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?>o39|M_w 1.Horos—光学粗糙度传感器。 yl'~H;su 2.测量样本。 //+UQgl6 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ',!#?aGV 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 Ew;<iY[ ,Fr{i1Ky 系统简介 ~!A,I 9 Pucf0 # 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 iqoPD4A `z=MI66Nl 特征及技术参数 D9LwYftZ IeU.T@ $ - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 p-7dJ - 灵敏度R_q<0.5 nm lHGv:TN - 测量时间: < 1 s。 95!xTf - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 C3_*o>8 5;^8wh( 8Peqm?{5Y5 传感器: )@Zel.XD )nJ>kbO~8 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 0Hz3nd?v -%N (X8 应用: Qp=uiXs Zka;}UL&Q 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: J`mp8?;% - 平面或复杂(自由形状)表面。 8D n]`}ok - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 }%1E9u - 机械零件。 Sc0ZT/Lm - 汽车工业。 fzKKK+ Ka{Iue Ss uVO9r-O8p
QQ:2987619807 rb_G0/R
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