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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 'n no) kQ" b+hY^$// 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 xp k|?/6
Q'VS]n 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 uz#9w\="
;GAYcVB 要求工具箱：光栅工具箱 8{YxUD
-{h[W bf 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 TG9)x|! UQ) }i7v 一、模拟任务： #O
WSy'Qnt 二、光栅的描述 "J#:PfJ%
Q [{v U 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 EH ZSM5hu
%8Z,t+' 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 /HRaX!|E#
8(}sZ)6 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 :m\KQ1sq
1%,Z&@^j 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” f<wgZM
g$ b *# 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 : [y(<TLw
hbeC|_+ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ho1F8TG= ShpnFuH >$DqG$D F
4/Uu"J: 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Sg-xm+iSDt M lFvDy ~<aB-. d 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm nQ\k{%Q dK: " "> 3@<f> 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm cy 4'q ?r dI-5% Um AX+d? M 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm >9`ep7 .TC
`\m V i1\2lh $ 5. 参数运行 p( *3U[1
{O) &5 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 1!3kAcBP
W1 Qc1T8 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 F/sBr7I $8 k_M 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 T;@> O^ Wi^rnr'S s SWpUVZ yd ?LI9F7n 7. 总结 yU,xcq~l
:N*T2mP 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 : !3 y>bP)
Bq@wS\W>b} 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 K/`RZ!
vc #oALc& 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 a}fClI-u sG2 3[t8
X vMG09 QQ：2987619807 /T[ICd2J
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