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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 @ ]:GTrs `BKV/Xl 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 GPU,.s"&(
y/6%'56uF 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 %b3 s|o3An
F */J`l 要求工具箱：光栅工具箱 >Byxb./*
-x0u}I 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 aiwKkf`\ ]=T-C v=t 一、模拟任务： ]^DNzqu=@h 二、光栅的描述 M@78.lP S
QMWDII&t 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 CUZ
;<Pn
A\ };^Y 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 x`g sD3C
)Vnqz
lI5 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 j21nh > d
z !:%Hbh= 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” KM ogwulG
t73" d#+ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 -_"6jU
<gbm
1iEe 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 "1%YtV5R{ 3YOYlb %j f" g-Hbl5 ,5HC &@ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm u: s[6T0 d{G*1l(X I<^&~== 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm <vUhJgN2/ "jMSF@lr gj-MkeI) 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 1o%E(*M4I a\?-uJ+ byetbt(IF 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm )r.4`5Rc Ht=h9}x"g G [$u`mxV^ 5. 参数运行 k86j&
.m_
tunjV1 ,] 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 4<Q^/-W
b rt1Kvu8( 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 2qxede AI\|8[kf0 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 bAZ x*qE= nN$aZSb` < k?jt f?|cQ[#t!\ 7. 总结 &R;Cm]jt
Q%
LQ P!Kg 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 q7u bRak
Y$&+2w,)H, 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 " -a CF
65||]l 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 6A,-?W'\ MclW!CmJ
U9eb&nd QQ：2987619807 }6!*H!
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