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DX&lBV 1.Horos—光学粗糙度传感器。 hk7(2j7B 2.测量样本。 iJdrY6qd 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 >p]WCb'PH 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 C>JekPeM J:g<RZZ1 系统简介 $/<"Si&( <@U. 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 tyn?o P^K?E 特征及技术参数 Yhc6P%{Z^ h7de9Rt - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 8u:v:>D.' - 灵敏度R_q<0.5 nm @pqY9_:P1 - 测量时间: < 1 s。 Xc8= 2n - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 )tN?: l 'B:Z=0{>N &prdlh=UE 传感器: >}dTO/ so?pA@O Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 gJ FR1 =2.tu*!C 应用: -!'Oy%a# PmPyb>HK=P 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: `uIx/.L - 平面或复杂(自由形状)表面。 zqHpT^B? - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 n=<NFkeX - 机械零件。 ~8H&m,{j - 汽车工业。 #Dj"W8'zh _KSfP7VU BB2_J=wA QQ:2987619807 ot|N;=ZKo
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