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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 iM{UB =C =B tmi 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 hPgDK.R'
$_b^p= 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ~Is-^k)y
* 2s(TW 要求工具箱：光栅工具箱 _3 3YgO
Y<9Lqc.i 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 b5d;_-~d _U/C G<n 一、模拟任务： }[8Nr+y 二、光栅的描述 `KzNBH,W
`=rDB7!$yL 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 i 79;;9M
e6igx 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 zHW}A
`Rz
:} 9Lb)Yp 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 WbDD9ZS
PvB-Cqc 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” d@,3P) ?
? &GV~DYxA 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 + q@g
LFV',1+ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ?^W`7H F%0 \' ;zD-MX \)m V2r!% xyc`p[n & 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm S#l6=zI7^R '*,P33h9<! i>n)T 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm r-k,4Yz ~q05xy8 VA0p1AD 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm @I,:(<6 X6lUFko Af{K#R8! 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm mzh7E[S_,i J|GEt@o3 8ECBi( 5. 参数运行 !JC!GS"M5
]@bu%_s" 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 cl3Dwrf?
5fVm392+ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 lH8e?zJ q&N1| f7 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 " .:b43Z F R9*WI
H`028^CH$ G0VbW -`O 7. 总结 Zn 9ecN
S& `iEwG 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 4x%R4tk
<fm0B3i? 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 js<}>wD7<
? IHa>f: 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 q"sD>Yh & *)4 `"D
:k*3? *'K QQ：2987619807 n:d7 Tv1Z8
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