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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 L
u'<4 R o Z ^,* 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 5&O%0`t
KY%{'"'u 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 adAdX;@e`
zqBz ataR: 要求工具箱：光栅工具箱
sFnR;
g"(@+\XZH" 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Tj{3#?]Ho |lZp5MOc 一、模拟任务： L]u^$=rI 二、光栅的描述 &Yc'X+'4
#TC}paIpj 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 w7&.U qjf
YDj5+'y 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 = ^Vp \
iz{TSU 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 (|rf>=B+H
. UH'U\M 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” DEt! /a{X
.N@+M s3 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 TbN{ex*
SynRi/BRmw 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 U_ j[<.aN) ewHs ]V+U r|
)45@ DdU w~n, 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm o4J@M{xb_ -sZb+2tDa nMfR< %r 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm {
0&l*@c& ,<)D3K< j"aY\cLr t 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm BV
}CmU&DA q-ko)] 'Cz*p, 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm F& m9G >r &1?6Q_p6c dUt4 ]
ar 5. 参数运行 x[&<e<6
4>LaA7)v 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 U zc p
1q3"q Y H 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 zy nX9t hayJgkZ ' 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 VB#&`]r do 8iOHav4 c5b }q@nH 0t}v@-abU 7. 总结 8q9ATB-^>
1X5Yp |Ho 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 6 M _: D
:z&kbG 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 v'b%m8
P=KhR&gwV~ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 %7P]:G+Y\ |+::s L\r
UZrEFpi QQ：2987619807 *Egg*2P;"Q
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