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:8lqo%5 1.Horos—光学粗糙度传感器。 ):5H,B+Vr& 2.测量样本。 v-B&"XGy: 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 q]P$NeEiZ" 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 OkQtM
nq NHaqT@: 系统简介 /nNrvMtv N8m3Wy 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 s{0c.M Pbakw81!~ 特征及技术参数 )Tf,G[z&ge _%PEv{H0. - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。
wD $sKd - 灵敏度R_q<0.5 nm bN>|4hS - 测量时间: < 1 s。 Yj*!t1qm - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 a,?u
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Jt #AH<dS 传感器: ,4S6F HK 'oZdMl& Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 p}yp!(l u 9kh@0 应用: o[ 4e_ @E %d#j%= 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: z_t%n<OvK - 平面或复杂(自由形状)表面。 `it - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 Xm~N Bt - 机械零件。 91}kBj - 汽车工业。 B3@\Ua) Y
i`wj^ `:fh$V5J> QQ:2987619807
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