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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 v^fOT5\ z
5+]Z a~ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 [_b='/8
,D , f9 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 5O
;^Mk|
*%'7~58ObS 要求工具箱：光栅工具箱 $i~`vu*
C /XyDbH 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 gEHfsR=D6 BrMp_M 一、模拟任务： 5G;^OI!g 二、光栅的描述 ky$:C,1t
9= $,] M 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 G;c0
%uqD\ `- 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 'xoE
[0!
7Sq{A@ ET 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 f ?zK "
$'{`i 5XB 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 00a<(sS;
6v O) s!b 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 :k(t/*Nl3
9~%]|_ ( 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 P3ev 4DL _|wY[YJ[ >E ;o" )6 0f 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm @ZR4%A"X4 {)9HS~e T ~V"cLTj" 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm (`.qG
&6p X3L[ y\ <;0N@
4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm s1 ^mk] exEld V3~a!k 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Y1aF._Z $o $Ev@mi JKi@Kw 5. 参数运行 :F
w"u4WI
) a\DS yr 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ) wo2GF
!^bB/e 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ]op^dW1;0_ ],}afa!A 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 C\^< v& AH 87UkNL 5OW8G][ ?" <r9S|[O 7. 总结 +9
p `D
XvkI +c 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ;n7|.O]*
q|$>H6H4b 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 !0csNg !
} .H Fm'p 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 BOiz ~h6 Xt,,AGm}
&G@-yQ QQ：2987619807 r~G]2*3
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