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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 Z;|0"K
mB{&7Rb0 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) o2[vM$] o<C]+Nt,@ 所需工具:Grating Toolbox Basic 1qB!RIau FgFJ0fo 相关Tutorials:G.001; G.014 &cv@Kihq( 建模任务 hQd@bN8 QN{}R;s 理想平面波照射 ::3iXk) FUW(>0x? iylBK!ou 0)6i~Mg lY !s#'pTZk4 |.Y@^z;P3 镀膜倾斜光栅 O<eWq] 目标平面 FqT,4SIR #{)r*"% 周期:10um J1gEjd 厚度:10um E3FW*UNg[y 倾斜角度:20度 1_33;gP Q`@$j,v 光栅的参数 ;Sx'O !]{1h
—倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 O X5Co<u tdw\Di#m —填充因子 2—后面的介质 /el["l —膜层厚度 3—膜层材料 ] dm1Qm —光栅厚度 ?d>P+). n,Yr!W:h
pr[B$X.V Oet#wp/I
BdE`p{ azR;*j8Q' 设置层数和转折点 DJD ]aI m
p|20`go ABq {<2iYN 2 设置层数和转折点以确定膜层 OW63^wA`s 'o)ve( &z xBi" 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 T~wZ qmue!Fv#g d0H 实现可编程光栅 &k_wqV T je o*n^ #pDGaqeX 7q2"b?|h H.l,%x&K D_
Bx>G9 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) wEHAkc)Q )D"G3g. *Sz{DE1U 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) V&4:nIS>z O yH!V&w VkN[=0a, o
{XwLi ;}>g1&q 'wB Huq 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) S$lmEJ_ g+KzlS[6 yf#%)-7( 2 双击Data Series Diagram ]\D6;E8P-~ YPff)0Nh 采样结果 F~Z 0 Br ^rK}|l 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. T956L'.+G !6tC[W` QQ:2987619807
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