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    [分享]粗糙表面光栅的模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-17
    案例87.01:粗糙表面光栅模拟 dQ6n[$Q@N  
    4%8}vCs  
    即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Ywj=6 +;  
    b`NXe7A  
    关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 K[wOK  
    DCJmk6p%0  
    要求工具箱:光栅工具箱 z (N3oBW  
    E8TJ*ZU  
    相关应用案例:案例090.01,案例246.01 +`EF0sux  
    !]%M  
    一、模拟任务 IETdL{`~  
    二、光栅的描述 \m.ap+dFa  
    L<kIzB !  
    1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 }Pm>mQZ},  
    ZS&n,<a5L}  
    2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 NDw+bR-  
    49)A.Bh&!  
    3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 'bH',X8gF  
    |G2hm8 Y  
    4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” \5+?wpH  
    _xg4;W6M=  
    下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 i\P?Y(-{  
    hjuzVOE|W  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0  R^%uEP  
    Qfhhceb6#J  
    K3eYeXV  
    [C GFzxz$  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm qz|`\^  
    87/!u]q  
    i|'M'^3r  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm z|Z<S+=f  
    GZL{~7n  
    ?)B"\#`t  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm -29 Sw  
    Hx}K w S  
    -Jo8jE~>V  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm jzuOs,:R  
    CgLS2  
    V:M$-6jv  
    5. 参数运行 Nhh2P4gH  
    ^y@ RfM=A  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 =F!DwaZ  
    GP"(+5  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 oB9t&yM  
    8\Y/?$on  
    6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 cz8%p;F:  
    =AFTB<7-^  
    eqt+EiH   
    Jjb(lW  
    7. 总结 j8@ Eqh  
    jB8n\8 Bs  
    1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 a:C'N4K  
    $#4J^(I*:  
    2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 f%LzWXA  
    u-W6 hZ$  
    3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 >Z#=<  
    ,2F4S5F~rC  
    Nw'3gJ:  
    QQ:2987619807 Kt WG2  
     
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