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qT<qu(V: 1.Horos—光学粗糙度传感器。 MY<!\4/ 2.测量样本。 }'.Sn{OWf 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 6B;_uIq5 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 xwH|ryfs,Z B> "r -O 系统简介 E-U;8cOMv <C.$Db&9 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ;DgX"Uzm P!6 e 特征及技术参数 G}dOx}kT dI0>m:RBz - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 dT@SO - 灵敏度R_q<0.5 nm Zz)oMw - 测量时间: < 1 s。 lRATrp#T - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 |b'<XQ&l5 _F|_C5A Ye=7Y57Nr 传感器: d$pf[DJQo _~S^#ut+ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 .McoW7|Y zc,9Qfn 应用: xc]C#q #&2N,M!Q 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: SSsQu^A - 平面或复杂(自由形状)表面。 komxot[[
- 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 b} U&bFl - 机械零件。 ]I' xLh` - 汽车工业。 "1`i]Y\' soVZz3F $?A Uk QQ:2987619807 wR<QeH'V
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