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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 T$H2'tK| LKqRvPnh 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) [zY!'cz? } c{Fa& 所需工具:Grating Toolbox Basic Z,0O/RFJ.q 1KW3l<v-6 相关Tutorials:G.001; G.014 U:qF/%w 建模任务 d4d\0[ shM{Y9~O9& 理想平面波照射 UUl*f!&
o ]KsGkAG HjV\lcK:v s,84*6u 3QCMK^#Z: nc<qbN 镀膜倾斜光栅 c`-YIz)W 目标平面 b![t6-f^z Tv`_n2J`2 周期:10um [/?c@N, 厚度:10um Ip>^O/}$1 倾斜角度:20度 N%O[ Y.E?;iS 光栅的参数 3nwz<P gk"mr_03 —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 (Ar?QwP9> PM@XtL7J —填充因子 2—后面的介质 !{IC[g n —膜层厚度 3—膜层材料 5QR}IxQ —光栅厚度 ?hKm&B;d
+q7qK* iNt 4> Cq gJ ?3[tJreVj VR"8Di&) 设置层数和转折点 QS\Uq(Ja\ o1U}/y+R\ .Nc_n5D6 2 设置层数和转折点以确定膜层 #`vVgGZ& H;qJH1EdD TNx _Rc} 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 .XIr?>G 4*iHw+%mq mIRAS"Q!m 实现可编程光栅 Ex6o=D2 'X54dXS?l t{~@I 9MT3T?IS #7+]%;h \OP9_J(* 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) )]wuF` pOKeEW<q .`Sw,XL5 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) {f-XyF1` wajZqC2yg z<t>hzl7 ^eobp.U b]w[*<f? wsqLXZI 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) $}db /hY* V(r`.75 b) Ux3PB 2 双击Data Series Diagram @/LiR>, X>}@EHT 采样结果 l/M[am hl**zF 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. [-Cu4mff ac|/Y$\w QQ:2987619807
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