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gkld}t*U 1.Horos—光学粗糙度传感器。 L%fJH_$_s 2.测量样本。 ci`N,&:R 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 fe7DS)U 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 -](3iPy} U&L?IT=x 系统简介 ux1SQ8C * |=#uzp7* 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 CChCxB ,dSP%?vV 特征及技术参数 dwmZ_m. ~4u[\&Sh - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 @H|3e@5([ - 灵敏度R_q<0.5 nm c8M'/{4rH - 测量时间: < 1 s。 jmva0K},SE - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 9+co`t. R2dCp|6A <amdPo+2D 传感器: >UBozmF=\ !T1)tGrH Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 K6e_RzP,.w 3L-}B#tI 应用: _2nNCu ( #B8V2_M 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: .u&GbM%Ga - 平面或复杂(自由形状)表面。 h}f l:J1C - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 Q5/BEUkC - 机械零件。 "[wP1n!G - 汽车工业。 Gcd'- 1 Ap9 %5:] ^3w
>:4m QQ:2987619807 8eZ^)9m
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