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rt*>)GI]b 1.Horos—光学粗糙度传感器。 q!U$\Q& 2.测量样本。 R%}<z*~NE@ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 v]Pyz<+ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 $u, 6x~> oKz!Xu%Hl 系统简介 gx^!&>eIb# WY@g=W>+ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 havmhS)O B<.\^fuS 特征及技术参数 &D-z|ZjgHi 7y30TU - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 , :K{ - 灵敏度R_q<0.5 nm K@[Hej6d - 测量时间: < 1 s。 +C7W2!I[G2 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 OUwnVAZZ6 l\N2C4NG Qp:m=f6@ 传感器: 2auJp
. s"$K2k;J Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 *a|575e< z `w4'DB-R) 应用: ,S(Z\[x0 =Sr<d|\O 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: UB>BVBCt - 平面或复杂(自由形状)表面。 9o?\*{'KT - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 LTA0WgzR) - 机械零件。 g<^A(zM - 汽车工业。 B9
?58v& ^ @=4HtA RiQg]3oY QQ:2987619807 nW\W<[O9
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