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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 B; h"lv G[I"8iS, 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） %oa-WmWm 9u}Hmb 所需工具：Grating Toolbox Basic =BAW[%1b ;m{1 _ 1 相关Tutorials：G.001; G.014 [H^z-6x:0 建模任务 ' RYIW /a x '> 9d 理想平面波照射 !_ D0vI; Tg)| or/ % })8N5C+KU  dx{bB%?Y\= cyv`B3} ~{B7 k: 镀膜倾斜光栅 >xYpNtEs 目标平面 \[_t]'p i&66Fi1 周期：10um wyj{zWRJp 厚度：10um vkd.)x`J, 倾斜角度：20度 u#;7<.D Qu"\wE^.` 光栅的参数 tip+q d m=A(NKZ
—倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 .4M.y:F >WQMqQ^t@ —填充因子 2—后面的介质 [.'| _l —膜层厚度 3—膜层材料 l7259Ro~ —光栅厚度 "9P>a=Y T/G z94c k _qd |  F2 dHH^
Y E s & uK#4(eY=W 设置层数和转折点 {M$1N5Eh udF~5w
H | `Ntv }  2 设置层数和转折点以确定膜层 `d
+Da=L 1k5Who@ |vwVghC 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 [b<oDX# ia~HQ$'+n V _/%b)* 实现可编程光栅 M~#g RAUJ f ue(UMF~ <#y[gTJ<'>  -M~:lK]n
A*R^n}sh vnt%XU,,Y 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） R'`qK c  [nG<[<0 G; ]z;I _- 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） o>i4CCU+ |`,2ri*5A B =T'5& _L UhZlw  FZ<gpIv!NS wY % } 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #s( BuVU  !r8 `Yr n >d*@_ kJM 2 双击Data Series Diagram 3` |@H-c9 6qp JUkd 采样结果 A_ZY=jP  NC`aP0S
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. EIAc@$4 Xp% v.M
QQ：2987619807
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