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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ;KWR/?ec 2.测量样本。 pe Y( 4# 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ,Si\ky7L 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 q<>LK Y<#WC#3= 系统简介 ]tanvJG}'
89Svx5S 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 j,8* Z~\5 ' {@hBB+ D 特征及技术参数 8G?'F${`
PnJr - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 /iQ}DbtRb - 灵敏度R_q<0.5 nm xiX~*Zs - 测量时间： < 1 s。 .1XZ9M - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 <fC gU& jW}n6w5 p)(mF"\8= 传感器： R)?K+ cJ%
o) `zb? Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 Psp3~Kg cYF R.~p 应用： Pwt4e-
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： >r2m1}6g" - 平面或复杂（自由形状）表面。 '""qMRCm - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 0cC5 - 机械零件。 mR,p?[P - 汽车工业。 (d | Ua#*kTF
9 %4Pt=v~d QQ：2987619807 a\$PqOB!
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