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Y_]De3:V0B 1.Horos—光学粗糙度传感器。 WdnIp! 2.测量样本。 bk)g;+@ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 !>>f(t4 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 :_@JA0n C#H:-Q& 系统简介 8,atX+tc <}sq?Sfq! 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 '&sE=. E=cwq" 特征及技术参数 h68]=KyK hAm`NJMSO - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 1ylk4@` - 灵敏度R_q<0.5 nm a\%xB >LX - 测量时间: < 1 s。 IXb}AxBf - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 )x]3Zq 8Th` ]tI tqy@iEz+ 传感器: in(U:04 EZYBeqv Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 '(dz"PL. +n7?S~R$ 应用: |,aG%MTL 5bA)j!#)|X 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 06Gt&_Q - 平面或复杂(自由形状)表面。 !o>H1#2l - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 sF7^qrVQP9 - 机械零件。 D)@YI.T - 汽车工业。 M{$j 7^M9qTEHp fd#jY} QQ:2987619807 HXoX
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