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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 :{KoZd m\?H
< o0 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） x1{gw 5: 0s8w)%4$ 所需工具：Grating Toolbox Basic =)9@rV&~ -% Z?rn2 相关Tutorials：G.001; G.014 q(I`g;MF 建模任务 C"!k`i=Lj L.) 0!1 理想平面波照射 ]:vo"{*C M;K%=l$NG GV T[)jS  ]EZiPW-uy d y^ zOqc O5eTkKUc 镀膜倾斜光栅 f/6,b&l, 目标平面 (5(TbyWwD 1y($h< 周期：10um KWH l+p L 厚度：10um L\Y4$e9bF8 倾斜角度：20度 I@<\DltPi o 0'!u 光栅的参数 8Cw+<A* }L.&@P< —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 J"Z=`I)KON lboi\GP| —填充因子 2—后面的介质 @?r[
$Ea1M —膜层厚度 3—膜层材料 3.?kxac —光栅厚度 pZg}7F{$ aEW sr u e=m=IVY #W  ^$I8ga
QFtf.")[.
^<VJ8jk< 设置层数和转折点 F+3 }Gkn efu'PfZ`& M'D l_dx-  2 设置层数和转折点以确定膜层 2) zAX"#/ d1r IU6 :]hNw1e 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ecRY,MN ?\.aq
p1B 7} 2Aq 实现可编程光栅 P@wu k1 Lm{qFu gx', ~  ~DYv6-p%
dRD t.U!T WQ1~ 9# 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） E kvTl-  +xc1cki_{ 2` ;&Uwt 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） e: aa 1\aJ[t / Q nq,`z >{HQ"{Q  y`| 86`
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U # 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） KW1b #g%Z  %A^V@0K3 _P{f+HxU 2 双击Data Series Diagram W:gpcR]> 3~o#1*-> 采样结果 %Y:"5fH  -/'_ XR@1
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. L
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