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~KS@Ulrox 1.Horos—光学粗糙度传感器。 <5z!0m-G 2.测量样本。 m#RJRuZ|2V 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 Ju47} t%HB 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 a#r{FoU{M8 VmPh''Z%- 系统简介 u)r/#fUZ
FJ~d&L\l 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 J Ah!#S( z fSE7i0 特征及技术参数 BVb^ xL \]Ah=` - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ekyCZ8iai - 灵敏度R_q<0.5 nm Y%"$v0D - 测量时间: < 1 s。 (X"5x]7] - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ,#ZPg_x?1 ?tjEXg>ny H;nzo3x 传感器: :wIA.1bK} }/1^Lqfnz Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 .-rz30xT %MHL@Nn>e 应用: Cst1nGPL :P_h_Tizv 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: U%:%. Bys - 平面或复杂(自由形状)表面。 }NC$Ce - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 iw,uwh|L
- 机械零件。 *>=tmW;% - 汽车工业。 /r~2KZE %;QK5L a[~[lk=7 QQ:2987619807 Sr6'$8#>Y
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