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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 X_2p C|C 4S 3uzy% 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） >K-S&Y jdAjCy; s! 所需工具：Grating Toolbox Basic |WDMyKf6J Q?]-/v 相关Tutorials：G.001; G.014 /V$U%0 建模任务 ;30SnR/ h0)Dj( C 理想平面波照射 ~"nF$D B H[D<G9: db` L0JB  VHqHG`}: Tqj:C8K{ X_aC$_b 镀膜倾斜光栅 ,u_ Z0S M 目标平面 6&`hf > _kX q0~ 周期：10um a|eHo%Qt 厚度：10um y XT8:2M 倾斜角度：20度 w?:tce dTZ$92< 光栅的参数 @L?Kc GD Gy) 2 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 y ~n1S~5cI N> xdX5 —填充因子 2—后面的介质 #+#^cqjZ —膜层厚度 3—膜层材料 Hg5 :>?Lw@ —光栅厚度 U*4r<y9R
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"9 f+F tzthc*-< 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |{v#'";O:  AmC?qoEWQ7 (zh[1[a 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） A,B Yi$ yM~bU mSg t1]/Bw`j/ J\P6  kg
8Dn "F%JZO51 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） `CI_zc=jx  1X&.po lLDZ#'&An 2 双击Data Series Diagram *mV g_Kl "?.#z ]' ] 采样结果 pQK SP r  QeG9CS)E}j
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ? *%_:fB }Uwji
QQ：2987619807
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