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9nd,8Nji 1.Horos—光学粗糙度传感器。 n Fwg pT 2.测量样本。 o|KmKC n> 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 dpdp0 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 M&(0n?R"R .4z_ohe 系统简介 +s+E!= s F6{Q1DqI 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 F{&0(6^p! ~!fOl)F 特征及技术参数 1OFrxSg _P_R`A)" - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 Urm(A9|N - 灵敏度R_q<0.5 nm V'N]u(^ - 测量时间: < 1 s。 3 lKBwjW - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 =VSUE
Pq `cmzmQC 0#sf,ja> 传感器: N@? z&urQi e&pt[W}X%u Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 78'3&,+si I~M@v59C 应用: s9b+uUt% !M7727 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 2reQd47 - 平面或复杂(自由形状)表面。 cS|W&IH1 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 O3L:v{Kn - 机械零件。 ;:~-=\ - 汽车工业。 VPDd*32HC I(Q3YDdb }(UU~V QQ:2987619807 CVgVyy^
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