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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 kJIKULf RW
23lRA6 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) cad1eOT' k!E`Xeob 所需工具:Grating Toolbox Basic k^I4z^O=-; xy`aR< L 相关Tutorials:G.001; G.014 SZJ~ktXC-V 建模任务 2GECcx53 V/i&8UMw 理想平面波照射 s$xctIbm?, *=}$@OS ?bbu^;2*f Y}(#kqh> '/
3..3k 30]?Jz6m 镀膜倾斜光栅 u#XNl":x 目标平面 *EOIgQp >69xl^Gd 周期:10um }_}C ^ 厚度:10um M9*7r\hqYV 倾斜角度:20度 pc}Q_~e e$QX?y . 光栅的参数 c_a*{L|c bnLvJ]i) —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 hf P}+on% ch,<4E/c[R —填充因子 2—后面的介质 O?NAbxkp —膜层厚度 3—膜层材料 LoUi Yf —光栅厚度 /HH5Mn* OtJYr1:y_ -?<wvUbR{ 2;.7c+r0 =3lUr<Ze O-:#Q(H! 设置层数和转折点 Ac<V!v71 f33'2PYl ohusL9D 2 设置层数和转折点以确定膜层 q5:-?|jXJ A- IpE G\tT wX4 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 #B:J7&@fn iyrUY 3(%hHM7DM 实现可编程光栅 9a2Ga YFOK%7K N!m-gymmF IJO`"da vG#|CO9 wlBdA 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ~;#J&V@D :^lyVQ%@ l*("[?>I 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) fDp_W1yH ^"K zMt "ST. u].=b$wHHM F%bv
vw*( v>.nL(VLjP 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Ki}PO`s bP&o]?dN =| S8.|r+ 2 双击Data Series Diagram -N^}1^gA 8qp!S1Qnv 采样结果 h1G]w/.ws 6 +^V 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. 4?g~GI3 *_b4j.)ax, QQ:2987619807
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