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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 >Du5B&41 5CH9m[S 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） K4N B# &P Wz4hZ 所需工具：Grating Toolbox Basic
Y,z15i3j? ;*ebq'D([ 相关Tutorials：G.001; G.014 V~M>K-AL 建模任务 EeC5HgIU'C n_vopDMm 理想平面波照射 pH5"g"e1 ~Q%C> I@~hz%'  g-j`Ex % JVE]Qb_ ,!U 5; 镀膜倾斜光栅 A7SBm`XJ)p 目标平面 ] )D\ws)a9 f@lRa>Z(Fm 周期：10um 0p\R@{ 厚度：10um l}B,SkP^ 倾斜角度：20度 Q|Uq.UjY L/9f"%kZ 光栅的参数 o
ms tJ9 ?r C^@) —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 i9fK`:) mle"!* —填充因子 2—后面的介质 xb$eFiQ —膜层厚度 3—膜层材料 :{<( )gfk —光栅厚度 n|
=k9z<y8 i~
D, =B O} hk  h7mJXS)t|
m 5Gt8Z 6a $$+6=r} 设置层数和转折点 e(E6 t_ (5S(CYls O@St^o*A}  2 设置层数和转折点以确定膜层 rQgRD)_%w = BW>jD [H$37Hx ! 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Q.: SIBP 2lPj%i 5 Wi ]Mp7b 实现可编程光栅 z;`o>Ja2 "1P 8[ n`<YhV  #x Z7%
R /J @XP iW\cLp " 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） bp Q/#\Z  3n-~+2l D> wq4u 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） R<aF;Rvb5 Y(QLlJ*)/ ?h)Z ;,} |f+|OZY  b,U"N- 6 # T_m|LN 7 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） B[k {u#Kp  2uw1R; zw O!#yP Sq ? 2 双击Data Series Diagram T0L h"_X3 ;w,+x 7 采样结果 !qe ,& JL  PMPB}-d
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. D90m..\w ,n&@O,XGy
QQ：2987619807
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