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 `&2AN%Xz  1.Horos—光学粗糙度传感器。 D]nVhOg|  2.测量样本。 tWkD@w`Lnn  3.钻石旋转加工表面的测量结果。 {}ks[%,_\  4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 HbWl:y U    SWujj,-[  系统简介 +(d\`{A
 Hd(|fc{2  随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 "	$5J7    [([?+Ouy  特征及技术参数 Pyc/6~?
 eJ0PSW/4l  - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 yQ)y#5/<6  - 灵敏度R_q<0.5 nm `.PZx%=  - 测量时间: < 1 s。 MW%EJT>@z
  - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 \D8d!gr    YnZV.&4{    OyVdQ".  传感器: kJP
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 '\ec	,&4Z  Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ?`?"j<4e    ;5tSXgGw7  应用: 
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 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: [G{{f  - 平面或复杂(自由形状)表面。 _iBNy	  - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 j>s>i  - 机械零件。  Cs$wgm*  - 汽车工业。 ^`
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 D 6!`p6r+  QQ:2987619807 Y=JfV
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