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Gpu_=9vzv 1.Horos—光学粗糙度传感器。 *8-p7,D 2.测量样本。 qS]G&l6QF 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ,cQA*;6 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 G8P+A1
f/> Wem?{kx0 系统简介 ^x3EotQ\ ND,`QjmZ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 NbDda/7ki t-EV h~D1p 特征及技术参数 Mjw[:70 _3&/(B%H - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 taV|YP$ - 灵敏度R_q<0.5 nm V.j#E1 P - 测量时间: < 1 s。 8p,>y(o - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 P#bm uCOS k~|ZO/X@l% `,-STIh) 传感器: Iaa|qJ4 <G9<"{ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 m5qCq9Y .EzSSU7n) 应用: sL
mW\\kA> .+uVgSN 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: Nh:4ys!P - 平面或复杂(自由形状)表面。 UzJ!Y / 5 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 *h])mqhB - 机械零件。 $QffrU' - 汽车工业。 pXNtN5@FQ lb95!.av+I FvA|1c QQ:2987619807 40+fGRyOL
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