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1.Horos—光学粗糙度传感器。 J+l#!g k$! 2.测量样本。 Oar%LSkPRz 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 4"#F =f0 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 z[l_<`J$9 BFZ\ \rN` 系统简介 {m/KD 'b_
N5 mhs# 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 A u"BDP 11RqP:zg 特征及技术参数 85B B{ T;
`a5,5}7v%` - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 oF_
'<\ly= - 灵敏度R_q<0.5 nm =yZ6 $ hK - 测量时间： < 1 s。 <K
<| G - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 F`CDv5 aB{OXU}# 0u
bf] Z 传感器： \qJ cs'D
BO0Y#fs Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 vHN/~ k# jQ['f\R 应用： {7.uwIW.1
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： rge s`&0 - 平面或复杂（自由形状）表面。 zS '{F>w - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 rh T!8dTk - 机械零件。 h9QQ8}g - 汽车工业。 1;HL=F h<i.Z7F;tj
0%qM`KZC QQ：2987619807 F41g Mg
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