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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 )Ry<a$Q3 j$Ab >}g] 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） cl@g @WMA }\Cc 所需工具：Grating Toolbox Basic hI},~ af ~q+hV+fa> 相关Tutorials：G.001; G.014 V5i*O3a~ 建模任务 E&`Nh5 JfC G2Vv i[c 理想平面波照射 k D5!}+y &V7M}@ -' g*^  *.#oxcll ?t](a:IX UC
HZ2& 镀膜倾斜光栅 asHxL! 目标平面 t] aea*B TX=yPq 周期：10um n/~ A`%E@ 厚度：10um ,<-G<${ 倾斜角度：20度 D^ Jk @<* e:'?*BYVg3 光栅的参数 XI<L; 8[vc?+>& —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 zc rY>t#l U*3J+Y —填充因子 2—后面的介质 Fz#X= gmG —膜层厚度 3—膜层材料 rf~Y6U?7 —光栅厚度 u .f= te oVFnl A Q7 Iw[=;\  7lV.[&aKW
I$q]. B wX >*H 设置层数和转折点 I9h ?;( 'R-3fO??? @+3kb.P%7  2 设置层数和转折点以确定膜层 (T`E!A0I\? 2 3OC2| HK`I \,K 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Bn@(zHG+5& }\J2?Et{ fU=B4V4@ 实现可编程光栅 YIw1 x
}Ad_#q {|I;YDA  1-lu\"H`
%_ !bRo ck?YI]q| 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） -f*P
nxg  F~ h7{@\ 9 IX/wm" 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） QQWadVQo }zhGS!fO ULMu19> ;4Y%PV z~D  +$g}4 ^fZ& QK 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 5[c^TJ3  uEX!xx?Q# PLK3v4kVM! 2 双击Data Series Diagram X5 j1`t, y UpgoX( 6 采样结果 }G eSu|m(  +HBd
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 7(pF[LCF %i5M77#Z
QQ：2987619807
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