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W-UMX',0zS 1.Horos—光学粗糙度传感器。 |1[3RnGS 2.测量样本。 6-oy%OnN 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 5gZ6H/. 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 bxrT[] U:1cbD7|3 系统简介 *~>}* _>k&M7OU4 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 jqeR{yo&0b &?)?
w-$p 特征及技术参数 fKYR DGn VsJ4sb7 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 "ytPS~ - 灵敏度R_q<0.5 nm p6Ie ?Gg - 测量时间: < 1 s。 0!fT:Ra - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 6 J
B"qd
c1x{$ yJRqX]MLA 传感器: 6";ew:Ih^ *\!>22* Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 NZW)$c' (O@fgBM 应用: :{Mr~Co* N3rq8Rk 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: rTmVHt - 平面或复杂(自由形状)表面。 Wp2$L-T&$ - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 4v?}K - 机械零件。 j'QPJ(`~1l - 汽车工业。 ;ifPqLkO 5z~O3QX B}U:c] QQ:2987619807 ZCC T
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