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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 -%)
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,6Q-k4 _ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 HWOH8q{f!
FN E mGz/4 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 PuCA
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R >&/n/l 要求工具箱：光栅工具箱 u*N8s[s'
t+J6P)= 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 xU<lv{m`D /mu4J |[[ 一、模拟任务： dKpa5f7 二、光栅的描述 :? k=Yr
Q 9< _ :3 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 NYvj?>[y
q:sR zX 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ScoHtX3
Z@/5 ~p 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 &r u0i@?)
Y{tuaBzD 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” V <pjR@
k k+8NwM1 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 ZhaOH5{9
(k&aD2PH 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 !OgoV 22 Lo 9?,^S Ib2pV2`h( .Kwl8xRg 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Y g?{x@ x's-UO"^ !I_4GE, 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm f"^tOgGH $7d"9s\$" ;g]+MLV9 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm r'\TS U5! 6|}mTG^
|?A-?- 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm D / UGN+ h
cXqg *$D-6}Oay 5. 参数运行 =
g}yA=.
zUqDX{I8 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 ht9b=1wd%s
gwNkjI= , 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 m5{SPa,y `oBzt |f5 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Kjw\SQ)2~ qDAjW)w
Jp lZ_k307 UI;{3Bn 7. 总结 \/v$$1p2
[=+ / 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 IhLfuyFWu
I#U44+c 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 eVXbYv=gJ@
CI{x/ e^( 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 y k2j&}M :TI1tJS~*
{+Yo&F}n QQ：2987619807 h[ T3WE
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