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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟
v;(k7
t'[`"pp= 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 F#a'N c9
+ S@[1 N 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 cH 6J:0>W
~cSE 9ul 要求工具箱：光栅工具箱 b1EY6'R2
K_%gda|l+ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 j%i6H1#.Z p8MN>pLP%
一、模拟任务： DDe`Lb%% 二、光栅的描述 0~BZh%s< (
XA\wZV
|{ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Bh;N:{&^Eu
@PV3G
KJ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 fvRqt)K s
|xrnLdng0R 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Bw>)gSB5$k
"Ug+# ;}p$ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ,6aF~p;wI|
wZt2%+$6m 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 x{S2
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f. 9u 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 7GRPPh<4 d(C5i8d '^(qlCI
q ^6l`JJ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm x5b .^75p$ 3*N0oc^m (#nB90E{* 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm m2[J5n?zLL Lc0=5]D vw
:&c.zd 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm |}Z2YDwO/ 3[<D"0#}, 6foiN W+ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm "Iacs s0; m}'!W`< c"P:p%\m&u 5. 参数运行 _% i!Ly G
@ssT$#)$! 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 TP mb]j
Se > v|6 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 &3:<WU:U 5 YLc4z* 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 " : V@AT V6_~"pRR= s?PB ]Tr V5p->X2# 7. 总结 oo|Nu+
5:%`&B\ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 XV1XzG# C
I2z6iT4nB 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 NMESGNa)z
7,Y+FZ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 UQjYWXvi bSa]={}L(
G )&!f)6 QQ：2987619807 nI/kX^Pd
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