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!%x8!;za 1.Horos—光学粗糙度传感器。 5k.NZ 2.测量样本。 N2uxiXpQZ= 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 T9]|*~ ,T 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 ([zt}uf pv&:N,p 系统简介 }^WQNdws56 6V\YYrUz 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 98h,VuKVaB i rMZLc6 特征及技术参数 tLe!_p) B"T Z8(< - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 X-9>;Mb~y - 灵敏度R_q<0.5 nm L+Yn}"gIs - 测量时间: < 1 s。 f>ohu^bd - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 AR AC'F0 o^;$-O!/ -4`Wkkhu 传感器: +[*VU2f t yC !`6$ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 B7(~m8:eH7 :#58m0YLA: 应用: xaSvjc\ sfi.zuG 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 8*3o9$Pj - 平面或复杂(自由形状)表面。 wEENN_w - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 | 2BIAm] - 机械零件。 PHl{pE* - 汽车工业。
RvKP& "l!WO`.zp= .GUm3b QQ:2987619807 BJ!b LQ
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