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Rx&O}>"E>l 1.Horos—光学粗糙度传感器。 bj}Lxc ], 2.测量样本。 2H}y1bkW 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 xYCJO(& 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 [#mkTY ^h$*7u"^y 系统简介 w~)tEN> $BMXjXd} 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 'E9{qPLk( Q5T3 特征及技术参数 lYCvYe !#_2 ![ - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 c0'ryS_Z9 - 灵敏度R_q<0.5 nm 0t%]z! - 测量时间: < 1 s。 !IdVg $7 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 rAfz? " Q?~LB /nQuM05*Z 传感器: 8
E\zjT!#\ Lo1ySLo$G Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 I2WP/ tRJ5IX ##L 应用: H" `'d 0S$k;q 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: TT/H"Ri}Jp - 平面或复杂(自由形状)表面。 Z! O4hA4 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 /]3[| - 机械零件。 nH?6o#]N - 汽车工业。 0|FxSc Rtz~:v% dhob]8b QQ:2987619807 Hvm}@3F|
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