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8K0X[-hs8 1.Horos—光学粗糙度传感器。 F$Im9T6 2.测量样本。 4M}|/?<Br 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 7G5y)Qb 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 y?pD(u #bT8QbJ( 系统简介 ;} l T bLgL0}=n 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 (j' {~FB <S1?? 特征及技术参数 "z^(dF| KD% TxK - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 }zFf0.82 - 灵敏度R_q<0.5 nm E *F*nd]K - 测量时间: < 1 s。 U4>O\sU - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 LY]nl3{E `)R?nVb J["H[T* 传感器: .'|mY$U~] 9W!8gCs Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 vS OT*0r 6M ^IwE 应用: ^0^(
u ?Z q_9T7 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: vUNisVA - 平面或复杂(自由形状)表面。 pDu{e>S|: - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 <lMg\T?K - 机械零件。 8-7dokg> - 汽车工业。 *E:x E/M!2 25:Z;J> 3VmI0gsm.> QQ:2987619807 ><;Q@u5~
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