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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 -Q &@P3x H4j1yD(d 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 !nlr!+(fV
Sw5:T 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 F^S]7{
.rnT'""i<5 要求工具箱：光栅工具箱 gsl_a W!
Ajo IL 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 1& <o3)L: .yFO]
r1aL 一、模拟任务： oe0YxSauL 二、光栅的描述 l-S0Gn/'X
#f/4%|t: 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 9)o@d`*
'cQ,;y 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 $)BPt GMGo
NJV kn~< 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 hZ!kh3@:`
*c&OAL] 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” z(
}w|
8eYEi 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 *: :.Uo4O
tE < ?L 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 #y[omla8 @^ *62 ,2 +d+Zuh Fq5u%S 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm T?6<1nU) e6
x#4YH DS>&|zF5l 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm
-$I30.#
2oRwDg&7|
N&kUTSd 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm <>Dw8?O
YRr,{[e $xq04ejJ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 8oXp8CC . Dl ?a>I 3 }&3{kt 5. 参数运行 VmN 7a6a
"P O8 Q 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 M_.Jmh<&&
h z{-- 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 !E_|Zp]up UnYb}rF#% 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ,Z _@]D@ \%.oi@A aR('u:@jHi %#eQN
~ 7. 总结 =Y6 W
Qf
o?t H[ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 vCSC:
~{5v a 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 / x$JY\cq`
'@h 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Y~A I2H S ^bl w\;LB
_KxR~k^ QQ：2987619807 6Nh GTLI
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