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V$XCe 1.Horos—光学粗糙度传感器。 8'X:}O/ 2.测量样本。 ^(8(z@y 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 MX{p)(HW 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 %4rPkPAtrp hJ1: #%Qe. 系统简介 v"dj%75O?e 92HxZ*t7km 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 b!Z-HL6 2m/=0sb\{ 特征及技术参数 U[ $A=e?\Y zf>r@>S!L - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 hhVyz{u - 灵敏度R_q<0.5 nm HC*V\vz - 测量时间: < 1 s。 =8F]cW'1` - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 K 6Gri>Um _U`_;=( a D,(mw-7r 传感器: On{p(|l J~[A8o Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 `II/nv0jn ^KK6 d 应用: H/Fq'FsQB .(8sa8{N 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: m
pWmExQ - 平面或复杂(自由形状)表面。 $`&uu - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 .w `1;o - 机械零件。 ZzuEw - 汽车工业。 3K57xJzK pU |SUM )./%/
_*K QQ:2987619807 FM3DJ?\L-
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