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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 .jGsO0 U0bE B 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） f w>Gx9 M?4r 5R 所需工具：Grating Toolbox Basic <1 1Tqb k4AE`[UE 相关Tutorials：G.001; G.014 FnQ_=b
建模任务 f$S
QhK5` ?D^,K`wY=B 理想平面波照射 /HJ(W t
q =* >4 Gh
i u+tb83 ~[=  +D-+}&o W xd BZ^Q =|JIY 镀膜倾斜光栅 =&*QT&e 目标平面 0*:hm%g ( 7jB_ p% 周期：10um (R*jt,x 厚度：10um kcz#8K]~ 倾斜角度：20度 Py25k 0j! $E x 9 光栅的参数 W0T
i ^@ y>cm KE —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 z9kX`M+ Gx* 0$4xJ3 —填充因子 2—后面的介质 Dx# @D# —膜层厚度 3—膜层材料 3;l>x/amk —光栅厚度 _} 9R} \/4%[Q2QDm ,JBw$ C  nh&<fnh
}:D~yEP |%cO"d^ri 设置层数和转折点 MJ/%$ ]%Yis =v i7FR78^  2 设置层数和转折点以确定膜层 68GGS`& 8\.1m9&r>o (*WZsfk>/< 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 P $
dgO -hR\Y 2? w~KBk)!* 实现可编程光栅 I \%Lb
z )W6- h
Vh2/Ls5  N u2]~W&
<J }9.k ee0>B86tE 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） KeHE\Fq ^V  W#\};P
%s : 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） m;+1;B nzJi)A./ K /d & c] xA'#JN<*  P:-/3 j=QR*8* 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） +Y]*>afG  V;]V wsZ" e27CbA{_w 2 双击Data Series Diagram [%,=0P} d?y\~< 采样结果 =LY^3TlDj  ~)IJE+e>}
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. G/3lX^Z> L\b_, 'I
QQ：2987619807
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