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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 dQ6n[$Q@N 4%8}vCs 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Ywj=6 + ;
b`NXe7 A 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 K[wOK
DCJmk6 p%0 要求工具箱：光栅工具箱 z (N3oBW
E8TJ*ZU 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 +`EF0sux !]%M 一、模拟任务： IETdL{`~ 二、光栅的描述 \m.ap+dFa
L<kIzB ! 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 }Pm>mQZ},
ZS&n,<a5L} 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ND w+bR-
49)A.Bh&! 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ' bH',X8gF
|G2hm8
Y 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” \5+?wpH
_xg4;W6M= 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 i\P?Y(-{
hjuzVOE|W 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 R^%uEP Qfhhceb6#J K3eYeXV [C GFzxz$ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm qz |`\^ 87/!u]q i|'M'^3r 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm z|Z<S+=f GZ L{~ 7n ?)B"\#`t 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm -29 Sw H x}K
w S -Jo8jE~>V 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm jzuOs,:R CgLS2 V:M$-6jv 5. 参数运行 Nhh2P4gH
^y@ RfM=A 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 =F!DwaZ
G P"(+5 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 oB9t&yM 8\Y/?$on 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 cz8%p;F: =AFTB<7- ^ eqt+EiH Jjb(l W 7. 总结 j8@ Eqh
jB8n\8 Bs 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 a:C'N 4K
$#4J^(I*: 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 f%LzWXA
u-W6 hZ$ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 >Z#=< ,2F4S5F~rC
Nw'3gJ : QQ：2987619807 Kt WG2
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