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SyVXXk 0 1.Horos—光学粗糙度传感器。 9 da=q 2.测量样本。 QUn!&55 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 !DFTg4xb 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 slPr^) npltsK): 系统简介 R9R~$@~G syW[uXNLZ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 -Yse^(^"s )VkVZf | S 特征及技术参数 ocWl]h]. e}yF2|0FD - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ,$:u^;V( - 灵敏度R_q<0.5 nm eLPtdP5k - 测量时间: < 1 s。 O=7S=Rm4& - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 \ YF@r7 dY&v(~&;] ,.p
36ZLP 传感器: 5X)QW5A l+F29_o# Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 }.)R#hG? M?sax+' 应用: ]NTQF/ 01-rBto$ 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: nc:/GxP - 平面或复杂(自由形状)表面。 Jw}t~m3 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 ,+`r2}N
\/ - 机械零件。 xIm2t~io - 汽车工业。 T90O.]S eUQmW^
8A&N+sT QQ:2987619807 2[`n<R\
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