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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 }%0X7' GB)< 5I 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） &(|x-OT i\o * =+{r 所需工具：Grating Toolbox Basic `9|Uu#x ]?Q<lMG 相关Tutorials：G.001; G.014 65rf=*kz: 建模任务 ?& VKZSo
_93:_L 理想平面波照射 "@Qg]#]JH KfQR(e9n g) IW9q2  "2PT]! Cli:;yi&n 9 {IDw 镀膜倾斜光栅 nB4+*=$E+- 目标平面 ,z> w^_ bE3mOml 周期：10um lZ )
qV!< 厚度：10um isFxo,R9r 倾斜角度：20度 lA4TWU (] @H}Hjg_ >m 光栅的参数 $|AasT5w WDt 6{5T —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 } $(\,SzW +/hd;s$x —填充因子 2—后面的介质 Uyd' uC —膜层厚度 3—膜层材料 9xFI%UOb# —光栅厚度 z A/Fh(uX QI78/gT,d o3h >) 4  #J
pv"s!q& Sar1NkD# 设置层数和转折点 -]QP#_
1had8K- GH`y-Ul'K  2 设置层数和转折点以确定膜层 A>_,tt
y>^0q/=]?O rU 1Ri 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 DZ9^>`* ,
Y lS ,,lR\!>8 实现可编程光栅 Z EvK #)O^aac29 "+Sq}WR  %al
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)mjGHq 2 dEW= V"W 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） %.HLO.A  =T1Xfib d qO]2d 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） {u J"% Ty7)j]b"zl :39arq ]EG8+K6  ]bYmM@
Jm"W+! E 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 4t>"-/  n^*,JL 9@ {CNJlr@z 2 双击Data Series Diagram @a,=ApS" :[0 )Uu{ 采样结果 W_,7hvE?"H  ^66 OzT8A
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. *kcc]*6@s `,4@; j<^@
QQ：2987619807
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