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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 b}qfOgd5 2.^{4 1: 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） |S8$NI2 z*},N$2= 所需工具：Grating Toolbox Basic
~@'wqGTp |m's) 相关Tutorials：G.001; G.014 &~_F2]oM 建模任务 O w;thNN Q der8I 理想平面波照射 'h$1
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=  cO5F=ZxR "1a;);S=*) 9`f@"% h 镀膜倾斜光栅 %6Gg&Y$j! 目标平面 2K:A4)jZ irlFB#.. 周期：10um p-s\D_ 厚度：10um }c8nn 倾斜角度：20度 m"!SyN}&9? $@Vn+|
Ix 光栅的参数 V|YQhd0kv R'gd/.[e —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 9QU\ J0c/ ?M :>2wl —填充因子 2—后面的介质 7hk< {gnr —膜层厚度 3—膜层材料 UBL{3s^" —光栅厚度 lAnq2j| gKb,V rt e =&~6bs1U  Z^'~iU-?
O i\ s *O[/KR% 设置层数和转折点 a_Xwi:e< ]Za[]E8MD }# s{."  2 设置层数和转折点以确定膜层 WWp MuB_G xb\EJ1M> syw uS 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 tdK&vqq |:C0_`M9 1{N+B#*<[X 实现可编程光栅 uB)q1QQsqp V0 ^{Ss1M IR${a )  O[d#-0s
nXn@|J&z~U # `^nmC/F 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ! ; >s .]  Rrh6-]A bll[E}E|3 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 3VLwY!2: T+L=GnYl )h@PRDI_ a{xJ#_/6  ''auu4vF A l?%[-u 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） U5C]zswL  G_1r&[N3 cg {5\ Vl 2 双击Data Series Diagram vb[0H{TT2 q0 }u%Y z 采样结果 ;U3:1hn  :fj>JF\[
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. PE5*]+lW. (9`dLw5
QQ：2987619807
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