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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 (<
:mM |FjBKj 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 +R9%~Z.=
& b!vWX1N 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 YK7 \D:
7x%S](m% 要求工具箱：光栅工具箱 Xn PJ C'
A%P 8c 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Z ~:/#?/ 5d%_Wb' 一、模拟任务： r)c+".0d^ 二、光栅的描述 #g F2(iK6
$v W^n4! 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 {uEu >D$8
8 NxUx+] 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 H E@-uh
6W] OpM 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 loR,XW7z
ZMP?'0h= 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ~d&'Lp[3
PIgGXNo 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 "k/; `eAP
GA(OK-WUd 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 .zQ4/ eSJAPU(D $^]
9 cO8`J&EK 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm }!eF
B,r5kQI4 $xLEA \s 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm l#tS.+B7 =VCi8jDkP 1 d=0q ?nH 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 7z Ohyl? r(PJ~8)(= 9cl{hdP{ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm f&=K]:WDe aIQr b <m~T>Q l 1 5. 参数运行 jQY >9+t
FAH[5VD r% 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ] ,!\IqO
U p_>y>x 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 }*xC:A%aS *U( 1iv0 n 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 5}<.1ab3V 9` OG +I^+k " E6,`Ld;c[ 7. 总结 .a
~s_E
=~,$V<+c
1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 (3 )C_Z
pA* D/P- 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ; :v]NZtc
jXc5fXO
N 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ]$* $0 e}{8a9J<%_
<1ztj #B QQ：2987619807 ##SLwrg
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