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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 `Y-uNJ'.N pO$`(+q[ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） yOGa W~ 12aAO|]/~ 所需工具：Grating Toolbox Basic MI|DOp @c{=:kg5 相关Tutorials：G.001; G.014 FfN==2:b 建模任务 } `4o + 4_ J*
0=U 理想平面波照射 1`2n<qo nI%0u<=d EXg\a#4['  ; )O)\__"- UXoaUW L ZPn`.Qc 镀膜倾斜光栅 <wxI>T }b 目标平面 &}VGC=F;d a_m P$4T 周期：10um QP)-O*+AA 厚度：10um Ot(U_rJCi 倾斜角度：20度 g/W<;o<v(I ~N;.hU%l 光栅的参数 p8D i9\} "0+_P{w+ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 eHi|_3A&* AYd7 qx: ~ —填充因子 2—后面的介质 N TuS(7m —膜层厚度 3—膜层材料 0K`3BuBs —光栅厚度 y'xB? >| K!"[,=u_ [#k f l  sAfSI<L_
CtV$lXxup _+N*4 设置层数和转折点 /_l%Dm? kdman nM Gn #5zx#l  2 设置层数和转折点以确定膜层 bv5,Y k a9mLPP ez&v"J 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ]8*g% DbP!wU lqR _-x|g~pV* 实现可编程光栅 t@QaxZIlt; Uc>k CBCd AcyiP
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q6f+tdg= |sMRIW, P 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） <w`
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O 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #8MA+ F$ShhZgi ynvU$}w ~' ST5L
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4J0B' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） C$(U S8:{  H<#M) 8 ,Md8A`7x~ 2 双击Data Series Diagram -KhNsUQk U>w#`Sy[ 采样结果 B(7oHj.i2  r/}q=J.
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 3)88B"E k \BJs@-
QQ：2987619807
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