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|h(05Kbk 1.Horos—光学粗糙度传感器。 O/1:2G/` 2.测量样本。 GZCX m+ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 LCouDk(=` 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 VS
?n pH
L$Yg*]\ 系统简介 <yxy ;o hF;TX.Y6 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 O\&-3#e yZcnky 特征及技术参数 3Eu;_u_ lJIcU
RI4 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 U+2U#v=< - 灵敏度R_q<0.5 nm o~ J~-$T{ - 测量时间: < 1 s。 [,86||^ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 =s5g9n+7 2vh@KnNU +pG[
[}/ 传感器: WkUV)/j rGIf/=G^r Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 m]D3ec\K' XS oHh- 应用: N3$%!\~O V N<omi+4 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: ^<OcbOn;O - 平面或复杂(自由形状)表面。 c]]e( - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 /{71JqFis - 机械零件。 "%E<%g - 汽车工业。 %ZbdWHO# )~2~q7 4];<`
% QQ:2987619807 67D{^K"KT
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