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]D=fvvST 1.Horos—光学粗糙度传感器。 7VWy1 2.测量样本。 |YfJ#Agm+ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 /WLZyT2 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 OPogH=vf >m{>0k(^` 系统简介 ?8U]UM6Tu4 A4b+:MQ*OX 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 oL<5hN*D 3"k n5)x 特征及技术参数 !;hp Mm9*$g!R - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 5@I/+D - 灵敏度R_q<0.5 nm !(Q@1c&z - 测量时间: < 1 s。 )@y7 qb - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 peOoZdJd 0($On`# *&R|0I{> 传感器: j#Lj<jX!xR DnW/q Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 2t45/:, t)~$p#NS 应用:
a3a:H P_75-0G 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: s~o\j/ - 平面或复杂(自由形状)表面。 {SRD\&J[ - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 "QD>:G;u - 机械零件。 ~@[<y1g?nG - 汽车工业。 uss!E!_%,
:m/qR74+" P7l3ZH( g QQ:2987619807 p1mAoVxR
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