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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 fc R j < % z@ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） G#H 9g PY 9 9e*]')A% 所需工具：Grating Toolbox Basic ljPq2v ] 4xm&pQo{V6 相关Tutorials：G.001; G.014 5Yi Z-CQ> 建模任务 6b?`:$Cw3) X Orcygb2 理想平面波照射 XR a(sXA3 ]gu1 # #{!O,`qD  eZg$AOpU BhKO_wQ?:J ~,ynJ]_aJB 镀膜倾斜光栅 W h| L 目标平面 Xv0F:1 .f>,6? 周期：10um :pwa{ P 厚度：10um RqXi1<6j# 倾斜角度：20度 {Eu'v$c! pOMgEEhfS 光栅的参数 J58#$NC
`' -kl;!:'.3 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 t5paY w-b d.`&0 —填充因子 2—后面的介质 sAi&A9"* —膜层厚度 3—膜层材料 Ik j=`,a2B —光栅厚度 `<^*jB@P Z,WubX< QY@u}&m%o  B7 HQR{t
nq' M?c#E e*:}$u8 a 设置层数和转折点 exQ#<x* b3\B8:XFo| HT"gT2 U+  2 设置层数和转折点以确定膜层 (S F1y/g@= H`-=?t ExCM< $, 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 IaLMWoh Seda } aG!
*WHt 实现可编程光栅 R& #tSL nUc ;/ KCUU#t|8V\  BwxnDe G)
3O P.12^ \jyjQ,v) 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） B3mS]  3]/.\(2 ;
0ko@ \Lq 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） =&7@<vBpy 6tn+m54 _ Ma6W@S kUa)smh  Oz{%k#X- #Fs|f3-@ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） *N F$1  :l,OalO hj!+HHYSk 2 双击Data Series Diagram I@\+l6&#; L8&D(wh/f 采样结果 y-9+a7j  gnLn7?
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. +=eR%|!@ zizk7<?L .
QQ：2987619807
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