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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 +.RC{o, {ta0dS;1 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） {#c* *' 4 R t{`v< 所需工具：Grating Toolbox Basic MGmUgc u?>]C6 $ 相关Tutorials：G.001; G.014 \ \ WIu? 建模任务 q~K
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Vz" 理想平面波照射 X@[)j Ws rkW2_UTZE q Pc"A!-i  4&+; n[ D p
FkqD U +[DL]e]@U 镀膜倾斜光栅 y<<:6OBj 目标平面 %qM3IVPK)q v .ftfL! 周期：10um +cw;a]o^> 厚度：10um JBsHr%!i 倾斜角度：20度 r95l.v e[lRY>Pe5 光栅的参数 $6c8<!B_ "F*'UfOwrZ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 Wy'H4Rg8 INyakAmJ}- —填充因子 2—后面的介质 .Fy f4^0 —膜层厚度 3—膜层材料 :V%XEN) —光栅厚度 Ikkv <uY [,F5GW{x ^r7-|  E,#J\)'z
n j7wc9z4 IkU:D"n7 设置层数和转折点 +;}XWV QX*HvT 8G>;X;W  2 设置层数和转折点以确定膜层 #NAlje( 7 `dYM+ jpa [S}o[v\ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ;btH[a iV Q &Rj)1! !~{AF|2f 实现可编程光栅 OOE mXb]8 7DU"QeLeb b ;Vy=f  4No!`O- !&
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 p7"o:YSQ U20G{%% 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） wn'_;0fg  4s<*rKm~ glk_ *x 2 双击Data Series Diagram GdqT4a\S [TP r 采样结果 ELp @/c=Wr  eZ]4,,m
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. H1PW/AW D?u*^?a2
QQ：2987619807
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