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>/9on. 1.Horos—光学粗糙度传感器。 RZTC+ylj 2.测量样本。 3$h yV{ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 pXl*`[0X# 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 (laVmU?I7 \>)#cEX5 系统简介 `l}+BI`4 {7+y56[yu 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 <gjA(xT5 5v5K}hx 特征及技术参数 LNI]IITx/ 7cV
GB - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 /}R*'y - 灵敏度R_q<0.5 nm >f-*D25f% - 测量时间: < 1 s。 OG{vap) - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 nx|b9W< J:G~9~V^ ,xuA%CF-S 传感器: T )"Uq on)$y&lu Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ZGC*BP/ V J]S" 应用: @%4tWE nW!pOTJq21 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: C25 2E - 平面或复杂(自由形状)表面。 xOBzT& - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 :y3e-lr - 机械零件。 O%p+P<J - 汽车工业。 +hzS'z)n& )=6o, O`D,> =[ QQ:2987619807 Erq%Ck(
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