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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 *.K}`89T XCt}>/"s\h 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 }ShZ4 xMz
/Ia#udkNMp 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 1Ju{IEV
Oi{jz P 要求工具箱：光栅工具箱 M2m@N-+R
czT$mKj3 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ?^6RFbke+ 3|~(9b{+ 一、模拟任务： {X< t Uco 二、光栅的描述 v0HFW%YJ^J
AAs&wYp8Yh 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 L1 J"_.=P
^h'
wZ7-\ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 %]:u ^\7
)v' DQAL 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 Uyv FR @
/*8"S mte 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 6T)D6;@L
")8wu1V- 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 g#H#i~E^
UZXnABg,J 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 o05) I2 "Z,'NL>& +nZx{d,wt =>ignoeI 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm #LcF;1o%o2 PInU -"gG 7kj#3(e 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm a P2 ) |*HkdF` #N7@p }P 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 8+lM6O ~! T?Hs_u { F2lTDuk>C 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm eB5; wH yn` H }@`k :+en8^r% 5. 参数运行 Bg Uf:PT
c:4 i&|n 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 LzP+l>m
YY '46 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 He~) i)co OZD nU6 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 4E<iIA\x a%V6RyT4qW 1s/t}J~zZ 4 8W$ , 7. 总结 ~#pQWa 5
=c[9:&5Q 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 lN - vFna
'M VE5 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 s< h]2W
Z vM~]8m 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 .SAOE'Foo Mj2`p#5wKh
k><k|P[| QQ：2987619807 x2%xrlv<J/
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