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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Ld'EA BM FW5*_%J 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Z@8M hJ
{ m>~` 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Udg &
eEF
B1up ^ (? 要求工具箱：光栅工具箱 oa ?!50d
.) ?2)Fl 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 oT$(<$&< I}I}K~se* 一、模拟任务： :K!GR 二、光栅的描述 zLE>kK
0#2T0zk 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 -%7Jj;yA
_m) gO/02A 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 &zaW"uy3T
dVjcK/T< 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Xq} n ^W
<yPq;#z(! 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Z{8exym
nph7&[xQI 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 -k|g04 Q ?
~5XL@j I^ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 \#IJ=+z uyS^W'fF Kq G/a '=Ip5A{S / 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ~jgN_jz
$\JQGic` XSL
t;zL: 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm x Iq"[?m 2<\yk y ePPp )= 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm g z)wUQ|W
0& SrKn Rd;~'gbG 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 3f7t% 0|w KR|z W =%# $HQ= 5. 参数运行 NL>[8#
p8}5x 2F 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Cs6z v>SR
Fc{6* wtO 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ?
A^3.` D ^T7pO 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Ej {eq^n ;?Y ` e a_}BTkfHa |
xErA 7. 总结 .AmM%I4K
zdpLAr 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 Al-%j- j@-
QW Q6j#` 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ~%!U,)-
@gVyLefS6g 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 rc{[\1 -N piM11W}|/
s R0e&Y QQ：2987619807 xYkgNXGs5
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