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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 mk~&>\ 4`)`%R $ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ;g?oU "Y M
/B.\ 6 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 f;!1=/5u-
%Ui&SZ\ 要求工具箱：光栅工具箱 1`)ie%=
lZ.x@hDS 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ?wt%e; bccJVwXv 一、模拟任务： `*mctjSN 二、光栅的描述 "toyfZq@
<k-& Lh:o3 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 0 %+S@_|
58\Rl 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 FPE[}
Qu,W3d 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 B!0o6)u'
?l W-NPr 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” lM`M70~
=kH7 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 5+\[x `
#|k;nFJ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 .I$ Q3%s |b7 v(Hx j|gQe .,1 w vBx]$SC 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm h[b5"Uqj }R4%%)j(Vj u&yAM Wl 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm };6[Byf [* ,k Wjc1 EW!2x 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ~Mbo`:>(4v :@x 24wN/ = Ryh @X& 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm s\y+ xa: T;K@3]FbX 4Xi
_[
Xf 5. 参数运行 ^
c pQ*Fz
Wd#r-&!6 j 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Ss6mN;&D
&6<>hqR^ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 t0h @i` 1Q"w)Ta
6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 -9TNU7 ^ ^kJ(bBY -x)Oo` x O?w 8 *d 7. 总结 |YCGWJaci
vVB8zS~l
, 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 IaMZPl
y|X</3w 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 "#1KO1@G
qn)
VKx= 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 "[M,PI!B d S]TTU1
Dx`-Kg_p QQ：2987619807 -kFEVJbUyc
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