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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 Qkw_9 N%u4uLP5k 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) 5Z#(C# DQ0 UY 所需工具:Grating Toolbox Basic '[HU!8F $:onKxVM 相关Tutorials:G.001; G.014 kb~ 9/)~g 建模任务 3jto$_3'w F#qc#s 理想平面波照射 2o W'B^- DLe>EU;vS ]J/;Xp \rS-}DG i=fhK~Jd VjZb\
d4 镀膜倾斜光栅 z@jKzyq 目标平面 eq9qE^[Z& U-{3HHA 周期:10um 5D3&6DCH 厚度:10um jDj=a->e^ 倾斜角度:20度 'l-VWqR- 4r7aZDVA\ 光栅的参数 +|4olK$[ /~?[70B}E —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 B\;fC's+ 4(,X.GVY/ —填充因子 2—后面的介质 xz7CnW1 —膜层厚度 3—膜层材料 ;B:\e8 —光栅厚度 /u"Iq8QA DnF|wS 7a.iT-* X'2%'z< Fg2/rC:_ Y&i&H=U 设置层数和转折点 -W|~YK7e $u)#-X;x D{4]c)> 2 设置层数和转折点以确定膜层 ItAC=/(d _e|-O>#pl 5?E;YyA 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 sq8O+AWl X{h[ V:g XP1P 实现可编程光栅 `_J>R Z/;8eb*B7 ;*20b@ 7?
="{; =Q!V6+}nY^ mx2Ov u 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 8,B#W#*{ M%Q_;\?] Jd33QL}Hj 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) n+Ng7 hXx:D3h UXHtmi|_: %V-Hy ;V SQJ4}w>i 8:
VRq 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) H.[(`wi!I Mo4igP 3E8 Gh>J_ 2 双击Data Series Diagram pq]>Ep uN$ <7KB" 采样结果 pEb/ yIT" qqu]r 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. Q1DiEg g}I{- QQ:2987619807
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