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0}b8S48|? 1.Horos—光学粗糙度传感器。 mDq01fU4 2.测量样本。 @-7K~in?^ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 HN3
yA1<[V 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 /R,/hiKx\ BHU[Rz7x 系统简介
']dTW#i XRz.R/ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 \
0CGS Lr+2L_/v` 特征及技术参数 :wF(([&4p! ' 1mygplW - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 N@)g3mX> - 灵敏度R_q<0.5 nm H`".L^ - 测量时间: < 1 s。 Jne)?Gt - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ?& |