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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ]c~yMA+]FZ vMB61 |O 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 = V2Rq (jH
Jz~: 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 fj;ZGbg-O
**L&I5Hhm 要求工具箱：光栅工具箱 9 e=}P L
V:Gy pY ) 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 \1jThJn zXx/\B$&d* 一、模拟任务： X2@Ef2EkM 二、光栅的描述 C[<}eD4bV
Ai1"UYk\\Y 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ce9P-}d
T2MC`s|` 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 A{
~D_q
dazNwn 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 3"7Q[9O j
e{@RBYX@+c 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” <7VLUk}
?@9v+Am! 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 AN Fes*8j
pOXI*0_g. 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 U- 9Aq NgD hdOB ywA vq T, \jwG*a 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm =|]h-[P' ]]P NYa UeO/<ml3>J 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ZKXE7p
i <#h,_WP* SYY x>1;8` 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Y7.+
Ma#| bO\++zOF 5G}4z>-]F) 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm =O }^2OARo V|MHDMD= Pp-N2t86#2 5. 参数运行 &SE}5ddC7
k9}8xpH 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 m"n74 cxS
t2o{=!$WH 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 o~ ~;I @KTuG ?. 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ~a ([e\~ T/3LJGnY }ssV"5M LeLUt<4~ 7. 总结 l<+ [l$0#
:hZM $4 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 bFG~08Z ,d
eTa_R O,x 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Hh 1_zd|
[<#j K}g 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 VvyRZMR =\O#F88ui
; ;,7Jon2 QQ：2987619807 (bb!VVA
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