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1.Horos—光学粗糙度传感器。 Tki/ d\!+ 2.测量样本。 G*i# \ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 { $/Fk6qr 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 F9P 0cGDs nF nF _ 系统简介 Hu8atlpo
d[e: }1 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 gH^$Y~Lx Z,!Xxv;4 特征及技术参数 s9kL B.
8UT%:DlxQ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 Xm:= jQn - 灵敏度R_q<0.5 nm |sq o+E - 测量时间： < 1 s。 ?w37vsN - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 KHecc/,,S I.+)sB?5 $Cd ;0gd v 传感器： B9I Xa;
A?D"j7JD=L Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 =j+oKGkoCa zc/ %1 应用： r@[VY g~
YD46Z~$
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： MIlCUk - 平面或复杂（自由形状）表面。 M=[q+A - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 b q3fiT9 - 机械零件。 @y0bU*v7 - 汽车工业。 m>+,^`0 f'6qJk%J
jUJT cL QQ：2987619807 AqbT{,3yW
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