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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 JQb]mU%? n~h%K 7
c 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） anbr3L[! .*Z]0~ &| 所需工具：Grating Toolbox Basic @RC_Ie=#) `fH6E8N 相关Tutorials：G.001; G.014 z K&`&("4C 建模任务 V\_
&2',t ci!c7 ,'c 理想平面波照射 <MYD`,$yu nm)F tX|A \ <5xf<{  8L#sg^1V SF6n06UZu !`u)&.t7 镀膜倾斜光栅 ,T]okN5uI 目标平面 Vrnx# j-U (b(iL\B$D= 周期：10um UwLa9Dn^ 厚度：10um ?h { & 倾斜角度：20度 <X: 9y @'S-nn,sO 光栅的参数 Co'dZd( TPrwC~\B/ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 *aSFJK gw H6r3=y( —填充因子 2—后面的介质 \t}!Dr+yN —膜层厚度 3—膜层材料 +iXA|L9= —光栅厚度 EfOJ%Xr[,l n@*NQ`(_ 3h4>edM  `8L7pbS%,Q
H]SnM'Y L"IdD5`7T 设置层数和转折点 z=!xN5 NK#f Gz*,( v8LKv`I's  2 设置层数和转折点以确定膜层 J<'4(}^| 1e } wDMU( 3N;X|pa 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 FsD}N k=m~ lOVsp# Gv <K#@9T 实现可编程光栅 zg Lm~ ( `T:b1 C,Ch6Ph  r t f}4.
eOS#@6U=u R#oXQaBJ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） NKR NEq!  N O'-HKHj BwbvZfV| 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） <CeDIX t 4 /$]wK` (}'0K? pZXva9bE  cd \0 oM J5; 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） z 55P~p  @dGj4h. p!173y,nL 2 双击Data Series Diagram hMdsR,Iq h T4fKc7P 采样结果 -V(5U! ^B  x#U?~6.6
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. oveW )~4 wF}/7b54
QQ：2987619807
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