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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 QRZTT qG "k o?att~ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 8j +:s\
p9 ,\ {Is 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 9k+ &fyy
J (&M<<% 要求工具箱：光栅工具箱 ny_ kr`$42
OG?j6q hpl 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 -f;j1bQ vb. Y8[ 一、模拟任务： L!b0y7yR 二、光栅的描述 # pjyhH@
"K$ Wh1<7 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 8&A| )ur4
G5nj,$F+ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 :*&9TNU E@
> ?{iv1 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 CWe>jlUQ
;'Vipj 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 6=g]Y!o $
Jyz$&jqyr' 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 E
^SM`
mLk6!&zN 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Fb{`a[& kSDa\l!W] _Dcc<-.
G_, t\ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm %L \{kUam ^2;(2s #SihedWi 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm U ygw*+ fCt \2);a l eb^,1/D6 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 5Du>-.r {sfmWVp 4<3?a l& 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm |<$<L`xo e sQ>B_Y! A"bSNHCKF 5. 参数运行 =N@)CB7a
Vr/` \441 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 k qY3r &
2*-ENW2 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ` r'0" V SP
D207 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 '!yS72{$2 =UB*xm%! hk5E=t~& . n)!ZN 7. 总结 DQ n`@
rKy-u 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 b5n]Gp
68J 9T^84 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 35%[D Ukb
) 4'x7Qg/ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 +C'TW^ StdS$XW
4(Cd QQ：2987619807
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