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E!BzE_|i 1.Horos—光学粗糙度传感器。 WuFBt=% 2.测量样本。 es~1@Jb
3.钻石旋转加工表面的测量结果。 p\9}}t7n 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 FOsxId[f9 <(B|g&A 系统简介 iz{TSU (|rf>=B+H 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 +|7N89l ^E:-Uy
特征及技术参数 8S8UV(K0 d3S Me - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 2eA.04F - 灵敏度R_q<0.5 nm ~8"oH5 - 测量时间: < 1 s。 I|qhj*_C - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 oveK;\7/m ^SKHYo`,,N jzGK(%sw" 传感器: 6x=w-32+ y
S~E@A.7 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 E^br-{|{ 41s\^'^& 应用: \nPf\6;M eU,FYJt9 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 4d}=g]P - 平面或复杂(自由形状)表面。 yT5OFD|T - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 ?6{g7S% - 机械零件。 0NKgtH~+ - 汽车工业。 G6}&k[d5% ",J&UTUh k0#s{<I]E QQ:2987619807 'bz&m( !
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