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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 -R
\ @W q@ $M< 4Bqr 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Fsj&/:
q
m7eIhmP 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 u0KZrz
Vd>.fb\U 2 要求工具箱：光栅工具箱 eo52X &I
p[cL# fBz 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 .EZ{d $ 14DTjj 一、模拟任务： >^GCSPe 二、光栅的描述 M`fXH 3D
i/Lq2n3 ) 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 T*~)9o
2965 7k8 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 {u6fa>R&$
xt0j9{ p 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 %FFm[[nxI
gH55c aF< 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Tv)y }
n(xlad 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 rAw1g,&
lBZ*G 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 (NN14 K f^F#dA Xq!tXJ) h`rjD d 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm >Io7h#[u .p~;U|h" H[k3)r2 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm "Am0.c/ <@!kR$Rd CyDf[C)= 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm /l%q q*Ew lj*913aFh :I(gz~u6 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Nb^:_0&H@ dk`!UtNNRa <qY>d,+E' 5. 参数运行 #%tL8/K*
[4rMUS7-m" 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 &'\+Z
b/Q"j3 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 /O9EI'40) !sQ8,l0h 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 |o)
_= Fx :.df( 1(RL >*xzSd? \ U%\2drM&] 7. 总结 x99
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Y!$ z7K
1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 l%~zj,ew
TFPq( i 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 gdN p2b
XPTB,1g+f 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 &uW.V+ 3 .cog9H '
}"H900WE| QQ：2987619807 &B7KWvAy
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