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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 C1EtoOv K JRMM? y 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 A@*:<Hs%
US [dkbKo 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 5kNzv~4B,;
LPYbHo3fq 要求工具箱：光栅工具箱 )~6zYJ2
Ez~'^s@ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 6$fYt&1 4 1a. #o 一、模拟任务： J [~5U~F 二、光栅的描述 R9rj/C o
? ULo&P[ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 YXurYwV
Mb1t:Xf^g 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Wo~vhv$E
l7{o i! 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 /walu+]h
vsWHk7 9 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” )Or .;
*'Y@3vKE 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 %ek'~
cRd0S*QN2 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 [%B f<
J< $;M:TpX h7*W *Bd @yXfBML?] 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm <<](XgR( U7uKR v9 B+C );WQ, 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Uy
? g.c8FP+ VvFC -r,=G 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 0;4t&v 7 #_ Z$2L"U Uw,2}yR 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm OouP j@r b^ D$jY R 8rfM?" W 5. 参数运行 x3 qW0K 8
/!^&;$A' 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 o9xlu.QL{c
#ET/ = 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 )ZrS{vY 3d<HN6&U 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 &B!
o, qp E0%~! b / XnhmqWm% jM-)BP6f4 7. 总结 h~{aG o
c wg
!j!l 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 V[-jD8=' 3
(b'B%rF O 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 J!'@ B d
<mi-}s 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 OHiQ 7#y .9md~j:o^s
3}|'0(hYL QQ：2987619807 % IC73?
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