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@hQ+pG@s 1.Horos—光学粗糙度传感器。 ]$y"|xqR 2.测量样本。 { tim{nV 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 gigDrf} 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 HP*x?|4 JEU?@J71O 系统简介 e`<=&w }I;=IYrN 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 V6BCW; %}+j4n 特征及技术参数 &p=|z2 J ^^3
>R` - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 yr[iAi" - 灵敏度R_q<0.5 nm azF"tke - 测量时间: < 1 s。 HEht^/pJ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 %D gU o=w&&B fHlmy[V+M 传感器: Rj^bZ%t {LR?#. Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 g#9KG HTf7r- 应用: qB<D'h7 9)aXLM4Y 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 6.KR(V - 平面或复杂(自由形状)表面。 ?
Yy[8_(tN - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 "MZVwl "E# - 机械零件。 W*`2lf - 汽车工业。 7KuTC%7 :*A6Ba nDui9C QQ:2987619807 N$:[`,
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