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r'7;: 1.Horos—光学粗糙度传感器。 e/6WhFN# 2.测量样本。 ipQJn_:2 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 .LIEZ^@ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 {<\nl#}5S 9Y&n$svB 系统简介 gLsl/G N~;=*)_VH 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 lV?rC z YKJk)%;+w 特征及技术参数 U8c0N<j _ ;O$ot\5 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 \wCj$-;Jt - 灵敏度R_q<0.5 nm <?yAIhgN* - 测量时间: < 1 s。 .6z#o{n - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 qmdl:J|? +6B(LPxgP Cl7IP<. 传感器: U? [a@Hj{ e#:.JbJ:D Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 [D[s^<RJs MG*#-<OV. 应用: #|v\UJ:Pf/ @N7X(@O 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: X-|`|>3E
- 平面或复杂(自由形状)表面。 ` Xhj7%> - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 ``nuw7\C: - 机械零件。 }y(1mzb - 汽车工业。 SpdQ<] &$lz@Z !e?=I QQ:2987619807 y1p^
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