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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 t\R; < x kA#vByf`v 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) MagMZR rPiNv
30L 所需工具:Grating Toolbox Basic V@ :20m \2X$C#8E 相关Tutorials:G.001; G.014 g-)mav 建模任务 (36K3=Q a Vk}49O<K/ 理想平面波照射 NHaMo*xQ KCR N}`^ M##';x0 pY}/j;.[ .y4&rF$n i|$z'HK;+ 镀膜倾斜光栅 "pvZ,l>8f 目标平面 t[C1z OtUrGQP 周期:10um RA/EpD:H 厚度:10um "Pc$\zJm; 倾斜角度:20度 Q~,YbZ-7
<!'M} s 光栅的参数 | {P|. >bm|%Ou" —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 @h9MxCE! M] EsS^/X —填充因子 2—后面的介质 4A.Q21s —膜层厚度 3—膜层材料 6m`{Z`c$ —光栅厚度 pR$6,Vi 1~5trsB+5 >SI<rR[~% >1|g5 nkY@_N D-ADv3E, 设置层数和转折点 |!*Xl)
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bklz Dgi~rr1`'s 2 设置层数和转折点以确定膜层 Np,2j KF( cvo[s, p zICI_*~ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 9`Q@'(m B@K[3 k3hkk:W 实现可编程光栅 d/U."V} ST',4Oph5 v1.*IV5Y igkz2S I 2[R$RpA_ :,UN8L " 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) iS: #o> ClUSrSp Fr:5$,At7- 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Q< *8<Oo4g 8tc*.H{^+ ;A#~`P D3]BTkMMS; XD%wj 3LK%1+)4 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) q)I|2~Q c^ (JZ".En#X a(x?fa[D 2 双击Data Series Diagram FC>d_=V ><Z'D 采样结果 f&I7,"v U[8{_h<# 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. ZF{~ih*^u lOerrP6f( QQ:2987619807
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