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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 YGfA qI
y K<RmaXZ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） zo R,RBU6 sWp{Y. 所需工具：Grating Toolbox Basic G% o7BX %uh R'8" 相关Tutorials：G.001; G.014 8y-e+ 建模任务 $,}Qf0(S &"sX^6t 理想平面波照射 LQ~LB'L A1mYkG)l ( P  f:n] Exsy <GSQ2bX[ X@i+&Nv"< 镀膜倾斜光栅 FAH[5VD r% 目标平面 Q~x*bMb. %j~9O~- 周期：10um 58M'r{8_ 厚度：10um ( K^YD K 倾斜角度：20度 +I^+k " c jC E3V9X 光栅的参数 Kh>?!` lL Vww@eK%5Q —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 bv .EM }".\
4B$n —填充因子 2—后面的介质 zf k'>_' —膜层厚度 3—膜层材料 6 lB{Ao?| —光栅厚度 R1]v}f _I" ;m-6.AV >l7eoj  34"{rMbQ
@C!JtgO% YR$tPe 设置层数和转折点 U'J P1\ >VpP/Qf X7'h@>R  2 设置层数和转折点以确定膜层 E#yCcC!wMY MsN2A6|33 zv$=* 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 HV]~=Bw2I a 7QlU=\ >=.ch5h3J) 实现可编程光栅 44Seq F?yh23&_4 J>,'P^  Bbn832iMUY
nO A , x 5#9`RO T9 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） F9>(W#aC  )W_ Y3M, O3sla bE# 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） (hD X4;4 *~\;&G29Y 0lvb{Zd OF<[Nh\.  XnNOj>! Mt7X<?GZm 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） pn ~/!y  BP7<^`i& [A.eVuV;+ 2 双击Data Series Diagram $=;bccIob ^^j|0qshL 采样结果 }RC. Q`b  HbJadOK
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. (+]Ig> t Q@3 ld6y
QQ：2987619807
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