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1.Horos—光学粗糙度传感器。 i{c@S:&@^ 2.测量样本。 '\q f^?9 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 _D7 ]-3uC! 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 gN6r p(?y 6i@\5}m= 系统简介 s,]%dG!
A=5epsB 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 jvy$t$az } YhtUWz]. 特征及技术参数 w(d>HH g
"`Ge~N[$A - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 :nY 2O - 灵敏度R_q<0.5 nm oFsM6+\/S - 测量时间： < 1 s。 |J5 =J - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 E6B!+s!] F/c$v Y5q3T`x E 传感器： qO1tj'U<
=3 ~/:8o Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ;lX(}2tXW una%[jTc 应用： y@V_g'
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： &;T J~r#K - 平面或复杂（自由形状）表面。 O FkNl}D - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Q^Q l\ - 机械零件。 9Z"+?bv/ - 汽车工业。 Ck =;1sGh Vh Gs/5
