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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 4g+o/+6!4 ocj^mxh =O 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） q] '2'"k _nIt4l7 所需工具：Grating Toolbox Basic <a(739IF e1H2w?
s 相关Tutorials：G.001; G.014 T
mH5+ 建模任务 *)T7DN8 DPWnvd 理想平面波照射 NV18~5#</ &A&2z l %# pq,8z= Uf  V4?]NFK ;+~Phdy 4=' /]z 镀膜倾斜光栅 1{CVd m<9 目标平面 t|59/R -aM7>YR 周期：10um $*+`; PG- 厚度：10um #PMi6q~Z 倾斜角度：20度 :
UDh{GQ* eq4Yc*|9 光栅的参数
`_.(qg u:}yE^8 @ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 q} p
(p( N TxmK mZ u —填充因子 2—后面的介质 b59NMGn —膜层厚度 3—膜层材料 }\.Z{h:t
? —光栅厚度 "tU,.U Vdb X4^V ByW,YKMy  4nD U-P#f
,Y27uey{wa 5NhwIu^< 设置层数和转折点 fsV_>5I6 (x8D ]a 'z x1kq1  2 设置层数和转折点以确定膜层 6F?U:N#< h~.z[ MY z\ R
\ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 'n7Ld6%1 `j(-y`fo e-YMFJtoK} 实现可编程光栅 |BE`ASW; @l@erC w@ c~n: xblv  k`r`ZA(kQ-
0)9'x)l: fqD1Ej 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） h$a% PaVf  FSkz[D_} YjwC8#$ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） )\l(h%s[I wT^Q O^. HpR(DG)
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bj B4  "' ]|o ~B nQ^ c{Bm: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） vC%8-;8{H  bv4G!21]*; ^Z:qlYZ 2 双击Data Series Diagram FKk.BA957h
^#&:-4/ 采样结果 .WT ar9e#  #@K
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. [BKX$A:Y C *U,$8j|}
QQ：2987619807
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