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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 s9}V nNr lhhp6-r 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 XveG#oyiU
qECta 'b& 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 :p,DAt}
5qx$=6PT 要求工具箱：光栅工具箱 G9i?yd4n=B
{pW(@4U 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 \3 v}:E+3 S) [$F} 一、模拟任务： [X|KXlNfm 二、光栅的描述 a#:K"Mf.
d 1bx5 U 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。
[EU \-
S`?c s^? 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Ik74%x7G`
YXWlg %s 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 u4p){|x7s
U:o(% dk 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” gzD NMM
0"to]= 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 2 Sg,b8
-v7O*xm" 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ' Zmslijf dF/HKBJ B '"RKs] \a}W{e=FNT 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm k+F iW3- | & ]04 zL,B? 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 17{$D , P ($ l
t@j N N;'QiE 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm # +,O #X J`/\E] Pw h0Se5Z 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm *(sUz?t f~NGIlgR 4]$$ar) 5. 参数运行 6$|!_94>*)
9s}y*Vp 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 pZv>{=2hOS
9 L^:N)- 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 z1u1%FwOfM f^63<gqY 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 2'6:fr=R YzD6S*wb ;5fq[v^P: x.OCE` 7. 总结 BRg(h3 E D
Z7 t-{s64 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 aJi0!6o y
uqg#(ADy?R 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 BCK0fk~
}dt 7n65 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 g,N"o72) .% rB-vO:g
P}Ud7Vil;l QQ：2987619807 f4T Ny^-
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