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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 VN[C%C oJa6)+b(3 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 `Fa49B|`D
_Z?{ &k 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ^ C VhV
kR$>G2$! 要求工具箱：光栅工具箱 D,q=? ~
jXA!9_L7 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 !$Aijd s5 ;, P-2\V/ 一、模拟任务： DTmv2X 二、光栅的描述 j(^ot001%v
2 gz}]_ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 +13h *
Y$xO&\&) 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 .{sKEVK
J$6h% Eyo 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 w}+#w8hu
S^q)DuF5! 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 7'u<)V
j1 _ E^ 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 7pM l:\
r@N 0%JZZ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 !w iW#PR h 'VN& T, = | >CB A{\#.nC/z 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm @(>XS Th9
aEUC VD[x}8ei 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm @sQ^6FK0G 1H Qh%dZZ fxfzi{}uj 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm uC\FW6K=m &y`
MDyXz [ Du@go1C 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Ow 7NOhw Rs+rlJq +5J "G/f 5. 参数运行 k. bzh.
w-2&6o<n- 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 mF!/8qk
) aoB -Lu 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 D|-^}I4 f[ ,9WkC 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ?^Sk1 7G C${{&$& y,qP$ 5xiq 5dffF e 7. 总结 rM<lPMr1*
B$~oZ'4v 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ~wnTl[:
W{E2 2J} 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 z;1y7W !v
p7(Pymkd 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Gvo (iOU .DSn
H6O
Xx{ho 4qq QQ：2987619807 >Gbj1>C}
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