Q!*}^W 5. 参数运行 rU!QXg]uD
ta+MH, 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ]/ffA|"U`
XV %DhR= 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 U_[<,JE }"x#uG 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 dgp1 B\ d.3cd40Q $s.:H4:I ( <KFA, 7. 总结 'nRoa7v(
{a9(
Qi 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ~;S
-g\ ;B 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 0aM&+j\q }
K{ ED mC 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 BL[ N ?%A9}"q]
A2 9R5 QQ：2987619807 SPN5H;{[]K
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