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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 x[mh^V5ld S7j U:CLJ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 t:n$9WB)
N'Vj& DWC 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 PNH>LT^
iB + _+A 要求工具箱：光栅工具箱 J7@Q;gcl:
ON"p^o>/_? 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 L$^)QxH7 {FR+a** 一、模拟任务： !\\OMAf7 二、光栅的描述 S 9;FD 3
Z9i~>k 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Lm+E? Ca
Z<' iT%6+r 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 iYGa4@/uM
/!U( / 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 dRUmC H
umt(e:3f5 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” v!AfIcEV
[d=BN ,? 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 bVr`a *EM
EjP)e; 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 r(<91~Ww Gn;^]8d AR c &_' evZ8 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm u $qazj -i]2 b f'Rq#b@ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm lYU? j|n KO N^ h~ q5GhY!9 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm h<7@3Ur xPJ @!ks9 W r+1e1[ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm uJa.]J~L= ;aH3{TS =FQH5iSd 5. 参数运行 %K0Wm#)
e @PY(#ru 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 g FXz:!A
)Jh:~9L%=' 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 >^g\s]c[ $<L@B|}F) 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 0|,Ij $ Ac\e>N )U{\c2b fIn^a 3TV 7. 总结 `2 y?(BJp
ITD&w g 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 3S
@)Ans
&td 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 WsT
>|mZu)HIY; 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 [4+I1UR` !1l~'/r
v3wq- QQ：2987619807 O" wo&5b_
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