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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 JVtQ ,oZ zuSq+px L@ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） AS)UJ/lC nq"evD5 所需工具：Grating Toolbox Basic rQ/ ,XH "(v%1tGk 相关Tutorials：G.001; G.014 DAfyK?+UL 建模任务 rcV-_+KE(B ^ W~p..DF 理想平面波照射 S}(8f!9< ]hA,LY f 98R KCc9h  pY@Y?J j q2hFOm mpgO s 镀膜倾斜光栅 xl(@C*.sC1 目标平面 =pcF:D#+ hfqqQ!,l! 周期：10um :_ROJ 厚度：10um )KE [!ofD 倾斜角度：20度 )"Q*G/+2Ie <A >)[u 光栅的参数 pd3,pQ ]5}=^ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 n`ViTwd]MQ W3r ?7!~ —填充因子 2—后面的介质 (-0ePSOG —膜层厚度 3—膜层材料 Yw'NX5#)g —光栅厚度 G,f-. "T2"]u<52 J NVr  F dzNE
>5hhd 38 j'?7D0> 设置层数和转折点 mj&57D\fq %c|UmKKi %'
$ o"  2 设置层数和转折点以确定膜层 b>\?yL/%+? r X'*| ] 2o3EHZ+]cm 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ~j>D=! {sVY`}p| p5\]5bb 实现可编程光栅 7 <9yH:1 0Yl4eB- )yG"^Ulu  ,](:<A)W&
^/U27B `'I{U5;e 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 2S"Nf8>zp  \f:z+F!6R 6at1bQ$ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7F^#o-@=J B9R(&<4 .zg8 i_ C x<0 H  *\}}Bv+9 |re}6#TgcT 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） t_z,>,BqJ  F&RgT1* n DS}^Ba 2 双击Data Series Diagram /ID3s`D) 'e) ^m}:?D 采样结果 : _e#  ldha| s.*
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 4y:]DC" M<O{O}t<
QQ：2987619807
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