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i*.Z~$ 1.Horos—光学粗糙度传感器。 va~:oA 2.测量样本。 kYPowM 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 6;*tw i 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 G
U0zlG] C 4w2V["?X1 系统简介 ?# ,\, ir \ d8. 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 N^%[
B9D |Ro\2uSr 特征及技术参数 0:v7X)St Y5c( U)R8 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 nUd(@@%m - 灵敏度R_q<0.5 nm w?oIKj - 测量时间: < 1 s。 S9U9;>g - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 r/:9j(yxr _$MoMg{uJH XfViLBY(
> 传感器: 2>ce(4Gky C\$7C5/ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 "O9uz$ :L*CL 8m 应用: ^R>&^"oI H{p+gj^J 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: zh*NRN - 平面或复杂(自由形状)表面。 YHvmo@ - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 3zs~Y3M?i - 机械零件。 "W\
#d - 汽车工业。 |\~cjPX( wQPjo!FEX 90K&s#+13 QQ:2987619807 Vi5RkUY]
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