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a=yid 1.Horos—光学粗糙度传感器。 0)/214^& 2.测量样本。 E$1^}RGT) 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 3jI.!xD` 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 g@U#Y#b@" D3K`b4YV 系统简介 hD,-!R $?s^HKF~ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
1y@- e7qT; 特征及技术参数 B@=Yj_s lvN{R{7> - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 GmHsO/ - 灵敏度R_q<0.5 nm Wp]EaYt2D - 测量时间: < 1 s。 x'KsQlI/
- 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 PWmz7*/ v]J# SlF U=t'>;(g 传感器: RasoOj$ m3WV<Cbz Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 Qnw$=L: =I5XG"", 应用: 7^iAc6QSy3 l<HRD 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: ~h@tezF - 平面或复杂(自由形状)表面。 b1#=q0Zl - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 D=\|teA& - 机械零件。 K$
&wO. - 汽车工业。 c]]F`B O<3,n;56Z 4
* OU QQ:2987619807 kmoJ`W} N
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