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kq-mr 1.Horos—光学粗糙度传感器。 : Bdi pc 2.测量样本。 Krt$=:m|1 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 [1t\|v 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 J
r=REa0 TsoCW]h 系统简介 ){?mKB5 jAD+:@ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 yaCd4KP v4nvZ6 特征及技术参数 N`
@W% 3tJ=d'U - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 &<\4q - 灵敏度R_q<0.5 nm P2A]qX - 测量时间: < 1 s。 d m/-} - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ,(1vEE[9- 5P5A,K bW,BhUb,| 传感器: LZ=wz.'u jV(xYA3 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 #`fi2K&]j a>;3
j 应用: NgmO0H IG2 `9rR 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: kMfc"JXF - 平面或复杂(自由形状)表面。 :pL1F)-* - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 Gd]5xl
HRU - 机械零件。 U]`'GM/x - 汽车工业。 =rf)yp-D yBXkN&1=%; s0X/1Cq QQ:2987619807 '7RR2f>V
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