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.}a@OLJd 1.Horos—光学粗糙度传感器。 e|Lh~sVq 2.测量样本。 I#$u(2.H 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 NIV&)`w 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 #pOW2 Uj8\ js k<N 系统简介 7J0PO}N ` LU&]NS3 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 <0&];5
on E/5w
H/ 特征及技术参数
(lt/ t #(XP=PUj - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 @bD,^3 U - 灵敏度R_q<0.5 nm ){8^l0b - 测量时间: < 1 s。 g($ y4~# - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 *:GoS?Ma {e>}.R P]!eM( 传感器: ~#(bX]+A `q4\w[0+p Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ,4EE9
?J W;Fcp 应用: 3#5sj > ~~wz05oRG
可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 2b3x|9o8 - 平面或复杂(自由形状)表面。 +O\6p - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 y{"8VT) - 机械零件。 lD 9'^J - 汽车工业。 C 5)G^ M62V NYt //|9J(B] QQ:2987619807 'B6D&xn'%&
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