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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 m 8P`n \T^ ptj(0 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 "?s
mN1n/L Ni 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 bA/'IF+
A{ . A1 要求工具箱：光栅工具箱 yjIA`5^
B[;aNy d< 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 r!/<%\S :[ll$5E. 一、模拟任务： ZO]P9b 二、光栅的描述 P r#uV3\
c6MMI]+8 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 N$<R6DU]K
1 ( rN 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 U,Z7n H3_
4 Xe8j55 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 / q?g py
,(z"s8N 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” # 2?3B
\?"kT}.. 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 F_nXsKem
NPLJ* uHH 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 z#/ "5 l
y`8jz,&. c2fw;)j&X : d wP 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm %8?XOkH) $dF$-y<[0 ricL.[v9S 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm +w8$-eFY JHg
y&/ R ^@ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ?{wD%58^oG DJ|lel/' T
(?
CDc+ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 5>aK4: S/ !J A//{? o~26<Lk 5. 参数运行 Koc5~qUY]
05o<fa 2HE 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 RhkTN'vO
"&@{f:+ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 z+<ofZ(. 'CCAuN>J 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 B{ >x [R<>3}50Y 3|bbJ6*.< @x_0AkZU 7. 总结 L)" CE].
iKG, " 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 ,6S zW+L7
yacN=]SW5 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Em(Okr, 0
FA{(gib@9 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ;Swy5z0=ro uj+{
tc
%<<JWoB QQ：2987619807 1wBmDEhS
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