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bI-uF8" 1.Horos—光学粗糙度传感器。 \?D~&d,a= 2.测量样本。 ?v
z[Zi 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 AqA.,;G 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 SeV`RUO h]Y,gya[yk 系统简介 kOE\.}~4 lC=-1*WH 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 6`h}#@ ( f`s.|99Y 特征及技术参数 a'%eyN @tX8M[.eA - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ]+k]Gbty6 - 灵敏度R_q<0.5 nm "X(9.6$_ - 测量时间: < 1 s。 o5E5s9n - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 pJ3-f k"i 4wkmgS
* lJkk 传感器: Ueu~803~ ,bxGd!&{Q Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 "C.cU DO
0 应用: U]]ON6Y&F =o)B1(v@. 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: cGSG}m@B` - 平面或复杂(自由形状)表面。 jK]An;l{Z - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 Hmx
Y{KB - 机械零件。 JLbmh1' - 汽车工业。 NY
GWA4L ]PlLy:( ei82pLM
z QQ:2987619807 9'=ZxV
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