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Z#O3s:` 1.Horos—光学粗糙度传感器。 Jx< 2.测量样本。 VLN3x.BY 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 tK
H!xit 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 y<b0z\ -*2X YTe 系统简介 aB)DX pAuwSn#i 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ?OyW|jL "tARJW 特征及技术参数 cFvx*n WU\bJ} - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 "-?Y UY` - 灵敏度R_q<0.5 nm *% *^a\2 - 测量时间: < 1 s。 /f<(K-o] - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 WRyLpTr- 9iCud6H,h EYG E#C;
d 传感器: mNel3J3
B;r$( 'UZ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ~2431<YV UGt7iT<`8 应用: {eEWfMKIn uek3Y[n 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: F w m:c[G - 平面或复杂(自由形状)表面。 pQ{t< > - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 !ei20@ - 机械零件。 :t^})% - 汽车工业。 C>dJ:.K%H 4/WCs$ Dys"|,F QQ:2987619807 X)OP316yx
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