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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 m)V %l0 D/v?nW 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 cJMp`DQzc
,VI2dNst\ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 %AaZc=a[c
K 9]L>Wj 要求工具箱：光栅工具箱 ;O+=
6>W
F P3{Rp 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Ejmpg_kux XkDIP4v% 一、模拟任务： "\3C)Nz? 二、光栅的描述 Zcjh
Qhy!:\&1 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 g=n{G@ *N
$Y,y~4I 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 sFt"2TVr3
WUrE1%u 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Y7 Bm W+
H%pD9'q~ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” VkFMr8@|
m~04I~8vk 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 w$iQ,--
]n}aePl}oU 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 C c P OK2 LY-,cXm&| C~Hhi-Xl) .exBU1Yk@ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm 9 HB+4q[ \#4mPk_" ,oykOda:| 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm oR7 [[H.4 R:4@a ':H eSQkW 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm Bv<aB(c i\ <S ; 9U8 x&Z]P 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm }`kiULC'= ,OWk[ 0/ hr;^.a^ 5. 参数运行 ( <YBvpt4>
((C|&$@M 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 " i:[|7
BBM[Fy37!} 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 XwUa|"X6 0N^+d,Xt. 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 [0EWIdT*b rCwE$5
b UAPd["`)y OHi.5 ( 7. 总结 ulxfxfd
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eDRY 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 dzEi^*
(8
s> m2qSu 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ?<${?L>
lhHH|~t0 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 H, ]8[ qT< wn.~ Dx
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QQ：2987619807 ^#d \HI
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