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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟
v|+}>g EN@LB2 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 b:fy
x)<5f| j 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 X ;_0"g
qmUq9bV 要求工具箱：光栅工具箱 rN#ydw:9
K]dqK' 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 wP3PI.g-g Zrfp4SlZZ 一、模拟任务： g3{)AX[Uy 二、光栅的描述 ]*a)'k_@[
2D-ogSIo 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 U,/NygB~
Db({k,P'Y 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 QC>I<j& `!
D[{p~x^ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Q6?+# }
Avw"[~Xd 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” u&l2s&i
vj0`[X 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 /:dVW" A|
*|AnL}GJ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 GV)#>PL #FF5xe :0ND0A{K: ,
6\i 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm THQ W8 V IDBhhv3ak k 1 >%wR 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm &:L8; m s Bp| Lo "%ag^v 9 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm XboOvdt^| lj %8(X u R@>R@V>c 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm !Dkz6B* n]4)~ZIAU d T/*O8 5. 参数运行 S|;a=K&hS
xTD6?X'4 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 P>euUVMPz4
.}ZX~k&P 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 9}X3Q!i Fb eFXxkWR) 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 LYh5f# =B1t ?( " b7v] g]* |NtT-T)7 7. 总结 [k-7Kq
-j3 -H& 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 K1O/>dN_\O
~QBf78@Gf 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 0x# 6L
^1,]?F^ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 %9mB4Fc6b) IvIBf2D;Q
l[G ,sq" QQ：2987619807 ( ]1le|+
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