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0^*4LM|z 1.Horos—光学粗糙度传感器。 qxG@Zd 2.测量样本。 fBS;~;l 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 $dFEC}1t
4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 '{QbjG%<P v0jRoE# 系统简介 PbJn8o K SDo)7` 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ? Sj,HLo@U BC%t[H} >R 特征及技术参数 f}Eoc>n acdaDY - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ;t:B:4r(j - 灵敏度R_q<0.5 nm 8k2prv^ - 测量时间: < 1 s。 ox{)O/aj - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 i*#Gq6qZq NcZ6!wWdE }=?kf3k 传感器: (WCpaC K;,n?Q w Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 :@KWp{ D7 W=&\d`><k 应用: A/lxXy}D hdQ[=PH) 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: Ms=x~o' - 平面或复杂(自由形状)表面。 <QQgOaS`2 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 &7,Kv0j} - 机械零件。 A?ma5h - 汽车工业。 .<gAa" ={~`0, 3P\#moJ QQ:2987619807 k+5:fB)z
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