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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Qkw _ 9 N%u4uLP5k 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 5Z#(C# DQ0 UY 所需工具：Grating Toolbox Basic '[HU!8F $:onKxVM 相关Tutorials：G.001; G.014 kb ~ 9/)~g 建模任务 3jto$_3'w F#qc#s 理想平面波照射 2o W'B^- DLe>EU;vS ]J/ ;Xp  \rS-}DG i=f hK~Jd VjZb \
d4 镀膜倾斜光栅 z@jKzyq 目标平面 eq9qE^[Z& U-{3HHA 周期：10um 5D3&6DC H 厚度：10um jDj=a->e^ 倾斜角度：20度 'l-VWqR- 4r7a ZDVA\ 光栅的参数 +|4olK$[ /~?[70B }E —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 B\;fC's+ 4(,X. GVY/ —填充因子 2—后面的介质 xz7CnW1 —膜层厚度 3—膜层材料 ;B :\e8 —光栅厚度 / u"Iq8QA DnF | wS 7a. iT-*  X'2%'z<
Fg2/rC:_ Y&i&H=U 设置层数和转折点 -W|~YK7e $u)#-X;x D {4]c)>  2 设置层数和转折点以确定膜层 ItAC=/(d _e|-O>#pl 5?E;Yy A 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 sq8O+AWl X{h[ V:g XP1P 实现可编程光栅 `_J>R Z/;8eb*B7 ;*20b@  7?
="{;
=Q!V6+}nY^ m x2Ov u 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 8,B#W#*{  M%Q_;\?] Jd33QL}Hj 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） n+Ng7 hXx:D3h UXHtmi|_: %V-Hy ;V  SQJ4}w>i 8:
VRq 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H.[( `wi!I  Mo4igP 3E8 Gh>J_ 2 双击Data Series Diagram p q]>Ep uN$ <7KB" 采样结果 pEb/ yIT"  qqu ]r
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Q1 DiEg g} I{-
QQ：2987619807
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