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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 1qe^rz| gj,J3x4TK/ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 :5{@*
b,R 'T+4[ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Sp,Q,Q4
E$Pjp oQTf 要求工具箱：光栅工具箱 BpG'e-2
`;CU[Ps?] 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 FraW6T}_ D!a5#+\C 一、模拟任务： KB R0p&MN 二、光栅的描述 |u r~s$8y-
s; 7qNwYO 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 F ^ t?*
V?59 .TJ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 -Q PWi2:k
(mIJI,[xn 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Cw&D}
Q@wq
}vc! 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” #pQ"+X
FP'lEp 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 pEj^ x[b`^
S<!_
u q 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 rHgdvD c qf`xH"$ }K80G~O2< #2R%H.*t 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm zk'K.!
`^ :LiD JF 4ylDD|) rO 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm C<t'f(4s`u 8J3@VD. b]<Hh U 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Ogke*qM 9jR[:[
<cv2-?L{ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ^b!7R
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+lg F/y6 0 \Yx.\X, 5. 参数运行 Ivt} o_b*
4:Xj-l^D 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 'uf2
nUo
c Z6p^ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Sm$j:xw < noh |/sPMD 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 0L0Jc, (F+ dxn0HXU r*N~. tFo ]bN&5.| 7. 总结 `e? ;vA&
?D(FNd 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 EARfbb"SG7
m c\ C 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 J7ktfyQ0W
BLwfm+ m" 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ;Lsjh# x\`R W 3 K
n4WSV QQ：2987619807 uGa (_ut
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