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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 [x9KVd ^d wQe_vY 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 n^z]q;IN2.
`J zp Sw 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 lTd #bN
&Q>k7L! 要求工具箱：光栅工具箱
c|M6 <}
Q A<Jr5Ys 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 h{ AII g=;% 一、模拟任务： P8>~c9$I 二、光栅的描述 ~ vJ,`?
B?4boF ?~ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 oW<5|FaN
5qr'.m 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 %] >KvoA
+n#V[~~8AI 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 @&1ZB6OCb:
nHm}zOLc 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” TNGU6j}oq
H`0|tep z 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ,QcF|~n
@7?#Y|` 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 '=Rs/EDME S ,Xnzrz c Uvz2TK Cq%IE^g< 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm *q()f\ cUA7#1\T= {buo^kgj`] 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm
hRs&t,{& kP-3"AC G G &4&-< 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm K?BOvDW"` h&-- ,A > i70w rW#k 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm EL (nDv 1(|'WyD i[?Vin 5. 参数运行 d4?Mi2/jF
/7}It$|nhy 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 /+@p7FqlE
#MRMNL@ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 cNM3I,o7 -( f)6a+H 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 @JyK|.b#0 nv@8tdrc !*oi!ysU;O v
8$>r wB 7. 总结 4`!Z$kt
g K[YQXfTy 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 U$_xUG
?XA2& 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Ry%Mej:
A'jP7 P 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 X pBj%e: 4}4Pyjh
%F-ZN ^R QQ：2987619807 m^GJuP LW
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